TH41450A

TH41450A - Methods for diamond-like carbon coatings

Info

Publication number: TH41450A
Application number: TH9801002244A
Authority: TH
Inventors: เอ. ฮอปวูด นายเจฟฟรีย์; แอล. แพ็พพัส นายเดวิด
Original assignee: นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายวิรัช ศรีเอนกราธา; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date: 1998-06-16
Publication date: 2000-11-28

Abstract

DC60 (28/09/42) วิธีการของการสร้างฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรบนวัสดุรองรับ ที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการ เผย วัสดุรองรับกับสภาพแวดล้อม แก๊สไฮโดรคาร์บอน และการก่อกำเนิดพลาสมาในสภาพแวดล้อม ที่มี ความหนาแน่นอิเล็กตรอนมากกว่าประมาณ 5x10ยกกำลัง10 ต่อลูกบาศก์เซนติเมตร และความหนาของแผ่นน้อยกว่า ประมาณ 2 มิลลิเมตร ภายใต้ภาวะ ของไอออนฟลักซ์สูง และการระดมยิงไอออนพลังงานต่ำที่ควบ คุม อีกทั้ง ชิ้นวัตถุของการผลิตซึ่งรวมวัสดุรองรับที่มีผิว หนึ่ง และฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรบนผิว นั้น ซี่งฟิล์มนั้นมี ความแข็งมากกว่าประมาณ 20 จิกะพาสคัล และไม่มีเกรนที่มอง เห็นได้เส้นผ่าศูนย์ กลาง 300 อังสตรอม หรือมากกว่า เมื่อดู ที่กำลังขยาย 50,000x ในฟิลด์อิมัสชันสแกนนิง อิ เล็กตรอนไมโครสโคพ วิธีการของการสร้างฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรบนวัสดุรองรับที่ประกอบด้วยขั้นตอนของการเผยวัสดุรองรับกับสภาพแวดล้อม แก๊สไฮโดรคาร์บอน และการก่อกำเนิดพลาสมาในสภาพแวดล้อมที่มี ความหนาแน่นอิเล็กตรอนมากกว่าประมาณ 5x1010 ต่อเซนติเมตร3 และความหนาของแผ่นน้อยกว่าประมาณ 2 มิลลิเมตร ภายใต้ภาวะ ของไอออนฟลักซ์สูง และการระดมยิงไอออนพลังงานต่ำที่ควบคุม อีกทั้ง ชิ้นวัตถุของการผลิตซึ่งรวมวัสดุรองรับที่มีผิว หนึ่ง และฟิล์มคาร์บอนคล้ายเพชรบนผิวนั้น ซี่งฟิล์มนั้นมี ความแข็งมากกว่าประมาณ 20 จิกะพาสคัล และไม่มีเกรนที่มอง เห็นได้เส้นผ่าศูนย์กลาง 300 อังสตรอม หรือมากกว่า เมื่อดู ที่กำลังขยาย 50,000x ในฟิลด์อิมัสชันสแกนนิงอิ เล็กตรอนไมโครสโคพ DC60 (28/09/42) Method for creating a diamond-like carbon film on a backing material. That includes the process of exposing the material to the environment Hydrocarbon gas And plasma generation in environments with approximate greater electron density 5x10 to the power of 10. Per cubic centimeter And the thickness of the plate is less than approx. 2 mm under conditions of high flux ion And controlled low-energy ion bombardment, as well as a production object combining a substrate with one surface and a diamond-like carbon film on that surface. Its hardness is more than about 20 jiga passal and has no grain to look at. A diameter of 300 angstroms or greater is visible when viewed at 50,000x magnification in the emission scanning electron microscopy field. Methods for creating a diamond-like carbon film on the substrate consists of a process of exposure to the environment. Hydrocarbon gas And the generation of plasma in environments with Its electron density is approximately 5x1010 per centimeter 3. And the thickness of the plate is less than approx. 2 mm under conditions of high flux ion And a controlled low-energy ion bombardment, as well as a production object combining a substrate with a surface and a diamond-like carbon film on that surface. The film has Its hardness is more than about 20 jiga passal and has no grain to look at. A diameter of 300 angstroms or greater is seen when looking at 50,000x magnification in the Scanningi emission field. Lectron microscopes

Claims

1. Methods for creating a diamond-like carbon film on the substrate consists of the steps of: exposure of the supporting material to the hydrocarbon gas environment and plasma generation in the aforementioned environments with Its electron density is approximately 5x1010 per centimeter 3. And the thickness of the plate is less than approx. 2 mm under conditions of high flux ion And controlled low-energy ion bombardment

2. Method of claim Clause 1 for the said environment Then it consists of the selected gas from CH4, C2H2, C6H6, C2H6, and C3H6 groups.

3. Method of disclaimer tag: