Claims (7)
1. กระบวนการที่จะนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรชนิดหนึ่งเป็นอย่างน้อยกลับคืน จากของผสมแก๊สซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ a) การจัดหาของผสมแก๊สชนิดหนึ่ง ซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์- ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิดและแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด ของผสมแก๊สดังกล่าวอยู่ที่ความดัน ที่หนึ่งและอุณหภูมิที่หนึ่ง b) การจัดหาเมมเบรนชนิดที่หนึ่งซึ่งมีด้านสารป้อนด้านหนึ่งและด้านที่ซึมได้ด้าน หนึ่ง และแสดงการซึมของแก๊สพาหะที่ชอบมากกว่าซึ่งมีความสามารถในการเลือก SEL ที่ระบุเป็น DcSc/DpSp ที่มากกว่า 1.0 ซึ่ง Dp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร Sp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร Dc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สพาหะ Sc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สพาหะ c) การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนดังกล่าวกับของผสมแก๊สดังกล่าว d) การดึงของผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สชนิดสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดกลับคืนจากด้านสารป้อนของเมมเบรนดังกล่าวเพื่อเป็น กระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่หนึ่งที่ความดันซึ่งเท่ากับความดันที่หนึ่งดังกล่าวอย่างเห็นได้ชัด และ e) การดึงของผสมแก๊สที่ลดปริมาณลงซึ่งประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วยแก๊สพาหะ อย่างน้อยหนึ่งชนิด กลับคืนจากด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนดังกล่าวเพื่อเป็นกระแสซึมได้ชนิดที่หนึ่ง 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอัตราส่วนของความสามารถในการเลือก "SEL" จะอยู่ ระหว่าง 5 และประมาณ 1,000 สำหรับแก๊สพาหะดังกล่าวชนิดใดชนิดหนึ่งอย่างน้อยหนึ่งชนิดต่อแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรดังกล่าวชนิดใดชนิดหนึ่งอย่างน้อยหนึ่งชนิด 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งความดันที่หนึ่งถูกจัดหาให้โดยการอัดของ ผสมแก๊สดังกล่าวด้วยเครื่องอัดชนิดหนึ่ง 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 3 ซึ่งเครื่องอัดดังกล่าวปลอดจากน้ำมันและถูก ผนึกไว้ 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 3 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวถูกกระทำก่อนการ อัดเพื่อขจัดพวกสารประกอบที่เป็นอันตรายต่อเครื่องอัดนั้น 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวถูกกระทำด้วยกระบวนการ กระทำล่วงหน้าก่อนที่จะเข้าไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดที่หนึ่งเพื่อขจัดสารต่างๆ ที่เป็น อันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นก่อนการสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนนั้นกับของผสมแก๊สดังกล่าว 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ซึ่งกระบวนการกระทำล่วงหน้าดังกล่าวถูก คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การสลายตัว แบบใช้ตัวเร่งปฏิกิริยา,การขัดถูก และการดูดซับ 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ซึ่งกระแสของเสียจากกระบวนการกระทำล่วง หน้าดังกล่าวได้ถูกใช้เพื่อก่อกำเนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรต่างๆ 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่หนึ่งดังกล่าวเป็นเมมเบรนชนิดเลือก ขนาดที่ชอบการซึมของแก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิด 1 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นอสมมาตร 1 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนดังกล่าวประกอบรวมด้วยพวกเส้นใยกลวง จำนวนมาก 1 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 11 ซึ่งด้านสารป้อนดังกล่าวของเมมเบรนประกอบรวมด้วย ด้านเจาะของเส้นใยกลวงจำนวนมากดังกล่าวแต่ละเส้น ขณะที่ด้านซึมได้อยู่ด้านนอกของเส้นใยกลวง แต่ละเส้น 1 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นโพลิเมอร์เหมือนกระจกที่ทำด้วย โพลิเมอร์อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยโพลิอิมีด, โพลิเอมีด, โพลิเอมิด อิมีด, โพลิเอสเทอร์, โพลิคาร์บอเนต, โพลิซัลโฟน, โพลิอีเธอร์ซัลโฟน, อะโรแมติกโพลิเอสเทอร์ที่ แทนที่ด้วยอัลคิล, เซลลูโลสอะซีเทต, ฟลูออริเนเทดอะโรแมติกโพลิอิมีด, โพลิฟินิลีนออกไซด์ , ซัลโฟเนเทดโพลิฟีนิลีนออกไซด์,โพลิอีเธอร์อีเธอร์ซัลโฟน, โพลิอีเธอร์คีโตน, โคโพลีเมอร์ของสาร นั้น สิ่งผสมของสารนั้น และโพลิเมอร์ที่ถูกแทนที่ของสารนั้น 1 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนชนิดตะแกรงคาร์บอน 1 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 9 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนที่เคลือบด้วยซีโอไลต์ หรือเมมเบรนที่เติมด้วยซีโอไลต์ 1 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สดังกล่าวประกอบรวมด้วย กระแสปล่อยออกจากกระบวนการหนึ่งที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย การกัดขึ้นรอย, การพอก พูนของไอสารเคมี และการทำความสะอาดถัง 1 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรถูกคัดเลือกได้ จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยพวกฟลูออโรคาร์บอน, NF3, SF6 เฮโลจีโนคาร์บอน และของผสมของสาร นั้น 1 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ซึ่งกระแสที่ไม่มีการซึมประกอบรวมด้วยของผสมของ แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย SF6, C2F6, CHF3, CF4 และ NF3 1 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 18 ซึ่งการแยกแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่ ระเหยได้น้อยอย่างน้อยหนึ่งชนิดออกจากแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรที่ระเหยได้มากกว่าได้ ถูกกระทำโดยการควบแน่นในเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนซึ่งใช้ของเหลวช่วยทำให้เย็นที่อุณหภูมิ และอัตราการไหลที่ได้ผล 2 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งแก๊สพาหะอย่างน้อยชนิดหนึ่งถูกคัดเลือกได้จาก กลุ่มที่ประกอบด้วย Ar, N2, Kr, Xe, Ne, O2, He, H2, CO, CO2, H2O และของผสมของสารนั้น ซึ่งรวม ไปถึงอากาศ 2 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเมมเบรนนั้นเป็นเมมเบรนชนิดเส้นใยกลวงซึ่ง ประกอบรวมด้วยแกนโพลิเมอร์และเปลือกนอก สภาพซึมได้ของโพลิเมอร์ของเปลือกนอกนั้นสำหรับสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรต่ำกว่าสำหรับไนโทรเจน 2 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบ ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิดซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 1% โดยปริมาตร 2 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบรวม ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิด ซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 10 ppm 2 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สซึ่งถูกสัมผัสกับเมมเบรนนั้นประกอบรวม ด้วยส่วนประกอบชนิดแก๊สแต่ละชนิด ซึ่งเป็นอันตรายสำหรับเมมเบรนนั้นน้อยกว่า 1 ppm 2 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สก่อนที่จะสัมผัสกับด้านป้อนของ เมมเบรนนั้นได้ถูกทำให้มีความดันหนึ่งซึ่งมีผลสำหรับการดำเนินการแยกแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโร หรือของผสมแก๊สเพื่อจะนำกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่งถูกทำให้เข้มข้นในสารชนิดสาร ประกอบเพอร์ฟลูออโรที่เทียบกับของผสมแก๊สนั้นกลับคืนมา 2 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอัตราส่วนของความดันสัมบูรณ์ของด้านสารป้อน ต่อด้านที่ซึมได้จะอยู่ระหว่าง 2 และประมาณ 10 2 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งความดันที่หนึ่งของของผสมแก๊สที่การป้อนให้แก่ เมมเบรนนั้นอยู่ระหว่าง 105 พาสคาล ถึงประมาณ 2.0x10 7 พาสคาล 2 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สที่ลดปริมาณลงติดต่อแบบการไหลกับ ด้านของอุปกรณ์สุญญากาศที่มีความดันต่ำ 2 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่ หนึ่งได้ถูกส่งไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดที่สอง เมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวซึ่งให้กระแส ที่ไม่มีการซึมชนิดที่สองที่เข้มข้นด้วยสารประกอบเพอร์ฟลูออโรมากกว่ากระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่ หนึ่งดังกล่าว กระบวนการดังกล่าวดำเนินต่อตลอดขั้นตอน N เมมเบรน 3 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งจำนวนของขั้นตอนเอ็น คือ 2 เป็นอย่างน้อย และ อย่างน้อยส่วนหนึ่งของสิ่งซึมได้ของขั้นตอนหนึ่งน้อยกว่า N ได้ถูกขจัด และนอกจากนี้ อย่างน้อย ส่วนหนึ่งของสิ่งซึมได้ของขั้นตอนหนึ่งถูกนำกลับมาใช้ทางด้านสารป้อนของขั้นตอนทางตอนบน ใหม่ 3 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยการเพิ่มความดันของส่วนหนึ่ง ของสิ่งที่ซึมได้ของขั้นตอนที่ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ก่อนการสัมผัสของมันกับขั้นตอนทางตอน บน 3 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะซึ่งมากกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่ง 3 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 30 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะ ซึ่งน้อยกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่งสำหรับแก๊สพาหะ 3 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่ง N จะมีช่วงตั้งแต่ 3 ถึง 10 3 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งขั้นตอนของเมมเบรน N จะมีอยู่และได้ ดำเนินกระบวนการที่จุดปรับตั้งความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรชนิด หนึ่งหรือมากกว่าในกระแสที่ไม่มีการซึมสำหรับขั้นตอน N 3 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งเมมเบรนชนิดที่สองมีอัตราส่วนของความสามารถ ในการเลือกสำหรับแก๊สพาหะซึ่งน้อยกว่าอัตราส่วนของความสามารถในการเลือกของเมมเบรนชนิด ที่หนึ่งสำหรับแก๊สพาหะ 3 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมชนิดที่ N จากขั้นตอน N ได้ถูกใช้เป็นแก๊สกวาดทางด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนก่อนหน้านี้อัน ใดอันหนึ่ง และ/หรือทางด้านที่ซึมได้ของขั้นตอน N ของเมมเบรน 3 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 29 ซึ่งแต่ละขั้นตอนถูกดำเนินการที่จุดปรับตั้ง ความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิดหรือมากกว่านั้นในแต่ละขั้น ตอนโดยการควบคุมตัวแปรในการทำงานของเมมเบรนอย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยอัตราการไหล อัตราเร็วของแก๊สกวาด ความดันของสารป้อน อัตราส่วนความดัน ของทรานส์เมมเบรน และอุณหภูมิ 3 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระแสที่ไม่มีการซึมได้ถูกอัด และ/หรือถูกทำให้ เย็นลง และเก็บไว้ในอุปกรณ์สำหรับเก็บรักษาสำหรับการผ่านกระบวนการต่อไป 4 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สถูกได้มาจากกระบวนการการผลิตสาร และอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมชนิดแรกถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ในกระบวนการการ ผลิตสารนั้นใหม่ 4 1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 40 ซึ่งส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ถูกหมุนเวียนนำกลับมาใช้ใหม่ถูกส่งไปสู่ถังเสิร์จก่อนการเข้าไปสู่กระบวนการซ้ำอีกหรือก่อนถูกส่ง ไปเก็บ 4 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งในบรรดาแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรของกระแสที่ไม่มีการซึมถูกแยกต่อไปจากสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอื่นๆ ในกระแสที่ ไม่มีการซึมดังกล่าว 4 3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วย NF3 และ CF4 และได้ถูกส่งให้แก่ระบบการดูดซับ ซึ่ง NF3 ได้ถูกดูด ซับและ CF4 ไม่ถูกดูดซับ 4 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มีการซึมซึ่ง ประกอบอย่างที่ขาดไม่ได้ด้วย CHF3 และ C3F6 และได้ถูกสัมผัสกับสารดูดซับ ด้วยเหตุนี้ CHF3 จึง น่าถูกดูดซับได้ดีกว่า 4 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 42 ซึ่งอย่างน้อยหนึ่งในพวกสารประกอบเพอร์ฟลูออโร ถูกแยกออกจากกระแสที่ไม่มีการซึมในระบบเมมเบรนซึ่งมีขั้นตอนการแยกด้วยเมมเบรนหนึ่งขั้น ตอนหรือมากกว่านั้น 4 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอุณหภูมิชุดที่หนึ่งสำหรับของผสมแก๊สเมื่อมันเข้า ไปทางด้านสารป้อนของเมมเบรนจะอยู่ระหว่าง -40 ํซ. ถึง 120 ํซ. 4 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สถูกทำให้ร้อนจนถึงอุณหภูมิชุดที่สอง ก่อนการป้อนของผสมแก๊สให้แก่เมมเบรนนั้น อุณหภูมิชุดที่สองดังกล่าวซึ่งมีช่วงตั้งแต่ -40 ํ ถึง 120 ํ ซ. 4 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งของผสมแก๊สนั้นถูกทำให้เย็นลงจนถึงอุณหภูมิชุดที่ สองก่อนการส่งของผสมแก๊สไปยังเมมเบรนนั้น อุณหภูมิชุดที่สองดังกล่าวมีช่วงตั้งแต่ -40 ถึง 120 ํซ. 4 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมชนิดที่หนึ่งถูกใช้เป็นแก๊สกวาดทางด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนนั้น 5 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระบวนการนั้นได้ถูกดำเนินการที่จุด ปรับตั้งความเข้มข้นคงตัวสำหรับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิดหรือมากกว่านั้นใน กระแสที่ไม่มีการซึมชนิดที่หนึ่งดังกล่าว 5 1. กระบวนการ ตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระแสที่ซึมได้ถูกหมุนเวียนนำกลับมาใช้ ใหม่กับกระบวนการนั้นหรือนำมาเก็บไว้ 5 2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งเครื่องมือในการผลิตสารกึ่งตัวนำที่ เหมือนกันหรือต่างกันจำนวนส่วนมากได้ถูกจัดเรียงไว้ให้สัมพันธ์กับการไหลแบบขนานและเครื่อง มือแต่ละชนิดมีหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนที่สอดคล้องกันที่ออกแบบไว้เฉพาะงาน หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวซึ่งเหมือนกันหรือแตกต่างกัน 5 3. กระบวนการ ตามข้อถือสิทธิข้อ 52 ซึ่งมีเมมเบรนสำรองอยู่หนึ่งชนิด หรือมาก กว่านั้น ซึ่งยอมให้เมมเบรนชนิดหนึ่งหรือมากกว่าถูกใช้เป็นประโยชน์หรือไม่เช่นนั้นก็ทำให้เป็นทาง รอง 5 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ไม่มี การซึมจากขั้นตอนของเมมเบรนเริ่มแรกหนึ่งขั้นหรือมากกว่านั้น ได้ถูกกระทำเมื่อขจัดแก๊สชนิดที่ไม่ ใช่สารประกอบเพอร์ฟลูออโร และสารอื่นๆ ซึ่งอาจเป็นอันตรายต่อเมมเบรนนั้น 5 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งกระบวนการดังกล่าวถูกปฏิบัติการที่ อัตราการไหลของแก๊สพาหะคงตัว 5 6. กระบวนการที่จะนำกลับคืนอย่างน้อยหนึ่งชนิดของแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร หรือของผสมแก๊สจากของผสมแก๊สซึ่งไหลจากกระบวนการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอน ของ : a) การให้ของผสมแก๊สที่หนึ่งซึ่งประกอบรวมด้วยอย่างน้อยแก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรหนึ่งชนิด อย่างน้อยสารที่เป็นอันตรายต่อเมมเบรนโพลิเมอร์หนึ่งชนิด และอย่าง น้อยแก๊สพาหะหนึ่งชนิด b) การให้เมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าวซึ่งมีด้านสารป้อนหนึ่งด้านและด้านที่ซึม ได้หนึ่งด้าน c) การกระทำล่วงหน้าสำหรับของผสมแก๊สที่หนึ่งดังกล่าวเพื่อจะลดความเข้มข้น ของสารดังกล่าวที่เป็นอันตรายต่อเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าว และการได้รับของผสมแก๊สที่ กระทำแล้ว; d) การสัมผัสด้านสารป้อนของเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์ดังกล่าวกับของผสมแก๊สที่ กระทำแล้วดังกล่าว; e) การดึงของผสมแก๊สเข้มข้นซึ่งประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่มีความเข้มข้นสูงกว่าความเข้มข้นในของผสมแก๊สที่กระทำแล้ว, ออกจากด้าน สารป้อนของเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์นั้นเป็นกระแสที่ไม่มีการซึมที่ความดันซึ่งเท่ากับความดันของ ของผสมแก๊สดังกล่าว; และ f) การดึงของผสมแก๊สที่ซึมได้ชนิดหนึ่งออกจากด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนชนิดโพลิ เมอร์ดังกล่าวของผสมแก๊สที่ซึมได้ดังกล่าวมีแก๊สพาหะอยู่มาก 5 7. ระบบการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อย่างน้อยถังของเครื่องปฏิกรณ์หนึ่งหน่วยที่ปรับให้รับของผสมแก๊สซึ่ง ประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรและแก๊สพาหะ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ซึ่ง มีท่อแก๊สปล่อยออกจากเครื่องปฏิกรณ์ที่ติดกับที่นั่น; b) อย่างน้อยหนึ่งหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดเลือกขนาดซึ่งมีด้านสารป้อนและ ด้านที่ซึมได้ เมมเบรนดังกล่าวที่ให้อย่างน้อยแก๊สพาหะหนึ่งชนิดที่เกี่ยวข้องกับแก๊สชนิดสารประกบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้ดีกว่า หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่เชื่อมต่อกับถังของ เครื่องปฏิกรณ์ดังกล่าวทางท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์นั้น หน่วยเมมเบรนดังกล่าวซึ่งมีท่อระบาย ที่ซึมได้ และท่อที่ไม่มีการซึม และ c) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยหนึ่งส่วนกลับมาใช้ใหม่จากหน่วย เมมเบรนดังกล่าวกลับไปสู่ถังของเครื่องปฏิกรณ์อย่างน้อยหนึ่งหน่วย 5 8. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ปฏิบัติการในการ ติดต่อแบบการไหลกับท่อปล่อยของเครื่องปฏิกรณ์ และหน่วยเมมเบรนนั้นอุปกรณ์ปฏิบัติการดังกล่าว เลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบขึ้นด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา, การสลายตัวด้วยความร้อน, การขจัดด้วย การเร่งปฏิกิริยา, การขัดถู และการดูดซับ 5 9. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ประกอบรวมด้วยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรน ชนิดเลือกขนาดจำนวนมากได้จัดเรียงเป็นอนุกรม 6 0. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 59 ซึ่งอย่างน้อยส่วนหนึ่งของกระแสที่ซึมได้ชนิดที่ หนึ่งจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดที่หนึ่งได้ถูกระบายในท่อระบายและอย่างน้อยส่วนหนึ่งของ กระแสที่ซึมได้ทางตอนล่างจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนทางตอนล่าง ได้ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ ใหม่ทางด้านสารป้อน ของเมมเบรนทางตอนบนในเครื่องมือที่จะนำกลับมาใช้ใหม่ 6 1. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 59 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยถังหน่วง หรือถังเสิร์จที่ วางตำแหน่งไว้ในท่อที่ไม่มีการซึม 6 2. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ประกอบรวมด้วยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรน ชนิดเลือกขนาดจำนวนมากได้ถูกจัดเรียงแบบขนาน 6 3. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งหน่วยเมมเบรนประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาด 6 4. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ที่เลือกจากกลุ่ม ประกอบด้วยอุปกรณ์เครื่องอัด, อุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อน, เครื่องสูบแบบภาวะเยือกเย็น หรือ เครื่องสูบแบบสุญญากาศในท่อที่ไม่มีการซึม ซึ่งยอมให้ส่วนที่สองของกระแสที่ไม่มีการซึมถูกเก็บไว้ ในรูปที่ควบแน่นสำหรับการใช้ภายหน้า 6 5. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 57 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์หลังการปฏิบัติใน การติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม อุปกรณ์หลังการปฏิบัติดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ ประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การขจัดด้วยตัวเร่งปฏิกิริยา,การขัด ถูและการดูดซับ 6 6. ระบบการผลิตสารกึ่งตัวนำซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อย่างน้อยถังของเครื่องปฏิกรณ์หนึ่งอันที่ปรับให้รับของผสมแก๊สที่ ประกอบรวมด้วยแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรและแก๊สพาหะ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ซึ่ง มีท่อแก๊สปล่อยออกจากเครื่องปฏิกรณ์ที่ติดกับที่นั้น; b) อุปกรณ์การอัดที่ตั้งไว้ในท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์เพื่อกดแก๊สปล่อยออก จากถังของเครื่องปฏิกรณ์ c) อย่างน้อยหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนหนึ่งหน่วยที่มีด้านสารป้อนและด้านที่ซึม