TH23977A - The production of airtight cavities in an assembled container and the resulting product by this method. - Google Patents

The production of airtight cavities in an assembled container and the resulting product by this method.

Info

Publication number
TH23977A
TH23977A TH9601001017A TH9601001017A TH23977A TH 23977 A TH23977 A TH 23977A TH 9601001017 A TH9601001017 A TH 9601001017A TH 9601001017 A TH9601001017 A TH 9601001017A TH 23977 A TH23977 A TH 23977A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
epoxy
lid
base
cavity
container
Prior art date
Application number
TH9601001017A
Other languages
Thai (th)
Inventor
แต คิม จอง
เอิก พาร์ค ชาง
ฮยุง ลี ชาง
ฮยุง ลี ซาง
Original Assignee
คอมมูนิเคชั่น เทคโนโลยีอิงค์
นาย ชวลิตอัตถศาสตร์
นาย ไชยวัฒน์บุนนาค
นายชวลิต อัตถศาสตร์
นายไชยวัฒน์ บุนนาค
Filing date
Publication date
Application filed by คอมมูนิเคชั่น เทคโนโลยีอิงค์, นาย ชวลิตอัตถศาสตร์, นาย ไชยวัฒน์บุนนาค, นายชวลิต อัตถศาสตร์, นายไชยวัฒน์ บุนนาค filed Critical คอมมูนิเคชั่น เทคโนโลยีอิงค์
Publication of TH23977A publication Critical patent/TH23977A/en

Links

Abstract

ในภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้น ฝาถูกเชื่อมติดกับฐานเพื่อให้เกิดโพรงที่อากาศเข้าไม่ได้ สำหรับติดตั้งชิปกึ่งตัวนำไฟฟ้าในอี ป๊อกซีขั้น แอลฟาที่แข็งตัวด้วยความร้อน ฝามีขอบที่มีซอกเรียว อยู่ ด้านใน ฐานรองถูกให้ความร้อนที่ประมาณ 95(สูตร)5 ํ ซ อีป๊อกซี ถูกทาบนฐานรองเพื่อที่จะเติมลงในช่อง ว่างขอบและฐานรองเมื่อฝา ถูกวางบนฐานรอง มีอีป๊อกซีในจำนวนน้อยมากที่ซึมออกมาทาผนังด้าน นอก ของขอบ ฐานรองและฝาถูกให้ความร้อนถึง 95(สูตร)5 ํ ซ ในเตาอบที่ เปิดเป็นเวลาประมาณหนึ่งชั่วโมง เพื่อบ่มอีป๊อกซีและแล้วภาชนะ บรรจุถูกบ่มในเตาอบที่ 150(สูตร)5 ํ ซ เป็นเวลาสามชั่วโมงเพื่อทำให้ อีป๊อกซีที่บ่มแล้วคงตัว In the container The lid is welded to the base to create a cavity that is impervious to air. For the installation of semiconductor chips in a thermally cured alpha-stage epoxy. The lid has a slender edge inside the base. The base is heated to approximately 95 (formula) 5 ํ. The epoxy is applied on the base to fill the cavity. Free the edge and base when the lid Was placed on the base Very small amounts of epoxy seep out onto the outer walls of the base rim and the lid is heated to 95 (recipe) 5 ํ in an open oven for about an hour. To incubate the epoxy and then the container The stuffing was cured in an oven at 150 (recipe) 5 ํ for three hours to make it. Epoxy that has been cured and stabilized

Claims (23)

1. วิธีการผลิตโพรงที่อากาศเข้าไม่ได้ ในภาชนะที่ประกอบขึ้นเมื่อโพรงดังกล่าวถูก กำหนดโดยฝากลวงครอบฐานรอง วิธีดังกล่าวประกอบด้วยขั้นต่าง ๆ ของ a) การทาอีป๊อกซีขั้น แอลฟาที่แข็งตัวด้วยความร้อนในลักษณะ เจลบนพื้นที่ที่กำหนดไว้ก่อน ของฐานรองเพื่อทำให้เกิดโพรง b) การให้ความร้อนแก่ฐานรองให้มีอุณหภูมิถึงที่กำหนดไว้ ก่อนแล้ว c) วางฝาบนฐานรองเพื่อให้ขอบของฝาอยู่บนอีป๊อกซีที่ซึ่ง อีป๊อกซีเชื่อมติดกับฐานรองที่ให้ ความร้อนก่อน d) การให้ความร้อนและรักษาภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้น ที่อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นเป็นเวลาช่วง