TH52226A - ชุดอุปกรณ์และวิธีการจัดทำแบตเตอรี่ในวงจรรวม - Google Patents

Abstract

DC60 (25/01/45) วิธีการและโครงสร้างที่ทำให้มีแบตเตอรี่อยู่ภายในวงจรรวมเพื่อให้แรงดันไฟฟ้าแก่ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีกระแส ไฟฟ้าในระดับต่ำซึ่งปรากฏอยู่ภายในวงจรรวมดังกล่าว. วิธี การ ดังกล่าวจะรวมถึงการดำเนินกรรมวิธีของวงจรส่วนหน้าของแถว (FEOL) เพื่อสร้างชั้นของบรรดา อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ไว้ บนเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ หลังจากนั้นก็จะเป็นการประกอบเข้า ด้วยกันของ วงจรส่วนหลังของแถว (BEOL) เพื่อวางเส้นลวด เชื่อมต่อบรรดาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เข้าด้วยกัน เพื่อให้ ได้วงจรไฟฟ้าที่เสร็จสมบูรณ์ของวงจรรวม. การประกอบเข้าด้วย กันของ BEOL ดังกล่าวจะ รวมถึงการจัดทำโครงสร้างที่มีหลาย ชั้นของระดับของการวางเส้นลวดไว้บนชั้นของอุปกรณ์ อิ เล็กทรอนิกส์. แต่ละระดับของการวางเส้นลวดจะรวมถึงส่วนที่ มีการฉาบโลหะซึ่งมีการนำไฟฟ้า (ตัวอย่างเช่น ส่วนต่อผ่าน ที่ชุบด้วยโลหะ, แนวการวางเส้นลวดที่มีการนำไฟฟ้า ฯลฯ) ซึ่ง ฝังไว้ใน วัสดุที่เป็นฉนวน. แบตเตอรี่ดังกล่าวถูกจัดทำขึ้น ในระหว่างการประกอบเข้าด้วยกันของ BEOL ภายในระดับของการ วางเส้นลวดจำนวนหนึ่งระดับหรือมากกว่านี้และส่วนที่มีการ ฉาบโลหะซึ่งมี การนำไฟฟ้าจะทำให้ขั้วต่อที่เป็นบวกและลบของ แบตเตอรี่มีการเชื่อมต่อในลักษณะที่มีการนำ ไฟฟ้าเข้ากับ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์. แบตเตอรี่ดังกล่าวอาจมีโทโพโลยีที่ แตกต่างกัน หลายๆ ลักษณะโดยเป็นไปตามความสัมพันธ์ทางโครง สร้างและทางเรขาคณิตระหว่างอิเล็กโทรด และอิเล็กโทร ไลต์ของแบตเตอรี่. แบตเตอรี่หลายชุดอาจถูกจัดทำขึ้นได้ภาย ในระดับของการวาง เส้นลวดจำนวนหนึ่งระดับหรือมากกว่านี้และ อาจได้รับการเชื่อมต่อในลักษณะที่มีการนำไฟฟ้าเข้า กับบรรดา อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์. แบตเตอรี่หลายชุดอาจได้รับการ เชื่อมต่อในลักษณะที่เป็น อนุกรมหรือขนาดก็ได้. วิธีการและโครงสร้างที่ทำให้มีแบตเตอรี่อยู่ภายในวงจรรวมเพื่อให้แรงดันไฟฟ้าแก่ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีกระแส ไฟฟ้าในระดับต่ำซึ่งปรากฎอยู่ภายในวงจรรวมดังกล่าว. วิธี การ ดังกล่าวจะรวมถึงการดำเนินกรรมวิธีของวงจรส่วนหน้าของแถว (FEOL) เพื่อสร้างชั้นของบรรดา อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ไว้ บนเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ หลังจากนั้นก็จะเป็นการประกอบเข้า ด้วยกันของ วงจรส่วนหลังของแถว (BEOL) เพื่อวางเส้นลวด เชื่อมต่อบรรดาอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์เข้าด้วยกัน เพื่อให้ ได้วงจรไฟฟ้าที่เสร็จสมบูรณ์ของวงจรรวม. การประกอบเข้าด้วย กันของ BEOL ดังกล่าวจะ รวมถึงการจัดทำโครงสร้างที่มีหลาย ชั้นของระดับของการวางเส้นลวดไว้บนชั้นของอุปกรณ์ อิ เล็กทรอนิกส์. แต่ละระดับของการวางเส้นลวดจะรวมถึงส่วนที่ มีการฉาบโลหะซึ่งมีการนำไฟฟ้า (ตัวอย่างเช่น ส่วนต่อผ่าน ที่ชุบด้วยโลหะ, แนวการวางเส้นลวดที่มีการนำไฟ้า ฯลฯ) ซึ่ง ฝังไว้ใน วัสดุที่เป็นฉนวน. แบตเตอรี่ดังกล่าวถูกจัดทำขึ้น ในระหว่างการประกอบเข้าด้วยกันของ BEOL ภายในระดับของการ วางเส้นลวดจำนวนหนึ่งระดับหรือมากกว่านี้และส่วนที่มีการ ฉาบโลหะซึ่งมี การนำไฟฟ้าจะทำให้ขั้วต่อที่เป็นบวกและลบของ แบตเตอรี่มีการเชื่อมต่อในลักษณะที่มีการนำ ไฟฟ้าเข้ากับ อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์. แบตเตอรี่ดังกล่าวอาจมีโทโพโลยีที่ แตกต่างกัน หลายๆ ลักษณะโดยเป็นไปตามความสัมพันธ์ทางโครง สร้างและทางเรขาคณิตระหว่างอิเล็กโทรด และอิเล็กโทร ไลด์ของแบตเตอรี่. แบตเตอรี่หลายชุดอาจถูกจัดทำขึ้นได้ภาย ในระดับของการวาง เส้นลวดจำนวนหนึ่งระดับหรือมากกว่านี้และ อาจได้รับการเชื่อมต่อในลักษณะที่มีการนำไฟฟ้าเข้า กับบรรดา อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์. แบตเตอรี่หลายชุดอาจได้รับการ เชื่อมต่อในลักษณะที่เป็น อนุกรมหรือขนาดก็ได้.

Claims (1)

1. โครงสร้างทางเคมีไฟฟ้าภายในวงจรรวมซึ่งประกอบด้วย - เวเฟอร์สารกึ่งตัวนำ; - ชั้นของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ บนเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำโดยที่ชั้นของอุปกรณ์ อิเล็กทรอนิกส์ จะรวมเข้าไว้ด้วยอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อย่างน้อยหนึ่งชุด; - ระดับของการวางเส้นลวดจำนวน N ระดับบชั้นของอุปกรณ์ อิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวโดยที่ N มีค่าอย่างน้อยเป็น 1 ซึ่ง ระดับของการวางเส้นลวดจำนวน N ระดับดังกล่าวจะถูก แสดงออกมา เป็นระแท็ก :