ได้ เมมเบรนดังกล่าวให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้และไม่ให้แก๊สชนิดสารประกอบ เพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่เชื่อมต่อเข้ากับ ถังของเครื่องปฏิกรณ์ดังกล่าวทางท่อปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์ทางตอนล่างของอุปกรณ์อัด หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่มีท่อระบายที่ซึมได้ และท่อที่ไม่มีการซึมและเมมเบรนดังกล่าวซึ่งมีอัตรา ส่วนของความสามารถในการเลือก "SEL" มากกว่าประมาณ 1.0 สำหรับแก๊สพาหะดังกล่าวอย่างน้อย หนึ่งชนิดที่เกี่ยวข้องกับแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรดังกล่าวหนึ่งชนิดเป็นอย่างน้อยชนิดใด ชนิดหนึ่ง ซึ่ง SEL = [Dc] [Sc]/ [Dp] [Sp] ซึ่ง SEL เป็นอัตราส่วนของความสามารถในการเลือก Dp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร Sp เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊ส ชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโร Dc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพเคลื่อนที่ได้ของแก๊สพาหะ Sc เป็นความสามารถในการเลือกสภาพละลายได้ของแก๊สพาหะ d) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยส่วนหนึ่งจากหน่วยเมมเบรนดัง กล่าวกลับมาใช้ใหม่โดยส่งกลับไปยังถังของเครื่องปฏิกรณ์อย่างน้อยหนึ่งหน่วย e) อุปกรณ์สำหรับปฏิบัติการล่วงหน้าในการติดต่อแบบการไหลกับหน่วยสำหรับ การเข้าไปของกระแสปล่อยออกของเครื่องปฏิกรณ์และหน่วยเมมเบรน อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติการ ล่วงหน้าดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วยการสลายตัวด้วยพลาสมา, การสลายตัวด้วย ความร้อน,การขจัดด้วยการเร่งปฏิกิริยา,การขัดถู และการดูดซับ f) หน่วยเมมเบรนซึ่งประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาดในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ ไม่มีการซึมและด้านที่ซึมได้ของเมมเบรน g) ถังหน่วงหรือถังเสิร์จในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม; และ h) เครื่องอัด, เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน, เครื่องสูบชนิดภาวะเยือกเย็น หรือ สูญญากาศในการติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึมทางตอนบนของถังเสิร์จ ซึ่งยอมให้กระแสที่ เต็มไปด้วยเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนได้ถูกเก็บไว้ในรูปของเหลวสำหรับการใช้ภายหน้า 6 7. ระบบสำหรับการนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรกลับคืนจากของผสมแก๊ส ระบบนั้นซึ่งประกอบรวมด้วย : a) อุปกรณ์การปฏิบัติการเพื่อการทำให้เกิดของผสมแก๊สที่กระทำแล้วที่เหมาะ สำหรับการอัด b) เครื่องอัดสำหรับการอัดของผสมแก๊สที่กระทำแล้วเพื่อให้เกิดของผสมแก๊สอัด และ c) หน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์เหมือนกระจกอย่างน้อยหนึ่งหน่วยซึ่ง มีด้านสารป้อนและด้านที่ซึมได้, เมมเบรนดังกล่าวที่ให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านได้และไม่ ให้แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวที่เชื่อมต่อกับเครื่องอัดดังกล่าวทางท่อหนึ่ง หน่วยเมมเบรนดังกล่าวที่มีท่อระบายที่ซึมได้ และ ท่อที่ไม่มีการซึม 6 8. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งเมมเบรนชนิดโพลิเมอร์เหมือนกระจกดังกล่าว ที่ทำด้วยโพลิเมอร์อย่างน้อยหนึ่งชนิดที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบด้วย โพลิอิมีด, โพลิเอมีด โพลิเอมิด-อิมีด, โพลิเอสเทอร์, โพลิคาร์บอเนต, โพลิซัลโฟน, โพลิอีธอร์ซัลโฟน, อะโรเมติดโพลิ- เอสเทอร์ที่แทนที่ด้วยอัลคิล, เซลลูโลสอะซีเทต, ฟลูออริเนเทดอะโรเมติกโพลิอีมีด, โพลิฟีนิลีน- ออกไซด์, ซัลโฟเนเทดโพลิฟินิลีนออกไซด์, โพลิอีเธอร์อีเธอร์ซัลโฟน, โพลิอีเธอร์คีโตน, โคโพลิเมอร์ของสารนั้น และสิ่งผสมของโพลิเมอร์ที่ถูกแทนที่ของสารนั้น 6 9. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งรวมไปถึงต่อไปด้วยเครื่องสูบสุญญากาศใน การติดต่อแบบการไหลกับท่อที่ไม่มีการซึม 7 0. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยหน่วยนำกลับคืนมา สำหรับนำส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากท่อที่ไม่มีการซึมดังกล่าวกลับคืนมา 71. a process by which at least a perfluoro-type gas is recovered From gas mixtures, including the procedure of a) procurement of a gas mixture It consists of at least one per-fluoro compound gas and at least one carrier gas. The gas mixture is at the pressure B) Providing a type one membrane with one feed side and one permeable side and showing preferable carrier gas permeability, with the ability to select SEL at Specified as DcSc / DpSp greater than 1.0, where Dp is the mobility of the perfluoro compound gas, Sp is the solubility of the perfluor-type gas. Dc is the mobile gas selectivity, Sc is the solubility of the carrier gas, c) contact with the feed media of the membrane with the gas mixture d) Pulls a concentrated gas mixture, which is absolutely indispensable to gas mixtures. Reassemble at least one of the perfluoros from the feed side of the membrane to be A type I non-seepage current at a pressure obviously equal to the aforementioned pressure one, and e) the extraction of the reduced gas mixture which is integral to the carrier gas. At least one of a kind 2. The process according to claim 1, where the ratio of "SEL" capacitance is between 5 and approximately 1,000 for gas. At least one of the above carriers per gas 3. The process of claim 1, in which the first pressure is supplied by the compression of the perfluoro compound. 4. Process according to claim 3, in which the compressor is oil-free and sealed; 5. Process according to claim 3, in which the gas mixture is performed prior to operation. Press to remove the compounds that are harmful to the compressor. 6. Process according to claim 1, in which the gas mixture is performed by the process. Act in advance before entering the feeder side of the membrane type I to remove any hazardous substances for that membrane prior to its contact with the feed media of the membrane with the gas mixture. Process according to claim 6, in which the said pre-action is Selectable from the group consisting of plasma decay, thermal decay, decay. Use of catalyst, abrasion and absorption 8. Process according to claim 7, in which the waste stream from the process adversely Such pages were used to form various perfluoro compounds. 