TH2301003809A - อุปกรณ์ที่ก่อกําเนิดละอองลอยและระบบซึ่งประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำและวิธีการดำเนินงานของอุปกรณ์และระบบนั้น - Google Patents

Abstract

DEPCT66 วิธีการ (800) สำหรับการควบคุมการผลิตละอองลอยในอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอย (200) ถูกจัดให้มีขึ้น อุปกรณ์ (200) ประกอบรวมด้วยโครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำ (320) และแหล่งกำลัง (310) สำหรับการจัดให้มีกำลังให้แก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำ (320) วิธีการประกอบรวมด้วย: การดำเนิน (820) กระบวนการปรับเทียบสำหรับการวัดค่าการปรับเทียบ หนึ่งค่าหรือมากกว่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ (160) ที่ถูกต่อประกบแบบเหนี่ยวนำกับโครงสร้าง ให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำ (320) ในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่หนึ่งในระหว่างการดำเนินงาน ของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย ที่ซึ่งซัสเซพเตอร์ (160) ถูกจัดโครงแบบเพื่อให้ความร้อนแก่ซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอย (110); และการควบคุม (840) กำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำ (320) ในลักษณะที่ว่าอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ (160) ถูกปรับเปลี่ยนบนพื้นฐานของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่า ในระหว่าง เฟสการให้ความร้อนที่สองในระหว่างการดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้ สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย

Claims (113)

1. DEPCT66 1.วิธีการสำหรับการควบคุมการผลิตละอองลอยในอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอย ซึ่งอุปกรณ์ประกอบรวมด้วยโครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำและแหล่งกำลังสำหรับ การจัดให้มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำและซึ่งวิธีการประกอบรวมด้วย: การดำเนินกระบวนการปรับเทียบซึ่งประกอบรวมด้วยการวัดค่าการปรับเทียบ หนึ่งค่าหรือมากกว่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ที่ถูกต่อประกบแบบเหนี่ยวนำกับโครงสร้าง ให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่หนึ่งในระหว่าง การดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย ที่ซึ่งซัสเซพเตอร์ถูกจัดโครงแบบเพื่อให้ความร้อนแก่ซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยและ การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำใน ลักษณะที่ว่าอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ถูกปรับเปลี่ยนบนพื้นฐานของค่าการปรับเทียบ หนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่สองในระหว่างการดำเนินงานของ อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ที่ซึ่งโครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวมด้วย ตัวแปลงDC/ACและตัวเหนี่ยวนำที่ถูกเชื่อมต่อกับตัวแปลงDC/ACและที่ซึ่งซัสเซพเตอร์ ถูกจัดเรียงไว้เพื่อต่อประกบแบบเหนี่ยวนำกับตัวเหนี่ยวนำ

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่2ที่ซึ่งกำลังจากแหล่งกำลังถูกจ่ายอย่างต่อเนื่องไปยัง ตัวเหนี่ยวนำผ่านทางตัวแปลงDC/AC

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่2หรือ3ที่ซึ่งกำลังจากแหล่งกำลังถูกจ่ายไปยังตัวเหนี่ยวนำ ผ่านทางตัวแปลงDC/ACเป็นพัลส์จำนวนหนึ่งซึ่งแต่ละพัลส์ถูกแยกโดยช่วงระหว่างเวลา

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่4ที่ซึ่งการปรับเปลี่ยนอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ประกอบรวม ด้วยการควบคุมช่วงระหว่างเวลาระหว่างแต่ละพัลส์ของพัลส์จำนวนหนึ่ง

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่4ที่ซึ่งการปรับเปลี่ยนอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ประกอบรวม ด้วยการควบคุมความยาวของแต่ละพัลส์ของพัลส์จำนวนหนึ่ง

