TH5161B - ระบบสำหรับควบคุมการไหลของของไหล - Google Patents
ระบบสำหรับควบคุมการไหลของของไหลInfo
- Publication number
- TH5161B TH5161B TH9201001528A TH9201001528A TH5161B TH 5161 B TH5161 B TH 5161B TH 9201001528 A TH9201001528 A TH 9201001528A TH 9201001528 A TH9201001528 A TH 9201001528A TH 5161 B TH5161 B TH 5161B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- valve
- disc
- here
- piezoelectric
- cavity
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 229910000640 Fe alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000001953 sensory effect Effects 0.000 claims 1
- 229940099259 vaseline Drugs 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 1
Abstract
การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับวาล์วแบบเพียโซอิเล็กทริคสำหรับควบคุมการไหลของของไหลและ , โดยเฉพาะเจาะจงยิ่งขึ้นกับวาล์วซึ่งไม่มีทั้งโซเลนอยด์และระบบเซอร์โวรวมอยู่ด้วย ในรายละเอียดเฉพาะและข้อถือสิทธินี้ , จะอ้างอิงกับการไหลซึ่งแระกอบด้วยของเหลวและแก๊ส รูปแบบเฉพาะรูปแหนึ่งของวาล์วแบเพียโซอิเล็กทรคฃิคสำหรับควบคุมการไหลของของไหลประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม, ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโซอิเล็กทริค และแท่นรองวาล์ว ,ท่อทางเข้าและท่อทางออกสำหรับนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและจัดวางไว้บนด้านตรงกันข้ามของชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วและอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนโดยมีบริเวณส่วนรอบนอกของแผ่นกลมวางร่วมกับแท่นรองวาล์ว ดังนั้น ขณะทำการกระตุ่นชิ้นส่วนด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ป้อนเข้า , ส่วนรอบนอกของแผ่นกลมจะเคลื่อนที่ได้และอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่งของบริเวณส่วนรอบนอกของงแผ่นกลมจะใช้เพื่อควบคุมการไหลของของไหลระหว่างท่อทางเข้ากับท่อทางออก.
Claims (9)
1. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหลของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม ,ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวาสงไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล้กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลางที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ในโอกาสที่ทำการกระตุ้นชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาสล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอนอกของแผ่นกลมเคลื่อนห่างออกจากแท่นรองวาล์วได้เพื่อ ยอมให้ของไหลไหลจากช่องทางเข้าคลอดส่วนรอบนอกของแผ่นกลมไปที่ ช่องทางออกซึ่งที่อยู่ตรงกันข้าม
2. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวงกลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบร่วมศูนย์กลางเดียวกับแผ่นกลม
3. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะจะ ยื่นออกด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริคเพื่อก่อรูป เป็นขอบเขตโดยรอบด้านนอกวึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็คทริค
4. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับ ขั้วไฟฟ้าสำหรับรับรู้ที่แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก
5. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะทำ ขึ้นจากโลหะผสมของเหล็ก/นิเกิล
6. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะจะ ทำให้เข้าคู่กันได้เชิงความร้อนสัมพันธ์กับชั้นของวัสดุเ พียโซอิเล็คทริค
7. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ความหนาของชั้นแต่ละ ชั้นขอลแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโวอิเล็คทริคได้ผ่านการเลือก โดยแกนใจกลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิวร่วมระหว่างชั้น ที่อยู่ชิดกัน
8. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหล ของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวางไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล็กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลมที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ท่ามกลางการกระตุ้นชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอบนอกของแผ่นกลมเคลื่อนที่ห่างออกห่างจากแท่นรองวาล์วเพื่อ ยอมให้ของไหลจากช่องทางเข้าตลอดส่วนรอบนอกของแผ่นกลมไปที่ ช่องทางออกซึ่งอยู่ตรงกันข้าม , ที่เรียกว่าฐานรองที่เป็น โลหะจะยื่นออกทางด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริค เพื่อก่อรูปเป็นขอบเขตโดยรอบด้านนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพีย โซอิเล็คทริค , อบเขตโดยรอบด้านนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพีย โซอิเล็คทริคดังกล่าวจะผนึกปิดต้านกับแท่นรองวาล์วเมื่อทำ ให้วาล์วปิด
9. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบด้วยอุปกรณ์ควบคุมการ ป้อนกลับสำหรับการควบคุมการกระจัดช่องเปิด และดังนั้นเป็น การปรับการไหลของของไหล 1
0. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวง กลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบร่วมศูนย์กลางเดียวกันกับ แผ่นกลม 1
1. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับ ขั้วไฟ้าสำหรับรับรู้แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก 1
2. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ในที่นี้ความหนาของชั้นแต่ ละชั้นของแผ่นกลมของวาลวแบบเพียโวอิเล็กทรอนิคได้ผ่านการ เลือกโดยที่แกนใจ กลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิวร่วม ระหว่างชั้นที่อยู่ชิดกัน 1
3. วาล์วตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ในที่นี้แท่นรองวาล์วประกอบด้วยสิ่งผนึกที่เป็นสารยึดหยุ่นซึ่งอ่อนตัวตามได้ 1
4. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหล ของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวางไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล็กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลางที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ท่ามกลางการกระตุ้นของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอบนอกของแผ่นกลมเคลื่อนที่ห่างออกจากแท่นรองวาล์วได้ เพื่อยอมให้ของไหลไหลจากช่องทางเข้าตลอดส่วนรอบนอกของแผ่น กลมไปที่ช่องทางออกซึ่งอยู่ตรงกันข้าม , ที่เรียกว่าแท่น รองวาล์วประกอบด้วยสิ่งผนึกที่เป็นสารยึดหยุ่นที่ซึ่งอ่อน ตัวตามได้ 1
5. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวงกลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบ ร่วมศูนย์กลางเดียวกันกับแผ่นกลม 1
6. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ส่วนรองรับที่เป็น โลหะจะยื่นออกจากด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริคเพื่อ ก่อรูปเป็นขอบเขตโดยรอบนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็คทริค , ขอบเขตโดยรอบนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็ทริคดังกล่าว จะผนึกปิดด้านกับแท่นรองวาล์วเมื่อทำให้วาล์วปิด 1
7. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับขั้วไฟฟ้า สำหรับรับรู้ที่แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก 1
8. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบด้วยอุปกรณ์ควบคุม การป้อนกลับสำหรับการควบคุมการกระจัดของช่องเปิดและเพราะ ฉะนั้นเป็นการปรับการไหลของของไหล 1
9. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะ จะทำให้เข้าคู่กันได้เชิงความร้อนสัมพันธ์กับชั้นของวัสดุเ พียโซอิเล็กทริค 2
0. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ความหนาแน่นของ ชั้นแต่ละชั้นของแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโซอิเล็คทริคได้ ผ่านการเลือกโดยที่แกนใจกลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิว ร่วมระหว่างชั้นที่อยู่ชิดกัน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH15031A TH15031A (th) | 1994-11-29 |
| TH5161B true TH5161B (th) | 1996-02-09 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4792113A (en) | Fluid flow control valve | |
| US5145147A (en) | Normally closed-type fluid control valve | |
| TW221480B (th) | ||
| RU2476743C2 (ru) | Металлическая уплотнительная прокладка с эластомерной подложкой для использования с регуляторами для текучей среды | |
| US4624443A (en) | Fluid-flow control valve | |
| US4207919A (en) | Digital fluid flow control system | |
| JP2002500336A (ja) | 弁座内のハードなチューブの流体チャンネルとフレシブルな密封ダイアフラムとを有するソレノイドバルブ | |
| TW201938932A (zh) | 閥裝置 | |
| JP7157461B2 (ja) | バルブ装置 | |
| JP7376935B2 (ja) | 流路アセンブリ、この流路アセンブリを用いたバルブ装置、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 | |
| TH5161B (th) | ระบบสำหรับควบคุมการไหลของของไหล | |
| WO2020158573A1 (ja) | バルブ装置、流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置 | |
| TH15031A (th) | ระบบสำหรับควบคุมการไหลของของไหล | |
| JP7181616B2 (ja) | 流路アセンブリおよびバルブ装置 | |
| US2435076A (en) | Electrically actuated valve | |
| US20230001529A1 (en) | Vacuum machining system having a process chamber with a vacuum regulating valve | |
| US3207469A (en) | High vacuum valve | |
| JP3562692B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH10318401A (ja) | 流量制御装置用バルブ | |
| JPS62106103A (ja) | 空気圧インタ−フエ−ス装置 | |
| JPS5868571A (ja) | ソレノイド弁 | |
| JPH01105080A (ja) | 圧電式流量制御弁 | |
| JPH11237921A (ja) | マスフローコントローラ | |
| JPH0225072B2 (th) | ||
| IT202100003122A1 (it) | Elettrovalvola servocomandata perfezionata. |