TH48175B - Exfoliation method Polishing device, glass base layer for magnetic recording media. and magnetic recording media - Google Patents
Exfoliation method Polishing device, glass base layer for magnetic recording media. and magnetic recording mediaInfo
- Publication number
- TH48175B TH48175B TH1001001118A TH1001001118A TH48175B TH 48175 B TH48175 B TH 48175B TH 1001001118 A TH1001001118 A TH 1001001118A TH 1001001118 A TH1001001118 A TH 1001001118A TH 48175 B TH48175 B TH 48175B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- glass substrate
- polishing
- free abrasive
- abrasive grains
- inner peripheral
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (02/10/58) จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับที่สูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผ่นเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านใน แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 2/10/2558 จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับที่สูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการขัดถูกในของเหลวขัดถูก 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูกอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผ่นเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบด้านใน ----------------------------------------------------- วันที่แก้ไข 02/10/58 จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิดและอุปกรณ์การขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับสูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี 1 ) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการขัดถูในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผ่นเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านใน ........................................................................................................................ จะเปิดเผยเกี่ยวกับวิธีการขัดผิวและอุปกรณ์การขัดผิว ซึ่งในนั้น จะสามารถบรรลุผลสำเร็จ การทำความสะอาดพื้นผิวของชั้นฐานแก้วด้วยระดับที่สูง ชั้นฐานแก้ว (ชั้นฐานแก้วของเอ็มดี 1) ที่มี รูปร่างเป็นจานรูปวงกลมที่มีรูรูปวงกลมในส่วนกึ่งกลางจะได้รับการจุ่มลงในของเหลวขัดถู 50 ที่มี เม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่ และจะขัดผิวพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในของชั้นฐานแก้วด้วยการใช้ ของเหลวขัดถูที่มีเม็ดสารขัดถูอิสระบรรจุอยู่โดยการหมุนแปรง 4 ชนิดหมุน หรือแผ่นเพื่อการขัดผิว ในลักษณะสัมผัสกับพื้นผิวปลายรอบนอกด้านในDC60 (02/10/58) discloses a polishing method and a polishing apparatus, wherein it is possible to achieve a high degree of cleaning of the surface of a glass substrate. The glass substrate (MD 1 glass substrate), having the shape of a circular disk with circular holes in the center, is immersed in a polishing fluid 50 containing free abrasive grains, and the inner peripheral surface of the glass substrate is polished by using the abrasive fluid containing free abrasive grains by rotating four rotating brushes or polishing pads in contact with the inner peripheral surfaces. Edit Brief of Invention 2/10/2015 discloses a polishing method and a polishing apparatus, wherein it is possible to achieve a high degree of cleaning of the surface of a glass substrate. The glass substrate (MD 1 glass substrate), having the shape of a circular disk with circular holes in the center, is polished in a polishing fluid 50 containing free abrasive grains, and the inner peripheral surface of the glass substrate is polished by using The free abrasive grains are packed in a polishing fluid by rotating four rotating brushes or polishing pads in contact with the inner peripheral surfaces. ----------------------------------------------------- Date revised 02/10/58 Disclosed will reveal the polishing methods and polishing apparatus, wherein it is possible to achieve a high level of cleaning of the surface of the glass substrate. The glass substrate (MD1 glass substrate), which is in the form of a circular disk with a circular hole in the center, is rubbed in the polishing fluid 50 containing free abrasive grains, and the inner peripheral surface of the glass substrate is polished by using the free abrasive grains packed in a polishing fluid by rotating four rotating brushes or polishing pads in contact with the inner peripheral surfaces. ................................................................................................................................ Disclosed will reveal the polishing methods and polishing apparatus, wherein it is possible to achieve a high level of cleaning of the surface of the glass substrate. The glass substrate (MD1 glass substrate), which is in the form of a circular disk with a circular hole in the center, is immersed in the polishing fluid 50 containing free abrasive grains. And the inner outer surface of the glass base layer will be polished by using a polishing liquid containing free abrasive particles by rotating four rotating brushes or polishing pads in contact with the inner outer surface.
Claims (2)
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH111024A TH111024A (en) | 2011-11-21 |
| TH48175B true TH48175B (en) | 2016-02-23 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2981079B2 (en) | Polishing equipment for flat articles | |
| TW446601B (en) | Selective damascene chemical mechanical polishing | |
| KR930008983A (en) | Method of removing polishing slurry after mechanical planarization of semiconductor wafer | |
| US4129457A (en) | Post-polishing cleaning of semiconductor surfaces | |
| MY129818A (en) | Method for manufacturing substrate | |
| KR20000017219A (en) | Semiconductor equipment fabrication method and working apparatus | |
| JP2011205096A5 (en) | ||
| JP2011216873A5 (en) | ||
| JP2004506337A5 (en) | ||
| JP2000140778A (en) | Cleaning liquid and cleaning method for glass substrate | |
| JP3575349B2 (en) | Cleaning solution and cleaning method for aluminosilicate glass substrate | |
| JP2002510875A (en) | Apparatus and method for removing slurry in chemical mechanical polishing | |
| TH48175B (en) | Exfoliation method Polishing device, glass base layer for magnetic recording media. and magnetic recording media | |
| US5811355A (en) | Enhanced chemical-mechanical polishing (E-CMP) method of forming a planar surface on a thin film magnetic head to avoid pole recession | |
| JP2001205554A5 (en) | ||
| JP2006261681A5 (en) | ||
| US20030217989A1 (en) | Circumferential polishing and/or surface cleaning process for glass disk substrates using colloidal silica slurry | |
| JP2005044488A (en) | Substrate for magnetic recording medium, method for manufacturing magnetic recording medium, and substrate cleaning apparatus | |
| US6645308B2 (en) | Polish cleaning apparatus and method in manufacture of HGA | |
| JP5533355B2 (en) | Glass substrate for magnetic recording medium, double-side polishing apparatus, glass substrate polishing method, and glass substrate manufacturing method | |
| JPS60240129A (en) | Scrub washing apparatus | |
| JPS62236664A (en) | Texturing method for magnetic disk substrate | |
| JP2001308042A (en) | Polishing agent slurry for substrate | |
| JP2007022866A (en) | Method for cleaning disk-shaped glass substrate and magnetic disk | |
| TH111024A (en) | Polishing methods, polishing equipment, magnetic media base glass, and magnetic media. |