TH5161B - Systems for controlling fluid flow - Google Patents

Systems for controlling fluid flow

Info

Publication number
TH5161B
TH5161B TH9201001528A TH9201001528A TH5161B TH 5161 B TH5161 B TH 5161B TH 9201001528 A TH9201001528 A TH 9201001528A TH 9201001528 A TH9201001528 A TH 9201001528A TH 5161 B TH5161 B TH 5161B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
valve
disc
here
piezoelectric
cavity
Prior art date
Application number
TH9201001528A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH15031EX (en
TH15031A (en
Inventor
ไมเคิล วูดเวิร์ด นายเอเดรียน
โรเบิร์ต ซิมส์ นายชาร์ลส์
แครี่ย์ ฮัมเบอร์สโตน นายวิคเตอร์
Original Assignee
นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายบุญมา เตชะวณิช
Filing date
Publication date
Application filed by นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์ นายบุญมา เตชะวณิช นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายบุญมา เตชะวณิช filed Critical นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
Publication of TH15031EX publication Critical patent/TH15031EX/en
Publication of TH15031A publication Critical patent/TH15031A/en
Publication of TH5161B publication Critical patent/TH5161B/en

Links

Abstract

การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับวาล์วแบบเพียโซอิเล็กทริคสำหรับควบคุมการไหลของของไหลและ , โดยเฉพาะเจาะจงยิ่งขึ้นกับวาล์วซึ่งไม่มีทั้งโซเลนอยด์และระบบเซอร์โวรวมอยู่ด้วย ในรายละเอียดเฉพาะและข้อถือสิทธินี้ , จะอ้างอิงกับการไหลซึ่งแระกอบด้วยของเหลวและแก๊ส รูปแบบเฉพาะรูปแหนึ่งของวาล์วแบเพียโซอิเล็กทรคฃิคสำหรับควบคุมการไหลของของไหลประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม, ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโซอิเล็กทริค และแท่นรองวาล์ว ,ท่อทางเข้าและท่อทางออกสำหรับนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและจัดวางไว้บนด้านตรงกันข้ามของชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วและอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนโดยมีบริเวณส่วนรอบนอกของแผ่นกลมวางร่วมกับแท่นรองวาล์ว ดังนั้น ขณะทำการกระตุ่นชิ้นส่วนด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ป้อนเข้า , ส่วนรอบนอกของแผ่นกลมจะเคลื่อนที่ได้และอย่างน้อยที่สุดส่วนหนึ่งของบริเวณส่วนรอบนอกของงแผ่นกลมจะใช้เพื่อควบคุมการไหลของของไหลระหว่างท่อทางเข้ากับท่อทางออก. This invention relates to piezoelectric valves for regulating fluid flow and, more specifically, valves in which neither solenoid and servo system are included. In this particular description and claim, references are made to the flow of liquids and gases. A specific form of piezoelectric valve for regulating fluid flow consists of a casing, a cavity inside a sleeve, a disc round piece of a piezoelectric valve. and valve seat , The inlet and outlet pipes for directing fluid into and out of the cavity and are arranged on opposite sides of the disc plate parts of the valve and the apparatus for supporting the disc plate parts of the center part of the part. The periphery of the disc is co-located with the valve seat. Therefore, when the part is actuated by the input voltage, the periphery of the disc is movable and at least part of the periphery of the disc. The discs are used to control the flow of fluid between the inlet pipe and the outlet pipe.

Claims (9)

1. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหลของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม ,ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวาสงไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล้กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลางที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ในโอกาสที่ทำการกระตุ้นชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาสล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอนอกของแผ่นกลมเคลื่อนห่างออกจากแท่นรองวาล์วได้เพื่อ ยอมให้ของไหลไหลจากช่องทางเข้าคลอดส่วนรอบนอกของแผ่นกลมไปที่ ช่องทางออกซึ่งที่อยู่ตรงกันข้าม1.Valve for shut-off and control flow to control fluid flow, valve consists of a casing, a cavity inside a casing. , The disc part of the valve made of electro-compression material and the valve seat arranged in the cavity between the Inlet and outlet port, the valve housing has signs all around. The outside relative to the signal surrounding the outer part of the component. Valve disc, circular disc part of the valve assembly. With a metal base with a sealed piezoelectric layer. Adjacent to at least one of its surfaces, the inlet and outlet through which fluid is drawn in and out of the cavity and Place it on the side opposite the part that is The disc of the valve, and equipment for supporting the The disc of the valve at the center of the component where the The outer part of the center plate is positioned to work with the valve housing. Vaseline disc With applied voltage, the outer edge of the disc can move further away from the valve housing to Allow fluid to flow from the peripheral channel to the periphery of the disc Exit channel which is opposite 2. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวงกลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบร่วมศูนย์กลางเดียวกับแผ่นกลม2. The valve according to claim 1, here is a circular disc. And the support was placed in the same center as the round plate. 3. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะจะ ยื่นออกด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริคเพื่อก่อรูป เป็นขอบเขตโดยรอบด้านนอกวึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็คทริค3. Valve according to claim 1 Here, a metal base will Protruding outward from the piezoelectric layer to form It is the peripheral boundary independent of piezoelectric. 4. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับ ขั้วไฟฟ้าสำหรับรับรู้ที่แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก4. Valve according to the claim. 1 consists of main electrodes with Sensing electrodes separated from the main electrode. 5. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะทำ ขึ้นจากโลหะผสมของเหล็ก/นิเกิล5. Valves according to claim 1 Here, a metal base is made of Made up of iron / nickel alloys 6. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะจะ ทำให้เข้าคู่กันได้เชิงความร้อนสัมพันธ์กับชั้นของวัสดุเ พียโซอิเล็คทริค6. Valves according to claim 1 Here, a metal base will Makes thermal compatibility relative to the layer of material Pieso Electric 7. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 1 ในที่นี้ความหนาของชั้นแต่ละ ชั้นขอลแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโวอิเล็คทริคได้ผ่านการเลือก โดยแกนใจกลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิวร่วมระหว่างชั้น ที่อยู่ชิดกัน7. Valves according to claim 1 here, the thickness of each layer. The piavo electric valve disc guide layer has been selected. The center axis of the disc does not match the surface between the layers. Adjoining 8. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหล ของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวางไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล็กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลมที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ท่ามกลางการกระตุ้นชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอบนอกของแผ่นกลมเคลื่อนที่ห่างออกห่างจากแท่นรองวาล์วเพื่อ ยอมให้ของไหลจากช่องทางเข้าตลอดส่วนรอบนอกของแผ่นกลมไปที่ ช่องทางออกซึ่งอยู่ตรงกันข้าม , ที่เรียกว่าฐานรองที่เป็น โลหะจะยื่นออกทางด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริค เพื่อก่อรูปเป็นขอบเขตโดยรอบด้านนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพีย โซอิเล็คทริค , อบเขตโดยรอบด้านนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพีย โซอิเล็คทริคดังกล่าวจะผนึกปิดต้านกับแท่นรองวาล์วเมื่อทำ ให้วาล์วปิด8. Valve for shut-off and flow control to control fluid flow, valve consists of a casing, cavity inside a casing, a spherical part of a valve made of electro-compression material and a valve seat positioned. Inside the cavity between Inlet and outlet port, the valve housing has signs all around. The outside relative to the signal surrounding the outer part of the component. Valve disc, circular disc part of the valve assembly. With a metal base with a sealed piezoelectric layer Adjacent to at least one of its surfaces, the inlet and outlet through which fluid is drawn in and out of the cavity and Place it on the side opposite the part that is The disc of the valve, and equipment for supporting the The disc of the valve at the center of the component where the The periphery of the disc arranged to work with the valve housing, therefore, amidst the actuation of the The disc of the valve with applied voltage, will cause the outer edge of the disc to move away from the valve seat to Allow fluid from the inlet along the periphery of the disc to The outlet, on the opposite side, is called the base that is The metal protrudes outward from the piezoelectric layer. To form the peripheral boundary independent of the piezoelectric, encompassing the peripheral boundary independent of the pia. Such a solenoid is sealed against the valve housing when the valve closes. 9. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบด้วยอุปกรณ์ควบคุมการ ป้อนกลับสำหรับการควบคุมการกระจัดช่องเปิด และดังนั้นเป็น การปรับการไหลของของไหล 19. The valve according to claim 8 consists of a control device. Feedback for opening displacement control And so is Fluid flow adjustment 1 0. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวง กลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบร่วมศูนย์กลางเดียวกันกับ แผ่นกลม 10. Valves according to claim 8 Here, the disc is a round shape and the support is arranged in the same concentricity as the disc 1. 1. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับ ขั้วไฟ้าสำหรับรับรู้แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก 11. The valve according to claim 8 consists of the main electrode with The sensory electrode is separated from the main electrode 1. 2. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 8 ในที่นี้ความหนาของชั้นแต่ ละชั้นของแผ่นกลมของวาลวแบบเพียโวอิเล็กทรอนิคได้ผ่านการ เลือกโดยที่แกนใจ กลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิวร่วม ระหว่างชั้นที่อยู่ชิดกัน 12. Valve according to claim 8, here the thickness of the layer but Each layer of the piavo electronic valva disc has passed Chosen by the heart The center of the disc does not match the joint surface. Between adjacent floors 1 3. วาล์วตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 ในที่นี้แท่นรองวาล์วประกอบด้วยสิ่งผนึกที่เป็นสารยึดหยุ่นซึ่งอ่อนตัวตามได้ 13.Valve according to claim 8, here the valve seat consists of a flexible binder seal that is flexible according to 1. 4. วาล์วสำหรับปิดและควบคุมการไหลเพื่อทำการควบคุมการไหล ของไหล , วาล์วประกอบด้วยปลอกหุ้ม , โพรงภายในปลอกหุ้ม , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นกลมของวาล์วที่ทำจากวัสดุชนิดอัดตัว ด้วยไฟฟ้า และแท่นรองวาล์วที่จัดวางไว้ภายในโพรงระหว่าง ช่องทางเข้ากับช่องทางออก , แท่นรองวาล์วมีสัญฐานโดยรอบ ด้านนอกสัมพันธ์กับสัญฐานโดยรอบด้านนอกของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , ชิ้นส่วนที่เป็นแผ่นวงกลมของวาล์วประกอบ ด้วยฐานรองที่เป็นโลหะที่มีชั้นแบบเพียโซอิเล็กทริคที่ผนึก ติดกับผิวหน้าของมันอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวหน้า , ช่องทาง เข้าและช่องทางออกซึ่งชักนำของไหลเข้าไปและออกจากโพรงและ จัดวางไว้บนด้านซึ่งอยู่ตรงข้ามกับของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์ว , และอุปกรณ์สำหรับรองรับชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วที่บริเวณใจกลางของชิ้นส่วนที่มีบริเวณ ส่วนรอบนอกของแผ่นกลางที่จัดวางให้ปฎิบัติการร่วมกับแท่น รองวาล์ว ดังนั้น , ท่ามกลางการกระตุ้นของชิ้นส่วนที่เป็น แผ่นกลมของวาล์วด้วยแรงดันไฟฟ้าที่ประยุกต์ใช้ , จะทำให้ ขอบรอบนอกของแผ่นกลมเคลื่อนที่ห่างออกจากแท่นรองวาล์วได้ เพื่อยอมให้ของไหลไหลจากช่องทางเข้าตลอดส่วนรอบนอกของแผ่น กลมไปที่ช่องทางออกซึ่งอยู่ตรงกันข้าม , ที่เรียกว่าแท่น รองวาล์วประกอบด้วยสิ่งผนึกที่เป็นสารยึดหยุ่นที่ซึ่งอ่อน ตัวตามได้ 14.Valve for shut-off and control flow to control fluid flow, valve consists of a casing, cavity inside a casing, a circular disc part of a valve made of electro-compression material and a valve seat positioned. Inside the cavity between Inlet and outlet port, the valve housing has signs all around. The outside relative to the signal surrounding the outer part of the component. Valve disc, circular disc part of the valve assembly. With a metal base with a sealed piezoelectric layer Adjacent to at least one of its surfaces, the inlet and outlet through which fluid is drawn in and out of the cavity and Place it on the side opposite the part that is The disc of the valve, and equipment for supporting the The disc of the valve at the center of the component where the The periphery of the center plate is positioned to work with the valve housing. Therefore, amid the actuation of the The disc of the valve with applied voltage, allows the periphery of the disc to move away from the valve seat. To allow fluid to flow from the inlet along the periphery of the sheet Round to the opposite exit channel, called the platform. The secondary valve consists of a seal that is a flexible binder that is malleable. 5. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้แผ่นกลมเป็นรูปวงกลม และส่วนรองรับได้จัดวางไว้แบบ ร่วมศูนย์กลางเดียวกันกับแผ่นกลม 15. Valves according to claim 14. Here, a disc is circular in shape. And the support was placed in Share the same center with round disc 1 6. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ส่วนรองรับที่เป็น โลหะจะยื่นออกจากด้านนอกพ้นจากชั้นแบบเพียโซอิเล็คทริคเพื่อ ก่อรูปเป็นขอบเขตโดยรอบนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็คทริค , ขอบเขตโดยรอบนอกซึ่งเป็นอิสระจากเพียโซอิเล็ทริคดังกล่าว จะผนึกปิดด้านกับแท่นรองวาล์วเมื่อทำให้วาล์วปิด 16. Valves according to claim 14. Here, the support that is The metal protrudes from the outside away from the piezoelectric layer to Forms a peripheral boundary independent of the piezoelectric, peripheral boundary independent of that piezoelectric. Will seal the side of the valve housing when the valve closes 1. 7. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าหลักกับขั้วไฟฟ้า สำหรับรับรู้ที่แยกออกจากขั้วไฟฟ้าหลัก 17. The valve according to claim 14 consists of the main electrode and the electrode. For perceived separated from main electrode 1 8. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบด้วยอุปกรณ์ควบคุม การป้อนกลับสำหรับการควบคุมการกระจัดของช่องเปิดและเพราะ ฉะนั้นเป็นการปรับการไหลของของไหล 18. The valve according to claim 14 consists of a control device. Feedback for open channel displacement control and because So it is to adjust the flow of fluid 1 9. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ฐานรองที่เป็นโลหะ จะทำให้เข้าคู่กันได้เชิงความร้อนสัมพันธ์กับชั้นของวัสดุเ พียโซอิเล็กทริค 29. Valves according to claim 14. Here, a metal base. Will make thermal compatibility relative to the material layer Piezo Electric 2 0. วาล์วตามข้อถือสิทธิที่ 14 ในที่นี้ความหนาแน่นของ ชั้นแต่ละชั้นของแผ่นกลมของวาล์วแบบเพียโซอิเล็คทริคได้ ผ่านการเลือกโดยที่แกนใจกลางของแผ่นกลมไม่ตรงกันกับพื้นผิว ร่วมระหว่างชั้นที่อยู่ชิดกัน0. Valve according to claim 14, herein the tightness of Each layer of piezoelectric valve disc can be Passed by the disc center axis does not match the surface. Together between the adjoining floors
TH9201001528A 1992-10-22 Systems for controlling fluid flow TH5161B (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH15031EX TH15031EX (en) 1994-11-29
TH15031A TH15031A (en) 1994-11-29
TH5161B true TH5161B (en) 1996-02-09