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง6ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวมด้วยการปรับเปลี่ยนหนึ่งค่าของ ค่ากระแส,ค่าการนำไฟฟ้าและค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง7ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบ ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:(i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแค่โครงสร้างให้ ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์(ii)การเฝ้า สังเกตค่ากระแสอย่างน้อยหนึ่งค่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์(iii)การขัดจังหวะการจัดให้ มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่ากระแสไปถึงค่าสูงสุดที่ซึ่ง ค่ากระแสที่ค่าสูงสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของซัสเซพเตอร์และ (iv)การเฝ้าสังเกตค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์จนกระทั่งค่ากระแสไปถึงค่าต่ำสุด ที่ซึ่งค่ากระแสที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์

9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่8ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปถึงค่าต่ำสุด

10. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่9ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการเก็บค่ากระแสที่ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือ มากกว่าและการเก็บค่ากระแสที่ค่าต่ำสุดเป็นค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่า หรือมากกว่าในระหว่างการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)

11. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่8ถึง10ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวมด้วยการคงค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับ ซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่ากระแสที่หนึ่งซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่ง และค่ากระแสที่สองซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง

12. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง7ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบ ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้า สังเกตค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าสูงสุดที่ซึ่งค่าการนำ ไฟฟ้าที่ค่าสูงสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของซัสเซพเตอร์และ iv)การเฝ้าสังเกตค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์จนกระทั่งค่าการนำไฟฟ้าไปถึง ค่าต่ำสุดที่ซึ่งค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งของ ซัสเซพเตอร์

13. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่12ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปถึงค่าต่ำสุด

14. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่13ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการเก็บค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่า หรือมากกว่าและการเก็บค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าต่ำสุดเป็นค่าการปรับเทียบของ ค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่างการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)

15. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่12ถึง14ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวมด้วยการคงค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่าการนำไฟฟ้าที่หนึ่งซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบ ที่หนึ่งและค่าการนำไฟฟ้าที่สองซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง

16. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง7ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบ ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้า สังเกตค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่าความต้านทานไปถึงค่าต่ำสุดที่ซึ่ง ค่าความต้านทานที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของซัสเซพเตอร์ และiv)การเฝ้าสังเกตค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์จนกระทั่ง ค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสุดที่ซึ่งค่าความต้านทานที่ค่าสูงสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์

17. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่16ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปถึง ค่าสูงสุด

18. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่17ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติม ด้วยการเก็บค่าความต้านทานที่ค่าต่ำสุดเป็นค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่า หรือมากกว่าและการเก็บค่าความต้านทานที่ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบของ ค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่างการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)

19. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่16ถึง18ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวมด้วยการคงค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่าความต้านทานที่หนึ่งซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่หนึ่งและค่าความต้านทานที่สองซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบ ที่สอง

20. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่8ถึง19ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของ ซัสเซพเตอร์สอดคล้องกับอุณหภูมิคูรีของวัสดุของซัสเซพเตอร์และที่ซึ่งอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์สอดคล้องกับอุณหภูมิที่สภาพให้ซึมผ่านได้สูงสุด ของวัสดุของซัสเซพเตอร์

21. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่8ถึง19ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งซัสเซพเตอร์ประกอบรวมด้วยวัสดุ ซัสเซพเตอร์ที่หนึ่งที่มีอุณหภูมิคูรีที่หนึ่งและวัสดุซัสเซพเตอร์ที่สองที่มีอุณหภูมิคูรีที่สอง ที่ซึ่งอุณหภูมิคูรีที่สองต่ำกว่าอุณหภูมิคูรีที่หนึ่งและที่ซึ่งอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง สอดคล้องกับอุณหภูมิคูรีที่สองของวัสดุซัสเซพเตอร์ที่สอง

22. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่8ถึง21ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งอยู่ ระหว่าง150องศาเซลเซียสและ350องศาเซลเซียสและอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง อยู่ระหว่าง200องศาเซลเซียสและ400องศาเซลเซียสและที่ซึ่งความแตกต่างของอุณหภูมิ ระหว่างอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งและอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองคืออย่างน้อย 50องศาเซลเซียส

23. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง22ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย:การดำเนิน กระบวนการปรับเทียบสำหรับการวัดค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์เพื่อตอบสนองต่อการตรวจจับหนึ่งอย่างหรือมากกว่าของ:ช่วงเวลาที่ ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของเวลา,จำนวนการสูบของผู้ใช้ที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าและ ค่าแรงดันไฟฟ้าที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของแหล่งกำลังในระหว่างเฟสการให้ความร้อน ที่สอง

24. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง23ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการดำเนิน กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่หนึ่งที่ซึ่ง กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถูกดำเนินการก่อนกระบวนการปรับเทียบและที่ซึ่ง กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้ามีช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า

25. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่24ที่ซึ่งช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าอยู่ระหว่าง10วินาทีและ15วินาที

26. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่24หรือ25ที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าประกอบ รวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อน แบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกต ค่ากระแสอย่างน้อยหนึ่งค่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และiii)การขัดจังหวะการจัดให้มี กำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่ากระแสไปถึงค่าต่ำสุด

27. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่26ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiii)ของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่งการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถ้าค่ากระแสไปถึงค่าต่ำสุดก่อนการสิ้นสุด ของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

28. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่27ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย:การหยุดการดำเนินงานของ อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึงค่าต่ำสุด ในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

29. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่24หรือ25ที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าประกอบ รวมด้วยขั้นตอนของ:(i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อน แบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์(ii)การเฝ้าสังเกต ค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และ(iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าต่ำสุด

30. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่29ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอน(i)ถึง(iii) ของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่งการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถ้าค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าต่ำสุดก่อน การสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

31. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่30ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย:การหยุดการดำเนินงานของ อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึง ค่าต่ำสุดในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อน ล่วงหนา

32. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่20หรือ21ที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าประกอบ รวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อน แบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกต ค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และiii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสุด

33. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่32ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiii)ของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่งการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถ้าค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสุดก่อน การสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

34. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่33ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย:การหยุดการดำเนินงานของ อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึง ค่าสูงสุดในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อน ล่วงหน้า

35. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่20ถึง34ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งกำลังจากแหล่งกำลังถูกจ่าย อย่างต่อเนื่องไปยังตัวเหนี่ยวนำผ่านทางตัวแปลงDC/ACในระหว่างกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้า

36. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่20ถึง35ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งกระบวนการปรับเทียบ ถูกดำเนินการเพื่อตอบสนองต่อการตรวจจับการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

37. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่23ถึง33ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า ถูกดำเนินการเพื่อตอบสนองต่อการตรวจจับอินพุตของผู้ใช้

38. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่37ที่ซึ่งอินพุตของผู้ใช้สอดคล้องกับการเปิดใช้งานอุปกรณ์ที่ ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้

39. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่20ถึง38ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอย ถูกจัดโครงแบบเพื่อรับผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยที่ซึ่งผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิด ละอองลอยประกอบรวมด้วยซัสเซพเตอร์และซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยและที่ซึ่ง กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถูกดำเนินการเพื่อตอบสนองต่อการตรวจจับการมีอยู่ ของผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอย

40. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง39ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่สองประกอบรวม ด้วยการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้ เกิดการเพิ่มขึ้นทีละขั้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์จากอุณหภูมิในการดำเนินงานที่หนึ่ง ไปเป็นอุณหภูมิในการดำเนินงานที่สอง

41. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่40ที่ซึ่งอุณหภูมิในการดำเนินงานที่หนึ่งเพียงพอสำหรับ ซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยเพื่อก่อรูปเป็นละอองลอย

42. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่40หรือ41ที่ซึ่งการเพิ่มขึ้นทีละขั้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ประกอบรวมด้วยขั้นของอุณหภูมิที่ต่อเนื่องกันอย่างน้อยสามขั้นซึ่งแต่ละขั้น ของอุณหภูมิมีช่วงเวลาหนึ่งช่วง

43. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ที่ซึ่งอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ถูกคงไว้ที่อุณหภูมิที่ ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าเป็นช่วงเวลาของแต่ละขั้นของอุณหภูมิ

44. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่43ที่ซึ่งการคงอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ไว้ที่อุณหภูมิที่ ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าประกอบรวมด้วยการขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ ตัวแปลงDC/ACเมื่ออุณหภูมิที่ถูกกำหนดไว้เกินกว่าอุณหภูมิขีดเริ่มเปลี่ยนที่ตั้งไว้ล่วงหน้า และการดำเนินการต่อไปใหม่ของการจัดให้มีกำลังแก่ตัวแปลงDC/ACเมื่ออุณหภูมิที่ ถูกกำหนดไว้ต่ำกว่าอุณหภูมิขีดเริ่มเปลี่ยนที่ตั้งไว้ล่วงหน้า

45. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ถึง44ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลาของแต่ละขั้นของอุณหภูมิ คืออย่างน้อย10วินาที

46. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ถึง44ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลาของแต่ละขั้นของอุณหภูมิ อยู่ระหว่าง30วินาทีและ200วินาที

47. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ถึง44ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลาของแต่ละขั้นของอุณหภูมิ อยู่ระหว่าง40วินาทีและ160วินาที

48. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ถึง47ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลาของแต่ละขั้นของอุณหภูมิ ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า

49. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่42ถึง44ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิสอดคล้องกับจำนวนการสูบของผู้ใช้ที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า

50. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่43ถึง49ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งขั้นของอุณหภูมิที่หนึ่งมีช่วงเวลาที่ ยาวนานกว่าขั้นของอุณหภูมิที่ตามมา

51. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่1ถึง50ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย:การกำหนด หนึ่งค่าของค่ากระแส,ค่าการนำไฟฟ้าและค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ ที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบ รวมด้วยการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำ บนพื้นฐานของค่าที่ถูกกำหนดไว้

52. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่7ถึง51ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการวัด กระแสDCที่ดึงมาจากแหล่งกำลังที่ด้านอินพุตของตัวแปลงDC/ACที่ซึ่งค่าการนำไฟฟ้า และค่าและความต้านทานถูกกำหนดบนพื้นฐานของแรงดันไฟฟ้าจากแหล่งจ่ายDCของ แหล่งกำลังและจากกระแสDCที่ดึงมาจากแหล่งกำลัง

53. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อที่52ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการวัดแรงดันไฟฟ้าจาก แหล่งจ่ายDCของแหล่งกำลังที่ด้านอินพุตของตัวแปลงDC/AC

54. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยซึ่งประกอบรวมด้วย: แหล่งกำลังสำหรับการจัดให้มีแรงดันไฟฟ้าจากแหล่งจ่ายDCและกระแสDC อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังที่ถูกเชื่อมต่อกับแหล่งกำลังซึ่งอิเล็กทรอนิกส์ ของแหล่งจ่ายกำลังประกอบรวมด้วย:ตัวแปลงDC/ACและตัวเหนี่ยวนำที่ถูกเชื่อมต่อกับ ตัวแปลงDC/ACสำหรับการก่อกำเนิดสนามแม่เหล็กสลับเมื่อได้รับพลังงานโดย กระแสสลับจากตัวแปลงDC/ACซึ่งตัวเหนี่ยวนำต่อประกบได้กับซัสเซพเตอร์ที่ซึ่ง ซัสเซพเตอร์ถูกจัดโครงแบบเพื่อให้ความร้อนแก่ซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยและ ตัวควบคุมที่ถูกจัดโครงแบบเพื่อ: ดำเนินกระบวนการปรับเทียบซึ่งประกอบรวมด้วยการวัดค่าการปรับเทียบหนึ่งค่า หรือมากกว่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่หนึ่งในระหว่าง การดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย และควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังในลักษณะที่ว่า อุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ถูกปรับเปลี่ยนบนพื้นฐานของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือ มากกว่าในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่สองในระหว่างการดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้สำหรับการผลิตเป็นละอองลอย

55. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ที่ซึ่งอิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่าย กำลังถูกจัดโครงแบบเพื่อจ่ายกำลังอย่างต่อเนื่องจากแหล่งกำลังไปยังตัวเหนี่ยวนำผ่านทาง ตัวแปลงDC/AC

56. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54หรือ55ที่ซึ่งอิเล็กทรอนิกส์ของ แหล่งจ่ายกำลังถูกจัดโครงแบบเพื่อจ่ายกำลังจากแหล่งกำลังไปยังตัวเหนี่ยวนำผ่านทาง ตัวแปลงDC/ACเป็นพัลส์จำนวนหนึ่งซึ่งแต่ละพัลส์ถูกแยกโดยช่วงระหว่างเวลา

57. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบเพื่อ ควบคุมช่วงระหว่างเวลาระหว่างแต่ละพัลส์ของพัลส์จำนวนหนึ่งเพื่อปรับเปลี่ยนอุณหภูมิ ของซัสเซพเตอร์

58. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบเพื่อ ควบคุมความยาวของแต่ละพัลส์ของพัลส์จำนวนหนึ่งเพื่อปรับเปลี่ยนอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์

59. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง58ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังประกอบรวมด้วย การปรับเปลี่ยนหนึ่งค่าของค่ากระแส,ค่าการนำไฟฟ้าหรือค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์

60. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง59ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนิน กระบวนการปรับเทียบประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:(i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้น แก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์(ii)การเฝ้าสังเกตค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์(iii)การขัดจังหวะ การจัดให้มีกำลังแก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังเมื่อค่ากระแสไปถึงค่าสูงสุดที่ซึ่ง ค่ากระแสที่ค่าสูงสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของซัสเซพเตอร์และ (iv)การเฝ้าสังเกตค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์จนกระทั่งค่ากระแสไปถึงค่าต่ำสุด ที่ซึ่งค่ากระแสที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์

61. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่60ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่ากระแสที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์ไปถึงค่าต่ำสุด

62. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่61ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการเก็บค่ากระแสที่ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบของ ค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าและการเก็บค่ากระแสที่ค่าต่ำสุดเป็นค่าการปรับเทียบ ของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่างการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)

63. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่60ถึง62ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวม ด้วยการคงค่ากระแสที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่ากระแสที่หนึ่งซึ่งสอดคล้อง กับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งและค่ากระแสที่สองซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่สอง

64. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง58ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนิน กระบวนการปรับเทียบประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้น แก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกตค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์iii)การขัดจังหวะ การจัดให้มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่าการนำไฟฟ้าไปถึง ค่าสูงสุดที่ซึ่งค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าสูงสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองของ ซัสเซพเตอร์และiv)การเฝ้าสังเกตค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์จนกระทั่ง ค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าต่ำสุดที่ซึ่งค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์

65. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่64ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่าการนำไฟฟ้าที่ เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปถึงค่าต่ำสุด

66. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่65ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการเก็บค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบ ของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าและการเก็บค่าการนำไฟฟ้าที่ค่าต่ำสุดเป็น ค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่างการทำซ้ำขั้นตอน i)ถึงiv)

67. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่64ถึง66ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวม ด้วยการคงค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่าการนำไฟฟ้าที่หนึ่งซึ่ง สอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งและค่าการนำไฟฟ้าที่สองซึ่งสอดคล้องกับ อุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง

68. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง58ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งการดำเนิน กระบวนการปรับเทียบประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้น แก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกตค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อ ค่าความต้านทานไปถึงค่าต่ำสุดที่ซึ่งค่าความต้านทานที่ค่าต่ำสุดสอดคล้องกับอุณหภูมิใน การปรับเทียบที่สองของซัสเซพเตอร์และiv)การเฝ้าสังเกตค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์จนกระทั่งค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสุดที่ซึ่งค่าความต้านทานที่ค่าสูงสุด สอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์

69. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่68ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)เมื่อค่าความต้านทานที่ เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปถึงค่าสูงสุด

70. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่69ที่ซึ่งการดำเนินกระบวนการ ปรับเทียบประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการเก็บค่าความต้านทานที่ค่าต่ำสุดเป็น ค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าและการเก็บค่าความต้านทานที่ ค่าสูงสุดเป็นค่าการปรับเทียบของค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าในระหว่าง การทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiv)

71. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่68ถึง70ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำประกอบรวม ด้วยการคงค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไว้ระหว่างค่าความต้านทานที่หนึ่ง ซึ่งสอดคล้องกับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งและค่าความต้านทานที่สองซึ่งสอดคล้อง กับอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง

72. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง71ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งอุณหภูมิ ในการปรับเทียบที่สองของวัสดุของซัสเซพเตอร์สอดคล้องกับอุณหภูมิคูรีของซัสเซพเตอร์

73. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่72ที่ซึ่งอุณหภูมิในการปรับเทียบ ที่หนึ่งของซัสเซพเตอร์สอดคล้องกับอุณหภูมิที่สภาพให้ซึมผ่านได้สูงสุดของวัสดุของ ซัสเซพเตอร์

74. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง71ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งอุณหภูมิ ในการปรับเทียบที่หนึ่งอยู่ระหว่าง150องศาเซลเซียสและ350องศาเซลเซียสและ อุณหภูมิในการปรับเทียบที่สองอยู่ระหว่าง200องศาเซลเซียสและ400องศาเซลเซียส และที่ซึ่งความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างอุณหภูมิในการปรับเทียบที่หนึ่งและอุณหภูมิ ในการปรับเทียบที่สองคืออย่างน้อย50องศาเซลเซียส

75. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง74ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งตัวควบคุม ถูกจัดโครงแบบเพิ่มเติมเพื่อ:การดำเนินกระบวนการปรับเทียบสำหรับการวัด ค่าการปรับเทียบหนึ่งค่าหรือมากกว่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์เพื่อตอบสนองต่อ การตรวจจับหนึ่งอย่างหรือมากกว่าของ:ช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของเวลา,จำนวน การสูบของผู้ใช้ที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าและค่าแรงดันไฟฟ้าที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ แหล่งกำลังในระหว่างเฟสการให้ความร้อนที่สอง

76. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง75ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งตัวควบคุม ถูกจัดโครงแบบเพิ่มเติมเพื่อดำเนินการกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าในระหว่างเฟส การให้ความร้อนที่หนึ่งที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถูกดำเนินการก่อน กระบวนการปรับเทียบและที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้ามีช่วงเวลาที่ถูกกำหนด ไว้ล่วงหน้า

77. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76ที่ซึ่งช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าอยู่ระหว่าง10วินาทีและ15วินาที

78. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76หรือ77ที่ซึ่งกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกตค่ากระแสอย่างน้อยหนึ่งค่าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และ iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อค่ากระแส ไปถึงค่าต่ำสุด

79. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76ที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อน ล่วงหน้าประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiii)ของกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่งการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถ้าค่ากระแสไปถึงค่าต่ำสุดก่อนการสิ้นสุดของช่วงเวลา ที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

80. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่77ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบ เพิ่มเติมเพื่อหยุดการดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่ากระแสที่เกี่ยวข้อง กับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึงค่าต่ำสุดในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

81. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76หรือ77ที่ซึ่งกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:(i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ (ii)การเฝ้าสังเกตค่าการนำไฟฟ้าที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และ(iii)การขัดจังหวะการจัด ให้มีกำลังแก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังเมื่อค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าต่ำสุด

82. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่81ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบ เพิ่มเติมเพื่อทำซ้ำขั้นตอน(i)ถึง(iii)ของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่ง การสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า ถ้าค่าการนำไฟฟ้าไปถึงค่าต่ำสุดก่อนการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

83. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่81หรือ82ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครง แบบเพิ่มเติมเพื่อหยุดการดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่าการนำไฟฟ้า ที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึงค่าต่ำสุดในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า ของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

84. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76หรือ77ที่ซึ่งกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ:i)การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิของ ซัสเซพเตอร์ii)การเฝ้าสังเกตค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และ iii)การขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังแก่โครงสร้างให้ความร้อนแบบเหนี่ยวนำเมื่อ ค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสูด

85. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่84ที่ซึ่งกระบวนการให้ความร้อน ล่วงหน้าประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยการทำซ้ำขั้นตอนi)ถึงiii)ของกระบวนการให้ ความร้อนล่วงหน้าจนกระทั่งการสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าถ้าค่าความต้านทานไปถึงค่าสูงสุดก่อนการสิ้นสุดของ ช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

86. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่85ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบ เพิ่มเติมเพื่อหยุดการดำเนินงานของอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยถ้าค่าความต้านทานที่ เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ไปไม่ถึงค่าสูงสุดในระหว่างช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของ กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

87. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76ถึง86ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งกำลังจาก แหล่งกำลังถูกจ่ายอย่างต่อเนื่องไปยังตัวเหนี่ยวนำผ่านทางตัวแปลงDC/ACในระหว่าง กระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

88. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76ถึง87ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งตัวควบคุม ถูกจัดโครงแบบเพื่อดำเนินการกระบวนการปรับเทียบเพื่อตอบสนองต่อการตรวจจับ การสิ้นสุดของช่วงเวลาที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าของกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้า

89. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่76ถึง87ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งตัวควบคุม ถูกจัดโครงแบบเพื่อดำเนินการกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าเพื่อตอบสนองต่อ การตรวจจับอินพุตของผู้ใช้

90. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่89ที่ซึ่งอินพุตของผู้ใช้สอดคล้องกับ การเปิดใช้งานอุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยโดยผู้ใช้

91. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่79ถึง87ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งตัวควบคุม ถูกจัดโครงแบบเพื่อดำเนินการกระบวนการให้ความร้อนล่วงหน้าเพื่อตอบสนองต่อ การตรวจจับการมีอยู่ของผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอย

92. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง91ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง การควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังในระหว่างเฟส การให้ความร้อนที่สองประกอบรวมด้วยการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่อิเล็กทรอนิกส์ ของแหล่งจ่ายกำลังเพื่อทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นทีละขั้นของอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์จาก อุณหภูมิในการดำเนินงานที่หนึ่งไปเป็นอุณหภูมิในการดำเนินงานที่สอง

93. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่92ที่ซึ่งอุณหภูมิในการดำเนินงาน ที่หนึ่งเพียงพอสำหรับซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยเพื่อก่อรูปเป็นละอองลอย

94. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่92หรือ93ที่ซึ่งการเพิ่มขึ้นทีละขั้นของ อุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ประกอบรวมด้วยขั้นของอุณหภูมิที่ต่อเนื่องกันอย่างน้อยสามขั้น ซึ่งแต่ละขั้นของอุณหภูมิมีช่วงเวลาหนึ่งช่วง

95. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ที่ซึ่งตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบเพื่อ คงอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ไว้ที่อุณหภูมิที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าเป็นช่วงเวลาของแต่ละขั้น ของอุณหภูมิ

96. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่95ที่ซึ่งการคงอุณหภูมิของซัสเซพเตอร์ ไว้ที่อุณหภูมิที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้าประกอบรวมด้วยการก่อกำเนิดสัญญาณควบคุมเพื่อ ขัดจังหวะการจัดให้มีกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ตัวแปลงDC/ACเมื่ออุณหภูมิที่ถูกกำหนดไว้ เกินกว่าอุณหภูมิขีดเริ่มเปลี่ยนที่ตั้งไว้ล่วงหน้าและการดำเนินการต่อไปใหม่ของการจัดให้ มีกำลังแก่ตัวแปลงDC/ACเมื่ออุณหภูมิที่ถูกกำหนดไว้ต่ำกว่าอุณหภูมิขีดเริ่มเปลี่ยนที่ตั้งไว้ ล่วงหน้า

97. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง96ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลา ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิคืออย่างน้อย10วินาที

98. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง96ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลา ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิอยู่ระหว่าง30วินาทีและ200วินาที

99. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง96ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลา ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิอยู่ระหว่าง40วินาทีและ160วินาที

100. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง99ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลา ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า

101. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง96ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งช่วงเวลา ของแต่ละขั้นของอุณหภูมิสอดคล้องกับจำนวนการสูบของผู้ใช้ที่ถูกกำหนดไว้ล่วงหน้า

102. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่94ถึง101ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งขั้นของ อุณหภูมิที่หนึ่งมีช่วงเวลาที่ยาวนานกว่าขั้นของอุณหภูมิที่ตามมา

103. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่54ถึง102ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง ตัวควบคุมถูกจัดโครงแบบเพิ่มเติมเพื่อ:การกำหนดหนึ่งค่าของค่ากระแส,ค่าการนำไฟฟ้า หรือค่าความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์และที่ซึ่งการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้น แก่อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังประกอบรวมด้วยการควบคุมกำลังที่ถูกจัดให้มีขึ้นแก่ อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังบนพื้นฐานของค่าที่ถูกกำหนดไว้

104. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ถึง103ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่งค่าการนำ ไฟฟ้าหรือค่าความต้านทานถูกกำหนดจากแรงดันไฟฟ้าจากแหล่งจ่ายDCของแหล่งกำลัง และจากกระแสDCที่ดึงมาจากแหล่งกำลัง

105. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่59ถึง104ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบ รวมเพิ่มเติมด้วย:เซ็นเซอร์วัดกระแสที่ถูกจัดโครงแบบเพื่อวัดกระแสDCที่ดึงมาจาก แหล่งกำลังที่ด้านอินพุตของตัวแปลงDC/ACที่ซึ่งค่าการนำไฟฟ้าหรือค่าความต้านทานที่ เกี่ยวข้องกับซัสเซพเตอร์ถูกกำหนดจากแรงดันไฟฟ้าจากแหล่งจ่ายDCของแหล่งกำลังและ จากกระแสDCที่ดึงมาจากแหล่งกำลัง

106. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่105ซึ่งประกอบรวมเพิ่มเติมด้วย เซ็นเซอร์วัดแรงดันไฟฟ้าที่ถูกจัดโครงแบบเพื่อวัดแรงดันไฟฟ้าจากแหล่งจ่ายDCของ แหล่งกำลังที่ด้านอินพุตของตัวแปลงDC/AC

107. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ถึง106ข้อใดข้อหนึ่งที่ซึ่ง อิเล็กทรอนิกส์ของแหล่งจ่ายกำลังประกอบรวมเพิ่มเติมด้วยโครงข่ายที่จับคู่สำหรับ การจับคู่อิมพีแดนซ์ของตัวเหนี่ยวนำกับอิมพีแดนซ์ของซัสเซพเตอร์

108. อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ถึง107ข้อใดข้อหนึ่งซึ่งประกอบ รวมเพิ่มเติมด้วยตัวเรือนที่มีโพรงที่ถูกจัดโครงแบบเพื่อรับผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิด ละอองลอยแบบถอดออกได้ที่ซึ่งผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยประกอบรวมด้วย ซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยและซัสเซพเตอร์

109. ระบบที่ก่อกำเนิดละอองลอยซึ่งประกอบรวมด้วย: อุปกรณ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่56ถึง108ข้อใดข้อหนึ่งและ ผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยที่ซึ่งผลิตภัณฑ์ที่ก่อกำเนิดละอองลอยประกอบ รวมด้วยซับสเตรทที่ก่อรูปละอองลอยและซัสเซพเตอร์

110. ระบบที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่109ที่ซึ่งซัสเซพเตอร์ประกอบรวมด้วย ชั้นที่หนึ่งซึ่งประกอบด้วยวัสดุที่หนึ่งและชั้นที่สองซึ่งประกอบด้วยวัสดุที่สองที่ซึ่งวัสดุ ที่หนึ่งถูกจัดวางไว้ให้สัมผัสทางกายภาพกับวัสดุที่สอง

111. ระบบที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่110ที่ซึ่งวัสดุที่หนึ่งเป็นชนิดหนึ่งของ อะลูมิเนียม,เหล็กและเหล็กกล้าไร้สนิมและที่ซึ่งวัสดุที่สองเป็นนิกเกิลหรือโลหะผสม นิกเกิล

112. ระบบที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่109หรือ110ที่ซึ่งวัสดุที่หนึ่งมีอุณหภูมิ คูรีที่หนึ่งและวัสดุที่สองมีอุณหภูมิคูรีที่สองที่ซึ่งอุณหภูมิคูรีที่สองต่ำกว่าอุณหภูมิคูรีที่หนึ่ง

113. ระบบที่ก่อกำเนิดละอองลอยตามข้อถือสิทธิข้อที่112ที่ซึ่งอุณหภูมิในการปรับเทียบที่สอง สอดคล้องกับอุณหภูมิคูรีที่สองของวัสดุซัสเซพเตอร์ที่สอ