หนึ่งที่นานพอในบรรยากาศ เปิดเพื่อบ่มอีป๊อกซีเพื่อให้ปิดบรรยากาศในโพรงให้สนิท เมื่อความดันกระทำ บนอีป๊อกซีโดยแรงของบรรยากาศที่ ขยายตัวที่พยายามหนีจากโพรงต่อต้านกับแรงตึงผิวของ อีป๊อกซีที่กำลัง ถูกบ่ม เมื่ออีป๊อกซีถูกบ่มโดยไม่มีรูและโพรง ถูกทำในลักษณะที่อากาศเข้าไม่ได้และ e) การให้ความร้อนแก่ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นที่อุณหภูมิที่ สูงขึ้นในเตาอบที่ปิดในช่วง เวลาที่นานพอเพื่อบ่มและทำให้ อีป๊อกซีที่ถูกบ่มคงตัวต่อไป1. The method for creating an airtight cavity in an assembled container when such cavity is defined by a hollow lid covering the base. This method consists of the following steps: a) Applying a heat-curing alpha epoxy gel to the pre-defined area of the base to create the cavity; b) Heating the base to a pre-determined temperature; c) Placing the lid on the base so that the edge of the lid rests on the epoxy where it bonds to the pre-heated base; d) Heating and holding the assembled container at an increased temperature for a sufficient period in an open atmosphere to cure the epoxy, thereby sealing the atmosphere in the cavity. The pressure exerted on the epoxy by the expanding atmosphere escaping the cavity counteracts the surface tension of the curing epoxy. Once the epoxy is cured, the cavity is completely airtight, and the cavity is created in an airtight manner; and e) Heating the assembled container to an increased temperature in a closed oven for a sufficient period to further cure and stabilize the cured epoxy. 2. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 เมื่อฐานรองถูกให้ความร้อนก่อน ที่อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นก่อนที่อีป๊อกซี จะถูกทาลงไป2. Method under Claim 1, where the base is preheated to an increased temperature before the epoxy is applied. 3. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 2 รวมถึงขั้นตอนการทำให้ขอบของ ฝาเปียกด้วยอีป๊อกซีก่อนที่ฝา จะถูกวางบนฐานรองเพื่อเพิ่ม อีป๊อกซีระหว่างขอบและฐานรองให้มากขึ้น3. The method under claim 2 includes a procedure to wet the edges of the lid with epoxy before the lid is placed on the base to increase the amount of epoxy between the edge and the base. 4. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 1 เมื่อฝารวมถึงขอบที่ยื่นออกมาที่ ค่อนข้างหนาที่มีปลายแคบที่ เกิดจากซอกที่เรียวลงบนด้าน ในของมัน เมื่ออีป๊อกซีถูกทาบนฐานรองในรูปของวงที่ปิด เมื่อวงที่ปิด เข้าคู่ได้กับวงที่ปิดที่เกิดจากขอบของฝาแต่เล็ก กว่าเพื่อให้วงที่เล็กกว่าของอีป๊อกซีเติมในช่องว่างของ ซอก4. Method according to Claim 1, when the lid includes a relatively thick protruding edge with a narrow end formed by a recess that tapers onto its inside. When the epoxy is applied to the base in the form of a closed ring, the closed ring matches the closed ring formed by the edge of the lid but is smaller, so that the smaller ring of epoxy fills the gap of the recess. 5. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 2 เมื่อภาชนะบรรจุถูกให้ความร้อนที่ 95(สูตร)5 ํ ซ เป็นเวลาประมาณ หนึ่งชั่วโมงในครั้งแรกและ แล้วถูกบ่มในเตาอบที่ 150(สูตร)10 ํ ซ เป็นเวลาประมาณ สามชั่วโมง5. Method according to claim 2: The container was heated to 95(recipe)5°C for approximately one hour initially and then cured in an oven at 150(recipe)10°C for approximately three hours. 6. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นถูกผลิตโดยวิธีตามข้อถือสิทธิที่ 46. The assembled containers are manufactured using the method described in Claim 4. 7. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 6 เมื่อโพรง บรรจุชิปกึ่งตัวนำไฟฟ้าและ เมื่อฐานรองอยู่ในรูปของโครง ลวดนำไฟฟ้าซึ่งชิปซึ่งอยู่ข้างบนถูกเชื่อมติดและฝาถูกทำ ด้วยวัสดุที่เป็นฉนวน7. A container assembled according to claim 6 where the cavity contains semiconductor chips and where the base is in the form of a conductive wire frame to which the chips on top are bonded and the lid is made of an insulating material. 8. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 7 เมื่อฝาถูก ทำจากวัสดุที่ถูกเลือกจาก เซรามิคและพลาสติก8. Containers assembled in accordance with claim 7, where the lid is made of a material selected from ceramic and plastic. 9. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 8 เมื่อฐาน รองถูกทำจากโครงลวดนำ ไฟฟ้าที่ถูกหล่อก่อนชั้นข้างต่าง ที่เป็นเซรามิค (ceramic substrate) หรือแผ่นวง จรที่ถูกพิมพ์9. Containers assembled according to claim 8 where the base is made of a pre-molded conductive wire frame with ceramic substrate or printed circuit board. 10. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 6 เมื่อฝา รวมถึงขอบที่ยื่นออกมาที่ค่อน ข้างหนาที่มีปลายแคบที่เกิด จากซอกที่เรียวลงบนด้านในของมัน อีป๊อกซีที่เติมลงใน ซอกที่เรียวลงและ ที่ว่างระหว่างขอบและฐานรองดังนั้น อีป๊อกซีที่เชื่อมติดขอบเข้ากับฐานรองถูกทำให้ติดกันอย่าง แน่นหนา กับส่วนฐานรองที่ค่อนข้างหนาของขอบ อีป๊อกซีดัง กล่าวทำให้เกิดผนังแข็งที่มีขอบและเชื่อมขอบเข้ากับ ฐานรอง10. The container assembled according to claim 6, when the lid includes a relatively thick protruding rim with a narrow end formed by a tapered recess on its inside, epoxy is filled into the tapered recess and the space between the rim and the base, thus the epoxy bonding the rim to the base is firmly attached to the relatively thick base of the rim. Such epoxy forms a rigid wall with the rim and bonds the rim to the base. 11. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 10 เมื่อผนัง แข็งถูกแต่งรูปโดยอีป๊อกซี ที่เชื่อมติดกับฝาอย่างแน่นหนา11. Containers assembled according to claim 10, where the rigid walls are shaped by epoxy and are firmly bonded to the lid. 12. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 11 เมื่อโพรง ที่บรรจุชิปกึ่งตัวนำไฟฟ้า ถูกออกแบบให้ทำงานในช่วงกิกา เฮิร์ท (gigaherz ranges)12. A container assembled in accordance with claim 11 where the cavity containing the semiconductor chip is designed to operate in gigaherz ranges. 13. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 12 เมื่อชิป ที่ประกอบขึ้น GaAs เป็น เครื่องขยายกำลัง ( power amplifier )13. Container assembled in accordance with claim 12 when the assembled GaAs chip is a power amplifier. 14. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 12 เมื่อชิป พลังงานที่ประกอบขึ้น GaAs ที่ถูกออกแบบสำหรับการใช้ งาน GDMA14. Container assembled in accordance with claim 12 when the assembled GaAs power chip is designed for GDMA applications. 15. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 12 เมื่อ โพรงบรรจุ MMIC15. Containers assembled in accordance with claim 12 when the MMIC cavity is filled. 16. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิที่ 12 เมื่อ โพรงบรรจุชิป DAS16. Container assembled in accordance with claim 12 when the cavity contains the DAS chip. 17. วิธีสำหรับผลิตโพรงที่อากาศเข้าไม่ได้ในภาชนะ บรรจุที่ประกอบขึ้นเมื่อโพรงดังกล่าว ถูกใช้สำหรับบรรจุ ชิ้นส่วน เช่น ชิปกึ่งตัวนำไฟฟ้า เมื่อโพรงดังกล่าวถูก กำหนดโดยฝากลวงฉนวนและ โครงลวดนำไฟฟ้าถูกทำด้วย แผ่นนำไฟฟ้าที่มีรูเปิดที่เป็นช่องที่ถูกกำหนดรูปแบบไว้ก่อน ถูกเจาะออกจาก แผ่น ช่องดังกล่าวกำหนดลวดนำไฟฟ้ากับ ส่วน a) การทาอีป๊อกซีขั้น แอลฟาที่แข็งตัวด้วยความร้อนในลักษณะ เจลบนลวดนำไฟฟ้าและ เหนือช่องระหว่างลวดนำไฟฟ้าใน โครงลวดนำไฟฟ้าในรูปของผนังที่ล้อมรอบเพื่อให้มีรูปที่จะ ต่อได้กับ ขอบฝา เมื่อความหนืดของอีป๊อกซีมีปริมาณตามที่ ถูกกำหนดไว้ก่อนดังนั้น แรงตึงผิวของอีป๊อกซีป้องกัน อีป๊อกซี จากการย้อนลงและตกลงรูเปิด b) การวางฝาเหนือโครงลวดนำไฟฟ้าเพื่อให้ขอบของมันอยู่ บนผนังอีป๊อกซีสำหรับการ เกิดส่วนหนึ่งของโพรง c) การให้ความร้อนแก่โครงลวดนำไฟฟ้าและอีป๊อกซีในเตา อบที่อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นตามที่ ได้กำหนดไว้แล้วเป็นเวลาตามที่ กำหนดเพื่อทำให้อีป๊อกซีสามารถเชื่อมขอบและลวดนำไฟฟ้า ของโครง ทำให้อีป๊อกซีแข็งตัวและเริ่มบ่มอีป๊อกซี d) พลิกโครงลวดนำไฟฟ้าที่มีฝาเชื่อมติดอยู่กลับด้าน e) การให้ความร้อนและรักษาโครงลวดนำไฟฟ้าที่อุณหภูมิ ตามที่กำหนดไว้ f) การทาอีป๊อกซีขั้น แอลฟาที่แข็งตัวด้วยความร้อนที่มี ความหนืดตามที่กำหนดไว้บน ลวดนำไฟฟ้าของโครงลวดนำ ไฟฟ้าที่ถูกให้ความร้อนก่อนที่บริเวณเหนือโพรงตรงข้ามกับ ที่กำหนด และล้อมรอบด้วยของฝา g) การให้ความร้อนและรักษาภาชนะบรรจุในบรรยากาศเปิด ที่อุณหภูมิที่เพิ่มขึ้นเป็นเวลา ช่วงหนึ่งตามที่กำหนดไว้ เมื่อ อีป๊อกซีมีปริมาณความหนืดดังนั้น แรงตึงผิวของมันจึงต้าน ทานกับบรรยากาศ ที่หนีจากโพรงผ่านรูเปิดของช่องและ ต้านทานกับแรงโน้มถ่วงที่อาจทำให้อีป๊อกซีตกผ่านรูปเปิด ไปยัง โพรง เมื่ออีป๊อกซีที่ถูกทาเหนือรูเปิดที่ถูกทำให้อยู่ ในตำแหน่ง เมื่อโพรงที่อากาศเข้าไม่ได้ถูกทำให้ เกิดขึ้น เมื่ออีป๊อกซีแข็งตัวเพื่อบ่มและ h) การให้ความร้อนและรักษาภาชนะบรรจุในเตาอบเป็น เวลาตามที่กำหนดที่อุณหภูมิ ตามที่กำหนดไว้เพื่อทำให้ อีป๊อกซีที่ถูกบ่มคงตัว17. Method for producing an airtight cavity in a constructed container when such cavity is used to contain components such as semiconductor chips, when such cavity is defined by an insulating hollow lid and a conductive wire frame made of a conductive sheet with pre-defined openings drilled from the sheet, the conductive wires are attached to the part. a) Applying a heat-curing alpha epoxy gel onto the conductive wires and over the gaps between the conductive wires in the wire frame in the form of a surrounding wall to form a shape that fits the edge of the lid. When the epoxy viscosity is at a predetermined amount, the surface tension of