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4792113A (en) Fluid flow control valve
TW221480B (en)
RU2476743C2 (en) Metal sealing gasket with elastomeric substrate for use with fluid medium controllers
US5145147A (en) Normally closed-type fluid control valve
JPS6132541B2 (en)
KR860004266A (en) Flow control valve and method
JP2002500336A (en) Solenoid valve with a hard tube fluid channel in a valve seat and a flexible sealed diaphragm
US4207919A (en) Digital fluid flow control system
JP7157461B2 (en) valve device
WO2019171593A1 (en) Valve device
TH5161B (en) Systems for controlling fluid flow
JP7352971B2 (en) Valve devices, flow rate control methods, fluid control devices, semiconductor manufacturing methods, and semiconductor manufacturing equipment
TH15031A (en) Systems for controlling fluid flow
US4893782A (en) Metallic seat for fluid valve
US2435076A (en) Electrically actuated valve
JP7376935B2 (en) Flow path assembly, valve device using this flow path assembly, fluid control device, semiconductor manufacturing device, and semiconductor manufacturing method
US20230001529A1 (en) Vacuum machining system having a process chamber with a vacuum regulating valve
US3207469A (en) High vacuum valve
JP3562692B2 (en) Mass flow controller
JPH10318401A (en) Flow controlling valve
TH15031EX (en) Systems for controlling fluid flow
JPS62106103A (en) Pneumatic interface device
JPH01105080A (en) Piezoelectric flow control valve
NL8202471A (en) USING A SOLENOID ADJUSTABLE VALVE.
JPH11237921A (en) Mass flow controller