TH35588A - ซับสเตรทโปร่งใสที่ได้รับการจัดเตรียมให้มีชั้นเป็นกองซ้อนที่สะท้อนการแผ่รังสีความร้อน - Google Patents

Abstract

DC60 (12/09/50) กองซ้อนของชั้นที่สะท้อนการแผ่รังสีความร้อนสำหรับซับสเตรทโปร่งใสประกอบรวมด้วยชั้น ทำหน้าที่เงินอย่างน้อยหนึ่งชั้น และบน ผิวหน้าทั้งสองของสิ่งหลัง ชั้นกันการสะท้อนได้รับการก่อรูป โดยสารประกอบโลหะหนึ่งหรือหลายอย่าง ชั้นกันการสะท้อนใต้ชั้นเงินประกอบรวมด้วยชั้นเฉพาะส่วน ด้านบนที่เป็นซิงค์ออกไซด์ที่ต่อเนื่องกับชั้นเงิน และชั้นเฉพาะส่วนเพิ่มเติมใต้ชั้นซิงด์ออกไซด์ ที่ได้ รับการก่อรูปโดยอลูมิเนียมไนไตรด์และมีความเค้นเฉือนภายใน โดยการใช้ชั้น AIN ที่มีความเค้น เฉือนช่วย ก็เป็นไปได้ที่จะชดเชยความเค้นอัดภายในที่มีอยู่ในชั้น Zn0 ได้ การซ้อนของชั้นทีสะท้อนการแผ่รังสีความร้อนทสำหรับฐานรองโปร่งแสงประกอบด้วยชั้นทำหน้าที่เลินอย่างน้อยหนึ่งชั้น และบนผ ผิวหน้าทั้งสองของสิ่งหลัง ชั้นกันการสะท้อนได้รับการก่อรูป เฉพาะส่วนด้านบนที่เป็นซิงค์ออกไซด์ที่ต่อเนื่องกับชั้นเงิน แล ะความชั้นเฉพาะส่วนเพิ่มเติมใต้ชั้นซิงค์ออกไซด์ ที่ได้รับการ ก่อรูปโดยอลูมิเนียมไนไตรด์และมีความเค้นเฉือนภายใน โดยการใช้ชั้น AIN ที่มีความเค้นเฉือนช่วย ก็เป็นไปได้ ที่จะชดเชยความเค้นอัดภายในที่มีอยู่ในชั้น ได้

Claims (21)

1.แผ่นฐานรองโผร่งแสง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในรูปของฟิล์มพอลิเมอรืยืดหยุ่นที่ได้รับการจัดเตรียมให้มีกองซ้อนแบบฟิ ล์มบางที่ประกอบด้วยชั้นในงานโลหะอย่างน้อยหนึ่งชั้นซึ่ง มีคุณสมบัติการสะท้อนในย่านอินฟราเรด เช่น Ag ที่ได้รับ การจัดไว้ระหว่างชั้น "กันการสะท้อน" ที่เป้นไดอิเล็กตริก สองขชั้น โดยมีลักษณะเฉพาะซึ่งชั้นกันการสะท้อน "ด้านล่าง" ที่ได้รับการจัดไว้ระหว่างชั้นทำหน้าที่และแผ่นฐานรอง เป็น ชั้นเดียวที่เป็น AIN ดัดแปลงซึ่งระดับความเค้นของมันสมดุล หรือเป็นลำดับที่ได้รับการซ้อนทับกันของชั้นที่ประกอบด้วยชั้น AlN อย่างน้อยหนึ่งชั้นซึ่งด้านบนสุดของมันเป็นชั้นออกไซด์ซึ่ง ระดับความเค้นชดเชย/หักล้างซึ่งกันและกันอย่างน้อยเป้น บางส่วน

2.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยมี ลักษณะเฉพาะซึ่งชั้นกันการสะท้อน"ด้านล่าง"ประกอบด้วย ชั้นที่เป้น AlN ซึ่งประกอบด้วยโลหะส่วนน้อยอีกชนิดด้วย เช่นกัน โดยเฉพาะอย่างยิ่งสังกะสี เช่นในสัดส่วนจาก 0.1 ถึง 10% อะตอมสัมพัทะ์กับอลูมิเนียมเป็นต้น

3.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 หรือข้อ ถือสิทธิข้อ 2 โดยมีลักาณะเฉพาะซึ่งชั้นกันการสะท้อน ประกอบด้วยชั้นที่เป็น AlN/ลำดับชั้นที่เป็นซิงค์ออกไซด์ ชั้นแรกมีระดับความเค้นเฉือน และชั้นที่สองมีระดับความ เค้นอัด

4.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อถือสทิธิข้อใดข้อหนึ่ง ก่นอหน้า โดยมีลักาณะเฉพาะว฿่งชั้นออกไซด์ โดยเฉพาะ อย่างยิ่งที่เป็น ZnO ของชั้นกันการสะท้อน "ด้านล่าง" ต่อ เนื่องกับชั้นใช้งาน

