TH58713B - Chlorosilane reactive distillation - Google Patents

Chlorosilane reactive distillation

Info

Publication number
TH58713B
TH58713B TH601001374A TH0601001374A TH58713B TH 58713 B TH58713 B TH 58713B TH 601001374 A TH601001374 A TH 601001374A TH 0601001374 A TH0601001374 A TH 0601001374A TH 58713 B TH58713 B TH 58713B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
column
dichlorosilane
chlorosilane
hci
fed
Prior art date
Application number
TH601001374A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH83159B (en
TH83159A (en
Inventor
จีน แวน โคฟเวอริ่ง นายเดนนิส
บรูซ แกมมี่ นายแอนดรูว์
ลี แฮล์ม นายโรแลนด์
เจมส์ โคเซ็นสกี้ นายคริสโตเฟอร์
ดาร์เรน แกทตี้ นายคริสโตเฟอร์
Original Assignee
นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายรุทร นพคุณ
นายรุทร นพคุณ
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายรุทร นพคุณ, นายรุทร นพคุณ filed Critical นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
Publication of TH83159B publication Critical patent/TH83159B/en
Publication of TH83159A publication Critical patent/TH83159A/en
Publication of TH58713B publication Critical patent/TH58713B/en

Links

Abstract

DC60 (12/11/57) คลอโรไซเลน เช่น ไดเมทิลไดคลอโรไซเลนจะถูกไฮโดรไลซ์ในคอลัมน์กลั่นซูเปอร์- อะซิโอโทรปิกไฮโดรคลอริกแอซิดที่หนึ่ง A เพื่อผลิตไซโคลไซโลเซน, คลอโรไซโลเซนและแก๊ส ไฮโดรเจนคลอไรด์ ไซโคลไซโลเซนและคลอโรไซโลเซนจะถูกล้างและถูกแยกออกตาม ความสามารถในการระเหยของสารเหล่านี้ในคอลัมน์กลั่นซับ-อะซิโอโทรปิกไฮโดรคลอริกแอซิดที่ สอง B เพื่อผลิตกระแสไซโคลไซโลเซนที่ระเหยได้ที่ปราศจากคลอไรด์อย่างมีนัยสำคัญและกระแส ไซโลเซนที่ไม่ระเหยที่ปราศจากคลอไรด์อย่างมีนัยสำคัญ กระบวนการเป็นกระบวนการที่มี ประสิทธิภาพสำหรับคลอไรด์อย่างมีนัยสำคัญ คลอโรไซเลนเช่นไดเมทิลไดคลอโรไซเลนจะถูกไฮโดรไลซ์ในคอลัมน์กลั่นซูเปอร์- อะซิโอโทรปิกไฮโดรคลอริกแอซิดที่หนึ่ง A เพื่อผลิตไซโคลไซโลเซน, คลอโรไซโลเซนและแก๊ส ไฮโดรเจนคลอไรด์ ไซโคลไซโลเซนและคลอโรไซโลเซนจะถูกล้างและถูกแยกออกตาม ความสามารถในการระเหยของสารเหล่านี้ในคอลัมน์กลั่นซับ-อะซิโอโทรปิกไฮโดรคลอริกแอซิดที่ สอง B เพื่อผลิตกระแสไซโคลไซโลเซนที่ระเหยได้ที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญและกระแส ไซโลเซนที่ไม่ระเหยที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญ กระบวนการเป็นกระบวนการที่มี ประสิทธิภาพสำหรับคลอไรด์ที่สำคัญ DC60 (12/11/57) Chlorosilane, such as dimethyl dichlorosilane, is hydrolyzed in the first super-aziotropic hydrochloric acid A distillation column to produce. Cyclosilosens, Chlorosilosens and Gas Hydrogen chloride Cyclosilosens and Chlorosilosens are washed and separated according to The evaporation capacity of these substances in the second sub-aziotropic hydrochloric acid B distillation column to produce significant chloride-free volatile cyclosilene currents; and flow Significantly chloride-free non-volatile silos Process is a process that has Efficiency for chloride is significant. Chlorosilane, such as dimethyl dichlorosilane, is hydrolyzed in the first super-aziotropic hydrochloric acid A distillation column to produce cyclosylosane, chlorosylane. Zen and gas Hydrogen chloride Cyclosilosens and Chlorosilosens are washed and separated according to The evaporation capacity of these compounds in the second sub-aziotropic hydrochloric acid B distillation column to produce a volatile cyclosilicate stream independent of critical chloride and flow Non-volatile silosens that are free from critical chlorides. Process is a process that has Significant efficiency for chloride