the epoxy prevents the epoxy from dripping and settling into the openings. b) Placing the lid over the wire frame so that its edge rests on the epoxy wall to form part of the cavity. c) Heating the wire frame and epoxy in an oven at a predetermined increasing temperature for a specified time. The process involves: d) Flipping the wire frame with the welded lid over; e) Heating and treating the wire frame at the specified temperature; f) Applying a heat-curing alpha epoxy layer with the specified viscosity to the preheated wire frame above the cavity opposite the specified area and surrounding it with the lid; g) Heating and treating the container in an open atmosphere at an increasing temperature for a specified period, as the epoxy gains viscosity and its surface tension resists the atmosphere escaping from the cavity through the opening and resists gravity that might cause the epoxy to fall through the opening into the cavity once the epoxy is applied over the opening, once the airtight cavity is created, and once the epoxy hardens to cure; and h) Heating and treating the container in an oven for the specified time at the specified temperature to allow the cured epoxy to set. 18. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 17 เมื่อฝารวมถึงขอบที่ยื่นออก มาที่ค่อนข้างหนาที่มีปลายแคบ ที่เกิดจากซอกที่เรียวลงบน ด้านในของมัน เมื่ออีป๊อกซีถูกทาบนฐานรองในรูปของวง ปิดเมื่อวงปิดดังกล่าว เข้าคู่ได้กับวงปิดที่เกิดจากขอบฝาแต่ เล็กกว่าเพื่อให้วงที่เล็กกว่าของเม็ดอีป๊อกซีเติมลงในซอก ว่างได้18. Method according to claim 17, when the lid includes a relatively thick protruding edge with a narrow end formed by a recess that tapers onto its inside, when the epoxy is applied to the base in the form of a closing ring, when such closing ring matches the closing ring formed by the lid edge but is smaller, so that the smaller ring of epoxy beads fills the gap. 19. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 18 เมื่อให้ความร้อนแก่ภาชนะ บรรจุในบรรยากาศเปิดที่ อุณหภูมิ 95(สูตร)5 ํ ซ เป็นเวลา ประมาณหนึ่งชั่วโมงและการบ่มถูกทำในเตาเบที่ 150(สูตร)10 ํ ซ เป็นเวลา ประมาณสามชั่วโมง19. Method according to claim 18: The container is heated in an open atmosphere at 95(formula)5°C for approximately one hour and incubation is carried out in a beacon oven at 150(formula)10°C for approximately three hours. 20. วิธีตามข้อถือสิทธิที่ 18 เมื่ออีป๊อกซีถูกทาบนโครง ตรงข้ามกับฝา การทาถูกทำคลุม บริเวณทั้งหมดที่ล้อมรอบ ด้วยขอบฝา20. Method according to claim 18: When epoxy is applied to the frame, opposite the lid, the application is made covering the entire area enclosed by the lid edge. 21. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นสำหรับชิ้นส่วนกึ่งตัวนำไฟฟ้า ที่ผลิตโดยวิธีตามข้อถือสิทธิ ที่ 17 เมื่อฝารวมถึงขอบที่ยื่น ออกที่ค่อนข้างหนาที่มีปลายแคบที่เกิดจากซอกที่เรียวบน ด้านในของมัน อีป๊อกซีที่เติมในซอกที่เรียวระหว่างขอบและ โครงลวดนำไฟฟ้าดังนั้น อีป๊อกซีที่เชื่อมขอบเข้ากับฐานรอง จะติดกันอย่างแน่นหนากับส่วนของฐานรองที่ค่อนข้างหนา ของขอบและทำให้เกิดผนังหนาขึ้น21. A container assembled for a semiconductor component manufactured by the method of claim 17, where the lid includes a relatively thick protruding edge with a narrow end formed by a tapered recess on its inside. Epoxy fills the tapered recess between the edge and the conductive wire frame, thus bonding the edge to the base tightly to the relatively thick portion of the base of the edge and forming a thick wall. 22. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิ 21 เมื่อโพรง ที่บรรจุชิปกึ่งตัวนำไฟฟ้า GaAs ที่ถูกออกแบบให้ทำงานใน ช่วงกิกาเฮิร์ท22. A container assembled in accordance with claim 21, where the cavity contains a GaAs semiconductor chip designed to operate in the gigahertz range. 23. ภาชนะบรรจุที่ประกอบขึ้นตามข้อถือสิทธิ 21 เมื่อโพรง บรรจุ MMIC23. Container assembled in accordance with claim 21 when the cavity contains MMIC.
TH9601001017A 1996-04-03 The production of airtight cavities in an assembled container and the resulting product by this method. TH23977A (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH23977A true TH23977A (en) 1997-03-05

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5801074A (en) Method of making an air tight cavity in an assembly package
US6258314B1 (en) Method for manufacturing resin-molded semiconductor device
US4971930A (en) EPROM semiconductor device erasable with ultraviolet rays and manufacturing process thereof
US3693252A (en) A method of providing environmental protection for electrical circuit assemblies
KR970077384A (en) Microwave Electronic Components and Manufacturing Method Thereof
TW546790B (en) Semiconductor package having a resin cap member
US3539675A (en) Method for encapsulating semiconductor devices
SE8504295D0 (en) WAY TO ENCOURAGE A WIREBAND ASSEMBLED SEMICONDUCTOR COMPONENTS
EP1211721A1 (en) Improved electronic device package and corresponding manufacturing method
KR20040014420A (en) Packaged electronic component and method for packaging an electronic component
US5778520A (en) Method of making an assembly package in an air tight cavity and a product made by the method
JP2003124401A (en) Module and manufacturing method thereof
KR100374683B1 (en) Air-cavity type package and method of manufacturing the same
JPH1187568A (en) Structure and method for resin-sealing
JPH06314756A (en) Semiconductor manufacturing method
US6956167B2 (en) Lid-holding frame used in production of hollow-package type electronic products, and sealing-process using such lid-holding frame
US7566587B2 (en) Method and apparatus for packaging electronic components
EP1310990A1 (en) Bonding method with improved alignment
JPH02183546A (en) Cavity-package
JPS608626B2 (en) Packaging method for semiconductor devices
JPS629215B2 (en)
JPH11224883A (en) Manufacture of resin encapsulated semiconductor device and resin encapsulated semiconductor device
JP2500768B2 (en) Method for manufacturing semiconductor device
JPH01297848A (en) Semiconductor device and manufacture thereof
JPS6292331A (en) Sealing method for semiconductor chip