9. Process according to claim 1, in which the membrane type one was a selective membrane. The size of at least one type of permeation of gas carrier 1 0. Process according to claim 9, in which the membrane is asymmetrical 1 1. The process of claim 9, in which the membrane consists of Many hollow fibers 1 2. Process according to claim 11, in which the feed side of the membrane includes The penetrating side of each of these many hollow fibers The permeable side is on the outside of each hollow fibers 1 3. Process according to claim 9, where the membrane is a glass-like polymer made with One or more polymers selected from the group consisting of polyimides, polyamides, polyimides, polyesters, polycarbonates, polysulfone, Poly Ether Sulfone, Aromatic Polyester that Replaced with alkyl, cellulose acetate, fluorinated aromatic polyimide, polyphenylene oxide, sulfonated polyphenylene. Oxides, polyether ether sulphones, polyether ketones, copolymers of that substance. 1 4. Process according to claim 9 where the membrane is a carbon screen membrane 1 5. Process according to claim 9 where the membrane is Membrane coated with zeolite Or membrane filled with zeolite 1 6. Process in accordance with Clause 1, in which the gas mixture includes A flow released from a process that is selectable from a group consisting of Etching, deposition of chemical vapor And tank cleaning 1 7. Process according to claim 1 where perfluoro-type gas can be selected. From the group consisting of fluorocarbons, NF3, SF6 halogenocarbons And mixtures of the substance 1 8. Process according to claim 17, in which the non-seepage stream consists of a mixture of Perfluoro-type gases selected from groups containing SF6, C2F6, CHF3, CF4 and NF3 1. 9. Process according to claim 18, where the separation of perfluoro-type gases at At least one of these evaporates from the more volatile perfluoro compound gas. It is produced by condensation in a heat exchanger which uses a liquid to cool the temperature 2 0. Process according to claim 1 in which at least one type of carrier gas was selected from the The group consists of Ar, N2, Kr, Xe, Ne, O2, He, H2, CO, CO2, H2O and their mixtures, including air 2. 1. Process according to claim 1, where the membrane Is a hollow fiber membrane which It is assembled with polymer core and outer shell. The polymer permeability of the outer shell for the substance Contains lower perfluoros for nitrogen 2. 2. Process according to claim 1, in which the gas mixture which is in contact with the membrane constitutes With each gas component, the hazard for a membrane is less than 1% by volume 2 3. The process of claim 1, in which the gas mixture that comes into contact with the membrane is assembled. With individual gas components Less than 10 ppm 2 is dangerous for the membrane. 4. Process according to claim 1, in which the gas mixture that is in contact with the membrane is assembled. With individual gas components Which is less than 1 ppm dangerous for the membrane. 2. 5. Process according to claim 1, in which the mixture of gas before it comes into contact with the feed side of The membrane is pressurized, which is effective for the gas purification operations of the perfluoro compounds or gas mixtures in order to conduct the non-permeable current that is concentrated in the substance. The perfluoroside relative to the gas mixture is restored. 2 6. Process according to claim 1, where the ratio of absolute pressure of the feed side The permeable side is between 2 and approximately 10 2. 7. Process according to claim 1, where the pressure at one of the gas mixture to be fed to The membrane is between 105Pa and approx. 2.0x10 7 Pa. 2 8. Process according to claim 1, in which the reduced gas mixtures are in contact with the flow. Side of the low-pressure vacuum apparatus 2. 9. Process according to claim 1, in which at least part of the non-permeable current One is directed to the feed side of the second membrane. Such a second type of membrane, which provides current The second type of non-permeable current was more concentrated with the perfluoro compound than the non-permeable current. One such The process continues throughout step N Membrane 3 0. Process in accordance with claim 29 where the number of steps N is at least 2 and at least part of the permeability of one step is less than N. In addition, at least part of the permeability of one of the procedures was recycled through the feeder side of the new upper step. 3 1. The process of claim 30, which is further incorporated. Increasing the pressure of part The permeability of the recirculated step prior to its contact with the upper step 3 2. Process according to claim 30, where the second membrane has a ratio of capacity The selection process for the gas carrier is greater than the selectivity ratio of the first membrane. 3. 3. Process according to claim 30, in which the second membrane has the capacity ratio. In choosing for gas carrier Which is less than the ratio of the selectivity of the membrane-type First for the gas carrier 3. 4. The process of claim 29, where N will range from 3 to 10. 3. 5. The process of claim 29, where the membrane N stage will exist and obtain Processed at the constant concentration setting for perfluorocarbon-type gases. One or more in the non-seepage current for step N 3. 6. Process according to claim 29 in which the second membrane has a capacity ratio. In selection for the gas carrier, which is less than the ratio of the selectivity of the membrane type. First for the gas carrier 3 7. Process according to claim 29, in which at least part of the current has no Type N seepage from step N is used as the sweeping gas on the permeable side of one of the previous membranes and / or the permeable side of the N stage of the membrane 3. 