Claims (7)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไข 4 สิงหาคม 2560 หน้าที่ 3 ได-n-โพรพิลไดคลอโรไซเลน, ได-i-โพลพิลไดคลอโรไซเลน, ได-n-บิวทิลไดคลอโรไซเลน, ได-i-บิวทิลไดคลอโรไซเลน, ได-t-บิวทิลไดคลอโรไซเลน, n-บิวทิลเมทิลไดคลอโรไซเลน, ออกทาดีซิลเมทิลไดคลอโรไซเลน, ไดฟีนิลไดคลอโรไซเลน, ฟีนิลเมทิลไดคลอโรไซเลน, ไดไซโคลเฮกซิลไดคลอโรไซเลน, เมทิลไดคลอโรไซเลน, และไตรเมทิลคลอโรไซเลน 1 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ป้อนไปยังคอลัมน์ ที่หนึ่งเป็นของเหลวหรือไอ 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่ซึ่งคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ป้อนไปยังคอลัมน์ ที่หนึ่งจะรวมถึงไดเมทิลไดคลอโรไซเลน 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งไซโคลไซโลเซนที่ปราศจากคลอไรด์อย่างมีนัยสำคัญที่นำ ออกจากส่วนด้านบนของคอลัมน์ที่สองจะมีไซโคลไซโลเซนที่มีอะตอมของซิลิกอนน้อยกว่า 6 อะตอมมากกว่า 95 เปอร์เซ็นต์ 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งปริมาณของคอลัมน์ที่หนึ่งและคอลัมน์ที่สองจะถูกเขย่าอย่าง ทางกลหรืออันเป็นผลมาจากความปั่นป่วนที่เกิดขึ้นโดยการสัมผัสไอ/ของเหลวภายในคอลัมน์ที่หนึ่ง และคอลัมน์ที่สอง ---------- 1. วิธีการของการไฮโดรไลซ์คลอโรไซเลนประกอบรวมด้วย (i) การป้อนคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าไปยังคอลัมน์กลั่นซูเปอร์-อะซิโอ โทรปิกไฮโดรคลอริกแอซิดที่หนึ่งและการนำเอาไซโคลไซโลเซนและคลอโร ไซโลเซนที่เป็นเส้นตรงออกจากคอลัมน์ที่หนึ่ง (ii) การป้อนน้ำที่ปราศจากคลอไรด์ที่สำคัญไปยังคอลัมน์กลั่นซับ-อะซิโอโทรปิก ไฮโดรคลอริกแอซิดที่สอง (iii) การนำเอาแก๊ส HCI ออกจากส่วนด้านบนของคอลัมน์ที่หนึ่ง (iv) การนำเอา HCI แบบแอคเควียสที่อิ่มตัวออกจากส่วนด้านล่างของคอลัมน์ที่หนึ่ง และไหลเวียนมันกลับไปยังส่วนด้านบนของคอลัมน์ที่หนึ่ง (v) การป้อนไซโคลไซโลเซนและคลอโรไซโลเซนที่เป็นเส้นตรงจากคอลัมน์ที่หนึ่ง ไปยังคอลัมน์ที่สอง (vi) การนำเอาไซโคลไซโลเซนที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญออกจากส่วน ด้านบนของคอลัมน์ที่สองและไซโลเซนที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญที่ไม่ ระเหยออกจากส่วนด้านล่างของคอลัมน์ที่สอง และ (vii) การนำเอา HCI แบบแอคเควียสออกจากส่วนด้านล่างของคอลัมน์ที่สองและ ไหลเวียนมันกลับไปยังคอลัมน์ที่หนึ่ง 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งยังจะประกอบรวมด้วยการแยกไซโคลไซโลเซนที่ระเหยได้ และที่ไม่ระเหยและคลอโรไซโลเซนที่เป็นเส้นตรงในคอลัมน์ที่สองที่อุณหภูมิและความดันที่ ต่ำกว่าจุดเดือดแต่ละจุดของสารเหล่านี้ 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่งยังจะประกอบรวมด้วยการควบคุมน้ำหนักโมเลกุลของ ไซโคลไซโลเซนและคลอโรไซโลเซนที่เป็นเส้นตรงในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือในคอลัมน์ที่สอง เป็นฟังก์ชั่นของเวลาคงอยู่ของสารเหล่านี้ในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือคอลัมน์ที่สองหรือเป็น ฟังก์ชั่นของความเข้มข้นของ HCI ในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือในคอลัมน์ที่สอง 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่งยังจะประกอบรวมด้วยการควบคุมปริมาณบรรจุของ ไซโคลไซโลเซนในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือในคอลัมน์ที่สองเป็นฟังก์ชั่นของเวลาของคงอยู่ของ สารเหล่านี้ในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือในคอลัมน์ที่สองและเป็นฟังก์ชั่นของอุณหภูมิและความดัน ในคอลัมน์ที่หนึ่งหรือในคอลัมน์ที่สอง 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งยังจะประกอบรวมด้วยการทำให้ HCI แบบแอคเควียสที่ นำเอาออกจากส่วนด้านล่างของคอลัมน์ที่สองกลายเป็นไอบางส่วน, การไหลเวียนกลับส่วน ของเหลวที่หนึ่งของ HCI แบบแอคเควียสที่ผ่านการทำให้ร้อนไปยังคอลัมน์ที่หนึ่ง และการ ไหลเวียนกลับของไอที่สองไปยังส่วนด้านล่างของคอลัมน์ที่สอง 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งน้ำที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ สองจะมีปริมาณอยู่ในช่วงจากน้อยกว่าปริมาณมวลสารสัมพันธ์ที่ต้องการสำหรับปริมาณของ คลอโรไซเลนที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่หนึ่งจนมากกว่าปริมาณมวลสารสัมพันธ์ที่ต้องการ สำหรับปริมาณของคลอโรไซเลนที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่หนึ่ง 