TH2157A - กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวเมื่อถูกประกอบเข้าด้วยกันหรือถอดออก - Google Patents
กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวเมื่อถูกประกอบเข้าด้วยกันหรือถอดออกInfo
- Publication number
- TH2157A TH2157A TH8401000185A TH8401000185A TH2157A TH 2157 A TH2157 A TH 2157A TH 8401000185 A TH8401000185 A TH 8401000185A TH 8401000185 A TH8401000185 A TH 8401000185A TH 2157 A TH2157 A TH 2157A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- metal
- layer
- thin
- threaded parts
- separation
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 31
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 28
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 27
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 11
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical group [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical group [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910001252 Pd alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000011133 lead Substances 0.000 claims 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011135 tin Substances 0.000 claims 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005273 aeration Methods 0.000 claims 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical group 0.000 claims 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 claims 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
- 239000011214 refractory ceramic Substances 0.000 claims 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 claims 1
Abstract
กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันสองชิ้น (10,16) ได้ถูกจัดเตรียม กรรมวิธีประกอบด้วยการจับเกาะชั้นวัสดุบางๆ (36) โดยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนผิวหน้าที่ถูกกลึงด้วยเครื่องจักร (12,14) ของอย่างน้อยอันหนึ่งของชิ้นส่วนที่มีเกลียว (10,16) เพื่อให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ (36) บนชิ้นส่วนที่มีเกลียว (10,16) ที่มีค่าความเค้นเฉือนต่ำ
Claims (9)
1. กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุด้วยาการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะโลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะ ที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาดและ หมุนอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งของชิ้นส่วนที่มีเกลียวระหว่างการจับเกาะของชิ้นบางๆ เพื่อให้ได้ชั้นบางๆ ที่สม่ำเสมอ
2. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 1 ในที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นพวกอยู่ในระดับรวมทั้ง ทอง เงิน ตะกั่ว ดีบุก อินเดียมและทองแดง
3. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 1 ในที่ซึ่งชั้นที่ถูกจับเกาะถึงความหนาอยู่ในช่วงของประมาณ 1,000 อังสตรอม (angstroms) ถึงประมาณ 1 มิลลิเมตร
4. กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งจำนวนมากของชั้นของชั้นวัสดุได้ถูกฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นสวนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ โดยชั้นข้างในแข็งกว่าชั้นข้างบนพื้นผิว โลหะ-โลหะที่ ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกของพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันออกจากกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาด
5. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 4 ในที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นพวกอยู่ในระดับ รวมทั้ง ทอง เงิน ตะกั่ว ดีบุก อินเดียมและทองแดง
6. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 4 ในที่ซึ่งจำนวนมากของชั้นในช่วงและความหนาอยู่ในช่วงของประมาณ 500 อังสตรอม (angstroms) ถึงประมาณ 6 มิลลิเมตร
7. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 4 ในที่ซึ่งชั้นบางๆ ชั้นในเป็นโครเมียมและชั้นบางๆ ชั้นนอกเป็นทอง
8. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 7 ในที่ซึ่งความหนาของชั้นโครเนียมประมาณ 2,000 อังสตรอม ถึง ประมาณ 4,000 อังสตรอม และทองชั้นนอกหนาประมาณ 2,000 อังสตรอม
9. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่โครงผลึก เป็นชั้นๆ ด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพือ่ป้องกันการฉีกขาด 1
0. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นเพลเลเดียมด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งทำให้ได้ชั้นป้องก้นทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะ ที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะโลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
1. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 10 ในที่ซึ่งชั้นบางๆ ของแพล เลเดียมรวมถึงโลหะผสมของแพลเลเดียม 1
2. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นนิกเกิลซึ่งที่ข้างใต้ถูกปกคลุมดัวยชั้นนอกด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิว โลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
3. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นโลหะผสมที่ประกอบด้วยทองและทองแดงด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบาง ๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งบมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
4. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นโลหะผสมที่ประกอบด้วยแพลเลเดียมและทองแดงด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันและกันเพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
5. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นโลหะผสมที่ประกอบด้วยแพลเลเดียมและทองด้วยการฉาบไอออระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำ งานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันและกันเพื่อป้องก้นารฉีกขาด 1
6. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ เป็นโลหะผสมแพลเลเดียมและเงินด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันและกันเพื่อป้องกันการฉีดขาด 1
7. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ รวมถึงวัสดุทนไฟที่ถูกทำให้แข็งของออกไซด์โลหะด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันจากกันและกัน เพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
8. กรรมวิธีสำหรับต้านทางการฉีดขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวที่ทำงานร่วมกันประกอบด้วย การจับเกาะชั้นวัสดุที่ซึ่งชั้นบางๆ รวมถึงวัสดุเซรามิกทนไฟที่ถูกทำให้แข็งด้วยการฉาบไอออนระดับพลังงานสูงลงบนส่วนขอบเครื่องจักรของอย่างน้อยชิ้นส่วนหนึ่งสำหรับทำให้ได้ชั้นป้องกันทางเครื่องกลบางๆ บนพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันซึ่งมีค่าความเค้นเฉือนต่ำทำให้เกิดการแยกพื้นผิวโลหะ-โลหะที่ทำงานร่วมกันจากกันจากกันและกัน เพื่อป้องกันการฉีกขาด 1
9. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 18 ในที่ซึ่งวัสดุเซรามิกดัง กล่าวรวมถึงคาร์ไบด์โลหะ 2
0. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 18 ในที่ซึ่งวัสดุเซรามิคดังกล่าวรวมถึงไนไตรด์โลหะ 2
1. กรรมวิธีการฉาบไอออนทั้งสองปลายของชิ้นส่วนทรงกระบอกที่ยาวประกอบด้วย การล้อมรอบแต่ละปลายในห้อง การถ่ายอากาศออกจากห้องห้องหนึ่ง ด้วยเหตุนั้นการถ่ายอากาศออกจากห้องทั้งสองผ่านการชิ้นส่วนระเหยวัสดุฉาบในแต่ละห้องที่ถูกถ่ายอากาศออกที่อยู่ใกล้ชิดกับปลาย ให้ไบแอสลบกระแสไฟฟ้าตรงแก่ชิ้นส่วนสำหรับดึงดูดไอออนบวกของวัสดุฉาบที่ถูกระเหย 2
2. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 21 รวมทั้งการหมุนชิ้นส่วนทรงกระบวก 2
3. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 21 ในที่ซึ่งสนามแม่เหล็กได้ถูกวางใกล้ชิดปลายทั้งสอง 2
4. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 21 รวมทั้ง การล้อมรอบส่วนของชิ้นส่วนที่หมุนในห้องแบ่งกั้นใกล้ท้องหนึ่งของห้องที่ถูกถ่ายอากาศออก 2
5. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 14 ในที่ซึ่งห้องแบ่งกั้นใกล้ท้องที่ถูกถ่ายอากาศออกได้ถูกสูบลง และห้องแบ่งกั้นที่อยู่ถัดไปได้ถูกป้องด้วยก๊าซเฉื่อย 2
6. กรรมวิธีการฉาบไอออนทั้งสองปลายของชิ้นส่วนทางกระบอกที่ยาวประกอบด้วยการล้อมรอบปลายที่หนึ่งในห้องกับปลายที่สองถูกวางตำแหน่งอยู่นอกห้องดังกล่าวการปิดปลายที่สองของชิ้นส่วนด้วยที่ปิดที่สามารถหมุนได้ การถ่ายอากาศออกจากห้อง ด้วยเหตุนั้นการถ่ายอากาศออกจากบริเวณประมาณปลายทั้งสอง ระเหยวัสดุฉาบในบริเวณที่ถูกถ่ายอากาศออกที่ใกล้ปลาย และให้ไบแอสลบกระแสไฟฟ้าตรงแก่ชิ้นส่วนสำหรับดึงดูดไอออนบวกของวัสดุฉาบที่ถูกระเหย 2
7. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 26 รวมทั้งการหมุนชิ้นส่วนทรงกระบอก 2
8. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิ 26 รวมทั้งการวางสนามแม่เหล็กใกล้แต่ละปลายของชิ้นส่วน 2
9. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 26 ในที่ซึ่งการระเหยวัสดุอยู่ภายในปลายที่สองและภายนอกปลายที่หนึ่ง 3
0. กรรมวิธีตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิ 28 ในที่ซึ่งสนามแม่เหล็กถูกจัดเตรียมโดยแม่เหล็กที่ถูกวางตำแหน่งภายในแต่ละปลายของชิ้นส่วน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH2157A true TH2157A (th) | 1985-01-02 |
| TH4327B TH4327B (th) | 1995-02-22 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5282943A (en) | Method of bonding a titanium containing sputter target to a backing plate and bonded target/backing plate assemblies produced thereby | |
| US5593082A (en) | Methods of bonding targets to backing plate members using solder pastes and target/backing plate assemblies bonded thereby | |
| SE8005815L (sv) | Tradformig elektrod avsedd att anvendas for skerning av arbetsstycken av metall i maskiner for elektriskt eroderande bearbetning | |
| WO2006136242A1 (de) | Metallbeschichtete graphitfolie | |
| TWI498435B (zh) | 具有低溫高強度接合的濺鍍靶材組合 | |
| EP0162601A2 (en) | Formation of alloy layer on a metal substrate | |
| WO1991001429A1 (de) | Verfahren zur beschichtung einer fläche aus glas | |
| KR101131241B1 (ko) | 면도날 에지와 면도날 상에 층을 증착하는 방법 | |
| EP0623415B1 (en) | Method of making cathode targets comprising silicon | |
| GB2106714A (en) | Ceramic capacitor and method of making the same | |
| JPH10121232A (ja) | スパッタリングターゲット | |
| TH2157A (th) | กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวเมื่อถูกประกอบเข้าด้วยกันหรือถอดออก | |
| TH4327B (th) | กรรมวิธีสำหรับต้านทานการฉีกขาดของชิ้นส่วนที่มีเกลียวเมื่อถูกประกอบเข้าด้วยกันหรือถอดออก | |
| JP2002371351A (ja) | 皮膜形成装置 | |
| US6056831A (en) | Process for chemically and mechanically enhancing solder surface properties | |
| GB2053763A (en) | Soldering a non-solderable sputtering target to a metallic support | |
| JPS6018749B2 (ja) | スパツタリング用タ−ゲツト | |
| RU2023740C1 (ru) | Способ нанесения покрытий | |
| GB2475023A (en) | Multi-layer armour and radiation screening plate | |
| JPH0452274A (ja) | 工具への薄膜被覆方法 | |
| WO2002027057A3 (en) | Sputtering target and method of making same | |
| WO2017020535A1 (zh) | 一种铜铝合金晶振片镀膜工艺 | |
| TW201823495A (zh) | 刀具複合塗層、刀具和刀具複合塗層的製備方法 | |
| KR100333502B1 (ko) | 스퍼터링 타겟의 제조방법 | |
| CN106032569B (zh) | 磁控管组件及磁控溅射设备 |