TH32029A - อุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้านและอุปกรณ์และวิธีที่เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้าน - Google Patents
อุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้านและอุปกรณ์และวิธีที่เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้านInfo
- Publication number
- TH32029A TH32029A TH9701004859A TH9701004859A TH32029A TH 32029 A TH32029 A TH 32029A TH 9701004859 A TH9701004859 A TH 9701004859A TH 9701004859 A TH9701004859 A TH 9701004859A TH 32029 A TH32029 A TH 32029A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- suction
- suction pad
- silicon substrate
- substrate
- equipment
- Prior art date
Links
- 238000009499 grossing Methods 0.000 title claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 title 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 11
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 (27/01/41) ตัวยึด(102)ที่ทำจากวัสดุต้านทานเอชเอฟประกอบด้วยแผ่นดูดวงแหวน(105,108) แผ่นดูด(105)จะถูกใช้เพื่อยึดซับสเตทซิลิ กอนเล็กโดยการดูดและแผ่นดูด(108)จะถูกใช้ เพื่อยึดซับสเตทซิ ลิกอนแผ่นใหญ่โดยการดูด สิ่งนี้ทำให้ซับสเตทซิลิกอนโดยมี ขนาดแตกต่าง ที่สามารถกระทำได้ซับสเตทซิลิกอนจะถูกยึดโดยการ ดูดโดยลดความดันในช่องว่างในช่อง ของแผ่นดูดโดย ปั๊มพ์ (120) ที่เปิด (103) จะถูกสร้างขึ้นในตัวยึด (102) เพื่อ ที่ว่าผิวทั้งสอง ของซับสเตทซิลิกอนจะถูกนำไปสัมผัสกับสารละ ลายเอชเอฟ(115)ซับสเตทซิลิกอนจะถูกทำ ให้เป็นขั้วบวกโดยส่ง ความต่างศักย์กระแสตรงโดยใช้ขั้วแพลทินัม(109a)เป็นขั้วลบ และขั้ว แพลทินัม(109b)เป็นขั้วบวกและซึ่งซับส เตทที่มีชั้นรูพรุนจะถูกสร้างขึ้น ตัวยึด(102)ที่ทำจากวัสดุต้านทานเอชเอฟประกอบด้วยแผ่นดูดวงแหวน(105,108)แผ่นดูด(105)จะถูกใช้เพื่อยึดซับสเตทซิลิ กอนเล็กโดยการดูดและแผ่นดูด(108)จะถูกใช้เพื่อยึดซับสเตทซิ ลิกอนแผ่นใหญ่โดยการดูด สิ่งนี้ทำให้ซับสเตทซิลิกอนโดยมี ขนาดแตกต่างที่สามารถกระทำได้ซับสเตทซิลิกอนจะถูกยึดโดยการ ดูดโดยลดความดันในช่องว่างในช่องของแผ่นดูดโดย ปั๊มพ์(120)ที่เปิด(103)จะถูกสร้างขึ้นในตัวยึด(102)เพื่อ ที่ว่าผิวทั้งสองของซับสเตทซิลิกอนจะถูกนำไปสัมผัสกับสารละ ลายเอชเอฟ(115)ซับสเตทซิลิกอนจะถูกทำให้เป็นขั้วบวกโดยส่ง ความต่างศักดย์กระแสตรงโดยใช้ขั้วแพลทินัม(109a)เป็นขั้วลบ และขั้วแพลทินัม(109b)เป็นขั้วบวกและซึ่งซับส เตทที่มีชั้นรูพรุนจะถูกสร้างขึ้น
Claims (3)
1.อุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้านสำหรับทำให้ผิวเรียบด้านซับสเตทในสารละลายอิเลคโตรไลติคประกอบด้วย คู่ของขั้วไฟฟ้าตรงข้ามและ หน่วยยึดสำหรับยึดส่วนของผิวหนึ่งของซับสเตทโดยการดูด ระหว่างขั้วไฟฟ้าที่ได้กล่าวมาแล้ว
2.อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่1 ที่ซึ่งตัวหลักของหน่วย ยึดที่ได้กล่าวมาแล้วมีที่เปิดซึ่งสารละลายอิเลคโทรไลติคจะ ถูกนำไปสัมผัสกับผิวหลักของซับสเตทยึด
3.อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่1หรือข้อที่2หรือข้อใด ข้อหนึ่ง่ที่ซึ่งหน่วยยึดประกอบด้ยสมาชิกดูดวงแหวนสำหรับ ยึดซับสเทตโดยการดูดและสมาชิกดูดที่ได้กล่าวมาแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH32029A true TH32029A (th) | 1999-02-15 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0846790A3 (en) | Anodizing apparatus and apparatus and method associated with the same | |
| KR900017140A (ko) | 정전식 웨이퍼 이송 블레이드 및 그러한 블레이드에서의 정전 결합력을 최대화하는 방법 | |
| BRPI0413909A (pt) | eletrodo biomédico, e, método para preparar um eletrodo biomédico | |
| NO20054909D0 (no) | Komposittartikkel omfattende et keramisk belegg | |
| MY121455A (en) | Electroplating apparatus and method using a compressible contact. | |
| CA2383031A1 (en) | Electrochemical biosensor having electrically conductive tracks | |
| WO2003001581A3 (en) | Methods and apparatus for electrical, mechanical and/or chemical removal of conductive material from a microelectronic substrate | |
| JP2004531899A5 (th) | ||
| EP1055926A3 (en) | Electrochemical assay using an electroconductive diamond-coated electrode, and electrochemical assay system based thereon | |
| GB0322832D0 (en) | Sensor platforms utilising nanoporous membranes | |
| EP1291931A3 (en) | A piezoelectric thin-film element and a manufacturing method thereof | |
| MXPA02008500A (es) | Sensor quimico. | |
| FI915971A0 (fi) | Elektrolyscell foer gasutvecklande elektrolytiska processer. | |
| TH32029A (th) | อุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้านและอุปกรณ์และวิธีที่เกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ทำให้ผิวเรียบด้าน | |
| EP0950431A3 (en) | Solid electrolyte ion conducting device | |
| AU2002366139A1 (en) | Measurement device for measuring electric signal emitted by biological sample | |
| TW200506381A (en) | Probe unit and its manufacturing method | |
| ATE518022T1 (de) | Elektrolysezelle mit unter kontrolliertem druck gesteuerter gasdiffusionselektrode | |
| JPH0531239U (ja) | 静電チヤツク | |
| JPH0765985B2 (ja) | ＩＳＦＥＴ並びにこれを利用したＩＳＦＥＴプローブとＩＳＦＥＴ ｐＨセンサ | |
| CN1191919C (zh) | 电化学法玻璃片硅片穿孔设备 | |
| CN223308979U (zh) | 陶瓷静电吸盘 | |
| KR100397927B1 (ko) | 마이크로 피에이치측정센서의 액간 접촉 전위막 형성방법 | |
| JPS587832A (ja) | 電気化学処理装置 | |
| JP2000336499A5 (th) |