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งน้ำที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ สองจะถูกป้อนในปริมาณที่น้อยกว่าปริมาณมวลสารสัมพันธ์ที่ต้องการสำหรับปริมาณของ คลอโรไซเลนที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่หนึ่ง 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งน้ำที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ สองจะถูกป้อนในปริมาณที่มากกว่าปริมาณมวลสารสัมพันธ์ที่ต้องการสำหรับปริมาณของ คลอโรไซเลนที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่หนึ่ง 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งยังจะประกอบรวมด้วยการป้อน HCI แบบแอคเควียส 1 ถึง 36 เปอร์เซ็นต์จากแหล่งภายนอกไปยังคอลัมน์ที่หนึ่งและการนำ HCI คืนกลับจากแหล่ง ภายนอกเป็นแก๊ส HCI จากส่วนด้านบนของคอลัมน์ที่หนึ่ง 1 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง HCI แบบแอคเควียสที่นำเอาออกจากส่วนด้านล่างของ คอลัมน์ที่สองเป็นกระแสที่มีน้อยกว่าความเข้มข้นอะซิโอโทรปิกของ HCI แบบแอคเควียส 1Disclaimer (all) which will not appear on the advertisement page: Amendment 4 August 2017 Page 3 Di-n-Propyl dichlorosilane, Di -i-polyphydchlorosilane, Di-n-butyl dichlorosilane, di -i-butyl dichlorosilane, di-t-butyl dichlorosilane, n-butyl methyl di Chlorosilane, Octadecylmethyl Dichlorosilane, Diphenyl Dichlorosilane, Phenylmethyl Dichlorosilane, Dicyclohexyl Dichlorosilane, Methyl Di Chlorosilane, and Trimethyl Chlorosilane 1 4. Method according to claim 13, where one or more chlorosilane is fed to the column. One is a liquid or a vapor 1 5. Method according to claim 14, where one or more chlorosilane is fed to the column The first would include dimethyl dichlorosilane 1 6. Method according to claim 1, where significant chloride-free cyclosylosane conducts Out of the top part of the second column, there are more than 95 percent of the cyclosilosens with less than 6 silicon atoms. 1 7. Method according to claim 1, where the quantity of the first column and the first column. The second will be absolutely shaken Mechanical or as a result of turbulence produced by contact of vapor / liquid inside the first column. And a second column ---------- 1. Method of chlorosilane hydrolysis consists of (i) feeding one or more chlorosilane to the super distillation column. - Azio First tropic hydrochloric acid and cyclo, siloxane and chloroides removal. The linear silosane exits from the first column (ii) feeding the critical chloride-free water to the sub-aziotropic distillation column. Second hydrochloric acid (iii) removal of HCI gas from the top of the first column (iv) removal of saturated acquyte HCI from the lower part of the first column. And circulating it back to the upper part of the first column (v), feeding a straight line of cyclosilosen and chlorosylosane from the first column. Go to the second column (vi), removing the critical chloride-free cyclosilicate from the section. The top of the second column and the silosane are free of non-critical chlorides. Evaporated from the bottom part of the second column and (vii) the removal of the acacia HCI from the bottom part of the second column and Circulate it back to the first column. 2. Method of claim 1, which also consists of separation of the volatile cyclosensen. And non-volatile and linear chlorosylosane in the second column at the temperature and pressure at 3. The method of claim 2, which also consists of controlling the molecular weight of these substances, is below the individual boiling points of these substances. Linear cyclosylosane and chlorosylosane in the first column or in the second column. Is a function of the time persistence of these substances in the first column or the second column, or as Function of HCI concentration in the first column or in the second column 4. Method according to claim 2, which also includes control of the containment of Cyclosilosens in the first column or in the second column are a function of the time of persistence. These substances are in the first column or in the second column and are functions of temperature and pressure. In the first column or in the second column 5. Clause 1 claim method, which will also be included by making the HCI the accretion at Removed from the bottom part of the second column, partial vaporization, partial reverse circulation The first liquid of the hCI is heated to the first column and the second vapor recirculation to the lower part of the second column 6. Method according to claim 1. Where water is free from the critical chloride that is fed to the column. Two quantities are in the range from less than the relative mass required for the quantity of Chlorosilane fed to the first column until the required relative mass. For the amount of chlorosilane fed to the first column 7. Method according to claim 6, where water is free from the critical chloride fed to the column where Two are entered in quantities less than the relative mass quantity required for the quantity of Chlorosilane entered to the first column 8. Method according to claim 6, where water is free from the critical chloride that is fed to that column. Two are entered in quantities greater than the relative mass quantity required for the quantity of Chlorosilane fed to column one 9. Clause 1 method, which also consists of feeding 1 to 36 percent of the accumulated HCI from the external source to the first column. And hCI recovery from the source Externally, the HCI gas from the top part of the first column 1 0. Clause 1 claim method, whereby the accumulated HCI is removed from the lower part of the The second column is the current with less than the aciotropic concentration of the acuase 1 HCI. 1. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่ง HCI แบบแอคเควียสที่นำเอาออกจากส่วนด้านล่างของ คอลัมน์ที่สองเป็นกระแสที่มีความเข้มข้นอะซิโอโทรปิก 0 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ของ HCI แบบ แอคเควียส 11. Procedure according to Clause 10, whereby the accredited HCI is removed from the bottom section of The second column is the current with 0 to 50 percent of the aziotropic concentration of the active HCI 1. 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่ง HCI แบบแอคเควียสที่นำเอาออกจากส่วนด้านล่างของ คอลัมน์ที่สองเป็นกระแสที่มีความเข้มข้นอะซิโอโทรปิก 0 ถึง 25 เปอร์เซ็นต์ของ HCI แบบ แอคเควียส 12. Procedure according to Clause 10, whereby the accredited HCI is removed from the bottom section of The second column is a current with 0 to 25 percent of the aziotropic concentration of the active HCI 1. 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ หนึ่งจะเลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย ไดเมทิล ไดคลอโรไซเลน, ไดเอทิลไดคลอโรไซเลน, ได-n-โพรพิลไดคลอโรไซเลน, ได-i-โพรพิลไดคลอโรไซเลน, ได-n-บิวทิลไดคลอโร- ไซเลน, ได-i-บิวทิลไดคลอโรไซเลน, ได-t-บิวทิลไดคลอโรไซเลน, n-บิวทิลเมทิลไดคลอ- โรไซเลน, ออกทาดีซิลเมทิลไดคลอโรไซเลน, ไดฟีนิลไดคลอโรไซเลน, ฟีนิลเมทิลได- คลอโรไซเลน, ไดไซโคลเฮกซิลไดคลอโรไซเลน, เมทิลไดคลอโรไซเลน, และไตรเมทธิล- คลอโรไซเลน 13. Method according to claim 1, where one or more chlorosilane is fed to the column that One would choose from a group containing dimethyl dichlorosilane, diethyl dichlorosilane, di-n-propyl dichlorosilane, di-i-propyl dichlorosilane, di -n-butyl dichloro-silane, di -i-butyl dichlorosilane, di-t-butyl dichlorosilane, n-butyl methyl di Chlor-Rosylane, Octadecylmethyl Dichlorosilane, Diphenyl