5.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 3 โดยมีลักษระเฉพาะซึ่งชั้นโลหะที่บาง โดยเฉพาะ อย่างยิ่งเช่นไททาเนียมหรือโลหะผสมของ Ni เช่นโลหะผสม NiCrหรือนิโอเบียมได้รับการไว้ระวห่างชั้นกันการสะท้อน " ด้านล่าง" และชิ้นใช้งาน

6.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึงข้อ 3 โดยมีลักษณะเฉพาะซึ่งกองซ้อนประกอบด้วยชั้น ใช้งาอย่างน้อยสองชั้น เช่นชั้น Ag ซึ่งมีชั้นกันการสะท้อน "ระหว่างกลาง"ระหว่างชั้นในงานสองชั้นหรือระวห่างชั้น ในงานสองชั้นติดกัน

7.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อถือสทิธิ 6 โดยมีลักาณะ เฉพาะซึ่งกันการสะท้อน"ระวห่างกลาง"หรือย่างน้อยหนึ่งชั้น ประกอบด้วยชั้นกันการสะท้อน "ด้านล่าง" ซึ่งเป็นชั้นเดียว ที่เป็น AlN ที่ได้รับการดัดแปลงเพื่อให้ระดับความเค้นสมดุล หรือลำดับของชั้นที่ได้รับการซ้อนทับที่ประกอบด้วยชั้นที่ เป็น AlNอย่างน้อยหนึ่งชั้นซึ่งที่บนด้านบนสุดของมันมีชั้น โลหะออกไซด์เช่น ZnO อยู่ซึ่งระดับความเค้นของมัน ชดเชย/หักล้างซึ่งกันและกันออกอย่างน้อยเป็นบางส่วน

8.แผ่นฐานรองที่สอคล้องกับข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่ง ก่อนหน้า โดยมีลักษณะเฉพาะซึ่งขึ้นใช้งานหรือย่างน้อย หนึ่งชั้น มีชั้นโลหะเสียสละที่ด้านบนสุดของมัน โดยเฉพาะ อย่างยิ่งเช่น Nb, Ti หรือ NiCr

9.แผ่นฐานรองที่สอดคล้องกับข้อถือสทิธิข้อใดข้อหนึ่ง ก่อนหน้า โดยมีลักาณะเฉพาะซึ่งชั้นกันการสะท้อน"ระหว่าง กลาง" และ/หรือ "ด้านบน" ประกอบด้วยชั้นที่เป็นโลหะ ออกไซด์ที่ได้รับการเลือกสรรจาก SnO2, Ta2O, Nb2O5 ZrO2, TiO2 หรือชั้นที่เป้นไนไตรด์เช่น AlN และ Si3N4

10.ฟิล์มพอลิมเอร์เช่นแบบที่เคลือบ PET ที่สอดคล้องกับข้อ ถือสิทธิข้อใดข้อหนึ่งก่อนหน้าโดยมีลักาณะเฉพาะซึ่ง มันปราศ จากรัศมีของความโค้งที่ไม่เจตนาโดยมูลฐาน

11.การใช้ฟิล์มที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 10 สำหรับ การผลิตหน้าต่างใช้งานกันแสงแดดหรือมีการแพร่กระจาย ความร้อนต่ำ

12.หน้าต่างอัดซ้อน โดยมีลักษณะเฉพาะซึ่งมันประกอบ ด้วยฟิล์มพอลิเมอร์ที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 10

13.กระบวนการสำหรับการผลิตแผ่นฐานรองในรูป ของฟิล์มพอลิเมอรืยืดหยุ่นที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของ ่ข้อถือสิทธิข้อ 1 ถึง 10 โดยมีลักาณะเฉพาะซึ่งเทคนิค การพ่นเป็นฝอยได้รับการใช้สำหรับการเกาะจับชั้นของก กองซ้อน ในขณะที่เปลี่ยนแปรสภาวะซึ่งชั้นสภาวะซึ่งชั้น ของชั้นกันการสะท้าน "ด้านล่าง" ได้รับการเกาะจับ เพื่อทำให้ระดับความเค้นที่เหลือของชั้นกันการสะท้อน "ด้านล่าง"ที่กล่าวมาแล้วน้อยที่สุดในลักษณะที่ไม่เหนี่ยว นำรัสมีมความโค้งในฟิล์มเดนื่องนากความเค้นภายใน อย่างเป็นสำคัญ