8. Process according to claim 29, where each step is performed at the setting point. A constant concentration for one or more perfluororoic gas at each stage. Epilepsy by controlling at least one membrane operating variable selected from the Consist of flow rate Speed of gas sweep Feed pressure Pressure ratio 3 9. Process according to claim 1 in which the non-permeable current is compressed. And / or cooled and stored in a storage device for further processing 4 0. Process according to claim 1, in which the gas mixture is obtained from the process of the substance production. And at least part of the first non-seepage current is recycled back into the process 4 1. Process according to claim 40, in which part of the non-seepage flow is Recirculated, recycled, sent to serge tanks before being re-entered or before being transported for storage 4 2. Process according to claim 1, in which at least one of the compound gases is recycled. The perfluoros of the non-seepage currents are further isolated from other perfluoro compounds in the non-seepage currents. 4 3. Process according to claim 42, which at least part One of the non-permeable currents which It consists of NF3 and CF4 indispensable and is supplied to an adsorption system where NF3 was absorbed and CF4 was not absorbed. 4 4. Procedures in accordance with claim 42, where at least part of the current at No seepage, which It is indispensable with CHF3 and C3F6 and has been exposed to sorbents. For this reason, CHF3 is likely to be absorbed better than 4. 5. Process according to claim 42, in which at least one of the per compounds is Fluoro Is separated from the non-seepage currents in a membrane system where there is a single membrane separation step. Section 4 or more 6. Process according to claim 1, in which the first set temperature for the gas mixture as it enters The feed side of the membrane is between -40 ํ to 120 ํ. 4. Process according to claim 1, in which the gas mixture is heated to a second temperature. Before the feeding of the gas mixture to the membrane The second set of temperatures, which range from -40 ํ to 120 ํ. 4. 8. Process according to claim 1, in which the gas mixture is cooled to a set temperature. Two, before the delivery of the gas mixture to that membrane The second temperature ranges from -40 ° C to 120 ° C. 4. 9. Process according to claim 1, in which at least part of the current does not exist. Type I seepage is used as a sweeping gas on the permeable side of the membrane. 5 0. Process according to claim 1, in which the process is performed at the Set the constant concentration for one or more perfluoro-type gases in the 5 1. The process of claim 1 in which the seeped current is recycled. New to that process or to keep it. 5. 2. Process according to claim 1, in which the semiconductor production equipment The same or different numbers are arranged in relation to the parallel flow and the machine. Each hand has a corresponding, individually designed, membrane separation unit that is the same or different. 5 3. The process of claim 52 with a membrane. If there is a reserve of one or more types that allow one or more membranes to be utilized or otherwise, make it a secondary. without Seepage from one or more original membrane steps Has been performed when eliminating non- Yes, perfluoro compounds and other substances which may be harmful to the membrane 5 5. Process according to claim 1 where the process is performed at Stable flow rate of carrier gas 5 6. Process to recover at least one type of perfluoro compound gas. Or gas mixtures from gas mixtures which flow from the semiconductor manufacturing process including the steps of: a) the delivery of the first gas mixture consisting of at least compound gases One kind of perffluoro At least one membrane hazardous substance and at least one carrier gas; b) the application of such polymer membranes with one feed side and one permeable side; c) Act in advance for the first gas mixture to reduce its concentration. Of the above substances harmful to the polymer membrane. And the receipt of the gas mixture already acted; d) contact of the feeder side of the polymer membrane with the gas mixture Already done as mentioned; e) the extraction of a concentrated gas mixture consisting of a perfluoro compound gas At least one higher than the concentration in the acting gas mixture, exiting the feed side of the polymer membrane is an impermeable current at pressure equal to the pressure of the polymer membrane. The gas mixture thereof; And f) the removal of a permeable gas mixture from the permeable side of the polypropylene membrane. The permeate of the permeable gas mixture contains a large number of carrier gas 5 7. A semiconductor production system, which includes: a) At least one reactor tank tuned to accept the gas mixture which It consists of perfluoro and carrier gas. The tank of the reactor, which There was a tube of gas released from the reactor attached there; b) At least one size selectable membrane separation unit with feeder side and Permeable side Such a membrane that supplies at least one carrier gas associated with the coupling gas. At least one type of perfluoros passes better. Such a membrane unit that is connected to the tank of The reactor through the discharge pipe of that reactor Such a membrane unit with a permeable drain and non-seepage pipe, and c) a device to recycle at least one part of the non-seepage current from the unit. At least one unit of the membrane is returned to the reactor tank. 5. 8. System according to claim 57, which consists in addition to the operating equipment to Flow contact with reactor discharge hose And the membrane unit that operating equipment Choose from a group consisting of plasma decomposition, thermal degradation, catalytic removal, abrasion and sorption 5 9. The system according to claim 57 consists of a unit. Split with a membrane Many siphon types are arranged in series 6 0. The system according to claim 59, in which at least part of the permeable current is One from the membrane separation unit, type one, was vented in the drain, and at least part of the The lower permeable current from the lower membrane separation unit. Has been recycled New in the feed field Of the upper membrane in the apparatus to be recycled 6 1. The system according to Clause 59, which is supplemented by the retarder tank. Or the Serge tank at Positioned in an impermeable pipe. 6 2. The system according to claim 57 consists of a membrane separation unit. A large selection of sizes was arranged in parallel. 6. 3. System according to claim 57, in which the membrane unit consists of a sweeping gas tube. 6 4. The system according to claim 57, which further includes equipment. Selected from a group It consists of a compressor, a heat exchanger, a cryogenic pump or a vacuum pump in a non-seepage pipe. Which allows the second part of the non-seepage current to be retained. In condensed form for future use. 6. 5. System according to claim 57, which further includes post-processing equipment in Flow-type contact with non-seepage pipes. The equipment after the said practice was selected from the group. It consists of plasma decomposition, thermal decomposition, catalytic removal, exfoliation. 6 6. A semiconductor production system consisting of: a) At least one reactor tank tuned to receive the gas mixture that It consists of perfluoro and carrier gas. The tank of the reactor, which There is a tube of gas released from the reactor attached to it; b) The compression device is set in the reactor's outlet pipe to press the discharge gas. C) at least one membrane separation unit with feed side and permeable side, such membrane allows at least one carrier gas to pass through and impervious to compound gas. At least one of the perfluoros is clearly passed. Such a membrane unit that is connected to The tank of the reactor is via the reactor outlet pipe at the bottom of the compression device. Such a membrane unit with a permeable drain. And pipes without such a seepage and membrane, whose rate As for the ability to select "SEL" more than approximately 1.0 for such carrier gas at least. One of them is associated with at least one of the aforementioned perfluororo compounds, SEL = [Dc] [Sc] / [Dp] [Sp], where SEL is the ratio of the capability of one such perfluororo to gas. Dp selection is the ability to select the mobility of the gas. Purfluoro compounds Sp are the ability to select gas solubility. The perfluoro compound type Dc is the mobility of the carrier gas, Sc, is the ability to select the solubility of the carrier gas. D) the device to conduct at least part of the non-permeable current. From the membrane unit loud At least one unit is returned to the reactor tank. E) Pre-operating equipment in flow contact with the unit for Entry of the discharge currents of the reactor and membrane units Equipment for operation Such advance is selectable from the group consisting of plasma decay, degradation with Heat, catalytic removal, abrasion and absorption f) A membrane unit consisting of a sweeping gas tube in the flow-to-pipe contact. No seepage and permeable side of the membrane; g) retarder or serge tank in flow contact with non-seepage pipes; And h) compressors, heat exchangers, cryogenic or vacuum pumps in flow contact with non-seepage pipes in the upper section of the serge tank. Which allows the flow that Full of perfluorocarbons were stored in liquid form for future use. 6. 7. Systems for recovery of perfluorocarbon-based gases from gas mixtures. That system includes: a) an operating device for the formation of an activated gas mixture suitable for compression; b) a compressor for the compression of the acted gas mixture to form a compressed gas mixture; and c). At least one polymer-like glass-like membrane separation unit, which Having the feed side and the permeable side, such a membrane that permits at least one carrier gas and does not Visibly pass at least one perfluoro compound gas, the membrane unit connected to the compressor through a pipe. The aforementioned membrane unit with permeable drain and non-seepage pipes 6 8. System according to Clause 67, in which the glass-like polymer membranes are Made with one or more polymers selected from a group consisting of polyimides, polyamides, polyamides, polyesters, polycarbonates, polysac Lephones, polyethorsulfones, aromatics poly-esters that replace alkyl, cellulose acetate, aromatic fluorinated Polyethylene, Polyphenylene-Oxide, Sulfonated Polyphenylene Oxide, Polyether Ether Sulfone, Polyether Ketone, Co The polymers of that substance 6 9. System according to claim 67, which further includes vacuum pumps in Flow contact with non-seepage pipes 7 0. System according to claim 67, which is further included with the take-back unit. For recovering at least part of the non-seepage current from the non-seepage pipe 7
1. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบต่อไปด้วยท่อหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่ สำหรับการหมุนเวียนส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากท่อที่ไม่มีการซึม ดังกล่าวกลับมาใช้ใหม่ 71. System according to claim 67, which consists of recirculating pipes. For circulation, it is at least part of the impermeable current from the non-seepage pipe. It is recycled 7
2. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 67 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยหน่วยการแยกของ เมมเบรนชนิดที่สองที่ปรับให้รับส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมเป็นการป้อนของ มันผ่านทางท่อที่ไม่มีการซึมดังกล่าว 72.The system according to Clause 67, which further includes A second type of membrane tuned to accept at least part of the non-permeable current as the input of It goes through a pipe without such seepage 7.
3. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ที่ปรับให้หมุนเวียนส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของ กระแสที่ซึมได้จากหน่วยเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวมาใช้ใหม่กับสารป้อนของหน่วยเมมเบรนชนิด ที่หนึ่ง 73. The system according to claim 72, which has been adjusted to allow at least part of the circulation The permeable current from the second membrane unit is reused with the feeder of the first membrane unit 7.
4. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ซึ่งรวมไปถึงต่อไปด้วยหน่วยการแยกด้วย เมมเบรนชนิดที่สามที่ปรับให้รับส่วนหนึ่งเป็นส่วนน้อยของกระแสที่ซึมได้จากหน่วยเมมเบรนชนิดที่ สองดังกล่าวเป็นสารป้อนของมัน 74. System according to Clause 72, which includes further with the separation unit. A third type of membrane tuned to accept a small fraction of the permeable current from the membrane type. The above two are their feeders 7.
5. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 74 ซึ่งส่วนหนึ่งเป็นอย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการ ซึมจากหน่วยเมมเบรนชนิดที่สามดังกล่าวถูกปรับให้ถูกหมุนเวียนกลับมาใช้ใหม่กับสารป้อนของ หน่วยเมมเบรนชนิดที่หนึ่ง 75. System according to claim 74, which is at least part of the current without The seepage from the third membrane unit is adjusted to be recycled to the feed of the Type 1 membrane unit 7
6. ระบบตามข้อถือสิทธิข้อ 72 ซึ่งประกอบรวมต่อไปด้วยอุปกรณ์ที่จะให้แก๊สกวาดไหล ไปสู่ด้านที่ซึมได้ของเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าวซึ่งแก๊สกวาดดังกล่าวประกอบรวมด้วยส่วนหนึ่งเป็น อย่างน้อยของกระแสที่ไม่มีการซึมจากหน่วยการแยกด้วยเมมเบรนชนิดที่สองดังกล่าว 76. System according to claim 72, which is further comprised of devices that allow gas to flow. To the permeable side of the second membrane where the sweeping gas consists of a At least of the non-seepage current from the aforementioned type II membrane separation unit 7.
7. ระบบสำหรับการนำแก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรกลับคืนมาระบบนี้ประกอบรวม ด้วย a) อุปกรณ์การอัดที่ปรับให้อัดของผสมแก๊สที่มีแก๊สพาหะ และแก๊สชนิดสาร ประเภทเพอร์ฟลูออโร b) หน่วยการแยกด้วยเมมเบรนแบบเลือกขนาดอย่างน้อยหนึ่งหน่วย ซึ่งมีด้านการ ป้อนและด้านที่ซึมได้ เมมเบรนดังกล่าวซึ่งให้แก๊สพาหะอย่างน้อยหนึ่งชนิดซึมผ่านได้มากกว่า และ ไม่ให้แก๊สชนิดสารประกอบเพอร์ฟลูออโรอย่างน้อยหนึ่งชนิดผ่านอย่างเห็นได้ชัด หน่วยเมมเบรน ดังกล่าวในการติดต่อแบบการไหลกับอุปกรณ์การอัดดังกล่าว ท่อระบายที่ซึมได้และท่อที่ไม่มีการซึม c) อุปกรณ์ที่จะนำกระแสที่ไม่มีการซึมอย่างน้อยส่วนหนึ่งกลับมาใช้ใหม่จากหน่วย เมมเบรนดังกล่าวกลับไปยังแหล่งของของผสมแก๊สดังกล่าว; d) อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติต่อแก๊สที่วางตำแหน่งก่อนของผสมแก๊สจะเข้าไปสู่ หน่วยเมมเบรนนั้น อุปกรณ์สำหรับการปฏิบัติต่อแก๊สดังกล่าวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มซึ่งประกอบ ด้วยการสลายตัวแบบพลาสมา,การสลายตัวด้วยความร้อน,การขจัดด้วยการเร่งปฏิกิริยา,การขัดถู และการดูดซับ e) หน่วยเมมเบรนซึ่งประกอบรวมด้วยท่อแก๊สกวาดในการติดต่อแบบการไหล ท่อที่ไม่ มีการซึม และด้านที่ซึมได้ของเมมเบรน f) ถังหน่วง หรือถังเสิร์จ ในการติดต่อแบบการไกลกับท่อที่ไม่มีการซึม g) อุปกรณ์ช่วยทำให้เป็นของเหลวที่คัดเลือกได้จากกลุ่มที่ประกอบด้วยเครื่องอัด, เครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน,เครื่องสูบชนิดภาวะเยือกเย็น และเครื่องสูบสุญญากาศในการติดต่อแบบ การไหลกับท่อที่ซึมไม่ได้ ซึ่งยอมให้กระแสที่เต็มไปด้วยเพอร์ฟลูออโรคาร์บอนได้ถูกเก็บไว้ในรูปที่ ควบแน่นสำหรับการใช้ภายหน้า7. System for the recovery of perfluoro-type gases This system includes a) a compression device that adapts the gas mixture containing the carrier gas. And substance gas Purfluoro type b) One or more selective membrane separation units. Which has side Enter and permeable side Such a membrane, which provides at least one carrier gas, is more permeable and not evidently permits at least one of the perfluoro compound gas. Flow type with such compression equipment Permeable and non-seepage ducts; c) A device to recycle at least part of the non-seepage current from the unit The membrane returns to the source of the gas mixture; d) a device for treating the positioned gas before the gas mixture enters the That membrane unit The equipment for the treatment of such gas was selected from the group that included With plasma decomposition, thermal decomposition, catalytic removal, abrasion and sorption e) a membrane unit consisting of a sweeping gas tube in the flow contact. There is no seepage and permeable side of the membrane; f) retarder or serge tank. G) Liquid aids selected from a group consisting of compressors, heat exchangers, cryogenic pumps. And vacuum pump in contact Flow with impermeable pipes Which allows the purfluorocarbon-rich currents to be stored in the form Condenses for future use