TH42284A3

TH42284A3 - วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ

Info

Publication number: TH42284A3
Application number: TH9901003545A
Authority: TH
Inventors: ไซโตะ นายทาคาชิ
Original assignee: นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์; นายบุญมา เตชะวณิช; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
Filing date: 1999-09-22
Publication date: 2001-01-03

Abstract

DC60 (06/01/43) วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งมีปุ่มอยู่บนผิวหน้าของมัน และมีที่ว่างระหว่างปุ่มที่ถูกผนึก โดยเรซินที่สามารถ ตัดเวเฟอร์ที่ถูกวางตำแหน่งอย่างถูกต้องตามแนวตัดที่ให้ ส่วนเผื่อในการตัดบนเว เฟอร์ ในขั้นตอนการตัดเป็นก้อนของ อุปกรณ์กึ่งตัวบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 10 ซึ่งมีแพทเทิร์นของวง จร ของชิปกึ่งตัวนำถูกสร้างอยู่ในบริเวณที่หนึ่ง และแนวตัด 16 ระหว่างชิปกึ่งตัวนำถูกสร้างให้ทอดข้าม บริเวณที่หนึ่ง และบริเวณที่สอง ปุ่มจะถูกสร้างให้เชื่อมต่อกับแพทเทิร์น ของวงจรของชิปกึ่งตัวนำ เคลือบเรซิน 15 จะถูกสร้างบนพื้นผิวที่เป็นปุ่มของเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำให้ได้ตามความหนาที่กำหนด ไว้ล่วงหน้าในบริเวณที่หนึ่ง ในขณะเดียวกันก็จะผนึกที่ว่างระหว่างปุ่ม และถูกสร้างให้มีความหนาที่ จะทำให้สามารถยืนยันตำแหน่งของส่วนของแนวตัดในบริเวณ 16a ซึ่งมีอย่างน้อยบางส่วนของแนว ตัดอยู่ในบริเวณที่สอง และเวเฟอร์กึ่งตัวนำจะถูกตัดตามแนวโดยใช้แนวตัดที่ถูกยืนยันในบริเวณที่มี อย่างน้อยบางส่วนของแนวตัดอยู่ในบริเวณที่สอง เป็นตำแหน่งอ้างอิง วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งมีปุ่มอยู่บนผิวหน้าของมัน และมีที่ว่างระหว่างปุ่มที่ถูกผนึก โดยเรซินที่สามารถ ตัดเวเฟอร์ที่ถูกวางตำแหน่งอย่างถูกต้องตามแนวตัดที่ให้ ส่วนเผื่อในการตัดบนเว เฟอร์ ในขั้นตอนการตัดเป็นก้อนของ อุปกรณ์กึ่งตัวบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 10 ซึ่งมีแพทเทิร์นของวง จร ของชิปกึ่งตัวนำถูกสร้างอยู่ในบริเวณที่หนึ่ง และแนวตัด 16 ระหว่างชิปกึ่งตัวนำถูกสร้างให้ทอดข้าม บริเวณที่หนึ่ง และบริเวณที่สอง ปุ่มจะถูกสร้างให้เชื่อมต่อกับแพทเทิร์น ของวงจรของชิปกึ่งตัวนำ เคลือบเรซิน 15 จะถูกสร้างบนพื้นผิวที่เป็นปุ่มของเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำให้ได้ตามความหนาที่กำหนด ไว้ล่วงหน้าในบริเวณที่หนึ่ง ในขณะเดียวกันก็จะผนึกที่ว่างระหว่างปุ่ม และถูกสร้างให้มีความหนาที่ จะทำให้สามารถยืนยันตำแหน่งของส่วนของแนวตัดในบริเวณ 16a ซึ่งมีอย่างน้อยบางส่วนของแนว ตัดอยู่ในบริเวณที่สอง และเวเฟอร์กึ่งตัวนำจะถูกตัดตามแนวโดยใช้แนวตัดที่ถูกยืนยันในบริเวณที่มี อย่างน้อยบางส่วนของแนวตัดอยู่ในบริเวณที่สอง เป็นตำแหน่งอ้างอิง

Claims

1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำในรูปแบบแพคเกจที่ประกอบร่วมด้วยชิปกึ่งตัวนำซึ่งมีปุ่มบน ผิวหน้าของมัน และที่ว่าง ระหว่างปุ่มบนพื้นผิวที่เป็นปุ่มที่ถูกผนึกโดยยางเรซิน กระบวนการดังกล่าว สำหรับผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำประกอบด้วย ขั้นตอนต่อไปนี้ การสร้างปุ่มบนเวเฟอร์กึ่งตัวนำซึ่งมีบริเวณที่หนึ่งและ บริเวณที่สองที่ถูกสร้างให้มีแพทเทิร์น ของวงจรของชิปกึ่ง ตัวนำดังกล่าวอย่างน้อยที่บริเวณที่หนึ่งดังกล่าว และที่ ถูกสร้างให้มีแนวตัด ระหว่างชิปกึ่งตัวนำที่ทอดข้ามบริเวณ ที่หนึ่ง และบริเวณที่สแท็ก :