Dichlorosilane, Phenylmethyl Di-Chlorosilane, Dicyclohexyl dichlorosilane, Methyl dichlorosilane, and trimethyl-chlorosylane 1 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ หนึ่งเป็นของเหลวหรือไอ 14. Method according to claim 13, where one or more chlorosilane is fed to the column that One is liquid or vapor 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 14 ที่ซึ่งคลอโรไซเลนหนึ่งชนิดหรือมากกว่าที่ป้อนไปยังคอลัมน์ที่ หนึ่งจะรวมถึงไดเมทิลไดคลอโรไซเลน 15. Method according to claim 14, where one or more chlorosilane is fed to the column that One will include dimethyl dichlorosilane 1. 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งไซโคลไซโลเซนที่เป็นอิสระจากคลอไรด์ที่สำคัญที่นำออก จากส่วนด้านบนของคอลัมน์ที่สองจะมีไซโคลไซโลเซนที่มีอะตอมของซิลิกอนน้อยกว่า 6 อะตอมมากกว่า 95 เปอร์เซ็นต์ 16.Method according to claim 1, where the cyclosilosens are free from critical chlorides removed. From the top of the second column, there are cyclosilosens with less than 6 silicon atoms, more than 95 percent. 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งสิ่งที่บรรจุของคอลัมน์ที่หนึ่งและคอลัมน์ที่สองจะถูกเขย่า อย่างทางกลหรืออันเป็นผลมาจากความปั่นป่วนที่เกิดขึ้นโดยการสัมผัสไอ/ของเหลวภายใน คอลัมน์ที่หนึ่งและคอลัมน์ที่สอง7. Method according to claim 1, where the containers of the first and second column are shaken. Mechanical or as a result of turbulence resulting from exposure to internal vapor / liquid The first and second columns
TH601001374A 2006-03-28 Chlorosilane reactive distillation TH58713B (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH83159B TH83159B (en) 2007-02-22
TH83159A TH83159A (en) 2007-02-22
TH58713B true TH58713B (en) 2017-11-01

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Bastidas et al. Comparison of the main ethanol dehydration technologies through process simulation
BRPI0809406A2 (en) BORO CHLOROSILAN CHAIN PROCESSING
CN106492488A (en) The thermodynamical equilibrium of the heat and mass exchange unit of combination
ES2705739T3 (en) Process to purify a stream comprising 1,4-butanediol
ES2533976T3 (en) Method and device to separate contaminants from liquids or vapors
US7128890B2 (en) Purification of hydrochloric acid obtained as by-product in the synthesis of methanesulfonic acid
KR20160021889A (en) Method and device for distillative separation of a three- or multi-component mixture
Farsi et al. Azeotropic pressure swing distillation of hydrochloric-water for hydrogen production in the CuCl cycle: Thermodynamic and design methods
TH83159A (en) Chlorosilane reactive distillation
TH58713B (en) Chlorosilane reactive distillation
JP2008534590A5 (en)
BR112017020224B1 (en) PROCESS FOR PERFORMING A REACTION ON A REACTION COLUMN
CN105503933A (en) Energy-saving distillation system and method of chemical monomer
CN106946261A (en) The retracting device of disilicone hexachloride
WO2021180900A1 (en) Device and method for distillation
AU2012257421B2 (en) System for concentrating industrial products and by-products
CN206027114U (en) Humidification dehumidification system
CN207520623U (en) A kind of tower bottom of rectifying tower fluid level control device
CN202366515U (en) Settlement and blowdown device of reboiler
Dhiman et al. Distillation
KR101401319B1 (en) Educational distillation column
CN209522584U (en) A kind of silicon tetrachloride vaporization purifying plant
CN207091012U (en) Improve the energy saver of reduction furnace trichlorosilane feed purity
JP5105295B2 (en) Component concentration plant and component concentration method
JPS61138540A (en) Disproportionation catalyst of chlorosilane and continuous production of silane compound