14.กองซ้อนของชั้นที่สะท้อนการแผ่รังสีความร้อนแผ่น ฐานรองโปร่งแสงที่ประกอบด้วยชั้นใช้งานอย่างน้อยที่ ได้่รับการก่อรูปโดยเงินและชั้นกับการสะท้อนซึ่งได้รับ การจัดไว้ที่ทั้งสองด้านของชั้นเงินและได้รับการก่อรูป โดยสารประกอบโลหะหนึ่งหรือกลายอย่าง ชั้นกันการ สะท้อนที่ได้รับการจัดไว้ใต้ชั้นเงินประกอบด้วยชิ้นเฉพาะ ส่วนด้านบนที่ได้รับการก่อรูปโดยซิงค์ออกไซด์ที่ต่อเนื่องกัด ไปกับชั้นเงิน และชั้นเฉพาะส่วนเพิ่มเติมที่ได้รับการจัดไว้ ข้างใต้ โดยมีลักาณะเฉพาะซึ่งกองซ้อนของชั้นด้รับการ แยกแยะโดยความจริงที่ว่าชั้นเฉพาะส่วนเพิ่มเติมที่ได้รับ การจัดไว้ให้ชั้นซิงค์ออกไซด์และเป็นของชั้นกันการสะท้อน "ด้านล่าง"เป็นชั้นที่เป็นอลูมิเนียมไนไตรด์วึ่งได้รับความ เค้นเฉือนภายใน

15.กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้อกงับขอ้ถือสิทธิข้อ 14 โดบย มีลักาณะเฉพาะซึ่งแอมพลจูดของความเค้นอัดภายในของชั้น อลูมิเนียมไนไตรด์สอดคล้องกับการปรับพารามิเตอร์การเคลือบ ให้เท่ากับแอพลิจูดของความเต้นอัดภายในชั้นซิงค์โดยประมาณ เพื่อให้ความเค้นเฉือนและความเค้นอัดของชั้นเฉพาะส่วนสอง ชั้นต่อเนื่องกับสมดุลกันอย่างน้อยสำหรับส่วนที่เป้นส่วนมาก

16.กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 14 หรือ 15 โดยมีลักาณะเฉพาะซึ่งชั้นซิงค์ออกไซด์มีความหนาน้อยก กว่า 15 นาโนเมตร และอย่างที่ควรเป็นแล้วน้อยกว่า 12 นาโนเมตร

17.กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของข้อถือสิทธิ 14 ถึง 16 โดยมีลักษณะเฉพาะซึ่งมันปะรกอบด้วยใช้งาน สองชั้นที่ได้รับการก่อรูปจากเงิน ซึ่งได้รับการแยกจากกัน และกันด้วยชั้นกันการสะท้อนเพิ่มเติม ชั้นกันการสะท้อน เพิ่มเติมนี้ยังประกอบด้วยชั้นเฉพาะส่วนสองชั้น กล่าวคือ ชั้นหนึ่งซึ่งต่เนื่องถัดไปจากชั้นเงินด้านบน ได้รับการก่อรูป โดยซิงค์ออกไซด์และได้รับความเค้นอัดภายในและชั้น เฉพาะส่วนซึ่งต้่อเนื่องกับชั้นเงินด้านล่าง ได้รับการก่อ รูปโดยอลูมิเนียมไนไตรด์และได้รับความเค้นเฉือนภายใน

18.กองซ้อนของชั้นที่สองดคล้อกงกันกับขอ้ถือสิทธิขอ้ 14 ถึง 17 ซึ่งมีลักษณะเฉพาะที่โครงสร้างต่อไปนี้ (แผ่นฐานรอง)/AlN/ZnO/Ag/Ti/TiO2

19.กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของข้อถือสิทะิ ข้อ 14 ถึง 16 ซึ่งมีลักาณะเฉพาะที่โคงสร้างต่ไปนี้ (แผ่นฐานรอง)/AlN/ZnO/Ag/AlN

20.กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 14 ซึ่ง มีลักาณะเฉพาะที่โครงสร้างต่อไปนี้ (แผ่นฐานรอง)/AlN/ZnO/Ag/AlN/ZnO/Ag/AlN

21.การใช้กองซ้อนของชั้นที่สอดคล้องกับข้อหนึ่งของ ข้อถือสิทธิข้อ 14 ถึง 20 สำหรับการเคลือบฟิล์มพอลิเมอร์ ที่บางโดยเฉพาะอย่างยิ่ง PET เพื่อให้พารามิเตอร์การเคลือบ ของชั้นที่มี AlN เป็นพื้นฐานที่ได้รับการก่อรูปโดยการพ่น เป็นฝอยทำปฏิกิรยาจากแคโทอลูมิเนียมทีเป็นโลหะได้รับ การเลือกให้ลักาณะที่ฟิล์มที่ได้รับการเคลือบไม่มีความ โค้งอย่างเป็นสำคัญที่ได้รับการเหนี่ยวนำโดยความเค้นภายใน (ข้อถือสิทธิ 21 ข้อ,รูปเขียน - รูป)