TH21311A - เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต - Google Patents

เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต

Info

Publication number
TH21311A
TH21311A TH9501001078A TH9501001078A TH21311A TH 21311 A TH21311 A TH 21311A TH 9501001078 A TH9501001078 A TH 9501001078A TH 9501001078 A TH9501001078 A TH 9501001078A TH 21311 A TH21311 A TH 21311A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
support
static
mounting surface
electronic component
contact
Prior art date
Application number
TH9501001078A
Other languages
English (en)
Other versions
TH12665B (th
Inventor
โกโตะ นายโตชิยูกิ
โตคูมารุ นายโตโมฮิเดะ
Original Assignee
โซนี่ คอร์ปอเรชั่น
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
Filing date
Publication date
Application filed by โซนี่ คอร์ปอเรชั่น, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา filed Critical โซนี่ คอร์ปอเรชั่น
Publication of TH21311A publication Critical patent/TH21311A/th
Publication of TH12665B publication Critical patent/TH12665B/th

Links

Abstract

เพื่อที่จะระงับการสะสมของประจุไฟฟ้าของไฟฟ้าสถิตในเต้ารับสำหรับการ ประกอบติดส่วนประกอบทางอิเล็กทรอนิกส์ ดังเช่น ไอซี การประดิษฐ์นี้จะจัดเตรียมเครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตสำหรับ ยอมให้การนำไฟฟ้าได้เกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือวัดและอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่มีชิ้นส่วน ภายในของอุปกรณ์ที่ได้รับการผนึกในบรรจุภัณฑ์ที่ทำขึ้นมาด้วยวัสดุชนิดไม่นำไฟฟ้า ผ่านสาย นำที่ยื่นออกจากอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำด้วยอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำได้รับการประกอบติดบนเครื่อง สำเร็จเต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตย์ เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตย์จะประกอบด้วย: ตัวค้ำรับซึ่งได้รับการทำขึ้นมาจากวัสดุชนิดไม่นำไฟฟ้าและมีพื้นผิวเพื่อการประกอบคิดสำหรับ ประกอบติดบรรจุภัณฑ์ของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ, หน้าสัมผัสที่จะนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำของ อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่ประกอบติดบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดของตัวค้ำรับ, และส่วนยื่นบน พื้นผิวเพื่อการประกอบติดสำหรับการรองรับบรรจุภัณฑ์ของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำบนพื้นผิว สัมผัสของส่วนยื่นด้วยพื้นที่รวมทั้งหมดน้อยกว่าพื้นที่ของพื้นผิวเพื่อการประกอบติดของตัวค้ำรับ ดังเป็นผลลัพธ์ ส่วนยื่นที่จัดเตรียมบนตัวค้ำรับของเตารับจะยอมให้ปริมาณ ของการเสียดทานที่ประสบในการประกอบติดและถอดการประกอบติดอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ ลงบนหรือออกจากตัวค้ำรับได้รับการลดลง และดังนั้น ปริมาณของประจุไฟฟ้าของไฟฟ้า สถิตจะได้รับการทำให้เกิดขึ้นมาน้อยลงเช่นเดียวกัน ด้วยเหตุนี้ การถูกทำลายของชิ้นส่วน ภายในของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำเนื่องมาจากการปล่อยของไฟฟ้าสถิตสามารถได้รับการหลีก เลี่ยง

Claims (20)

1. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือ วัดและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งถูกห่อหุ้มในบรรจุภัณฑ์ผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากบรรจุภัณฑ์ ซึ่งห่อหุ้มส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับ (2) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำที่กำหนดไว้ล่วงหน้าเพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ของส่วน ประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติด (2a) ของตัวค้ำรับดังกล่าว วัสดุไม่เป็นตัว นำที่กำหนดไว้ล่วงหน้าดังกล่าวถูกเลือกเพื่อให้มีค่าความต้านทานซึ่งยอมให้ประจุไฟฟ้าสถิตแพร่กระจาย แต่ซึ่งคงระดับความเป็นฉนานไฟฟ้าที่กำหนดไว้ล่วงหน้าเอาไว้ ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนเส้นรอบวงของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วยส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำดังกล่าว และ ส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดังกล่าวในความสัมพันธ์แบบไม้สัมผัสกันเหนือพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าว ส่วนยื่นดังกล่าวทำด้วยวัสดุไม่เป็นตัวนำที่กำหนดไว้ล่วงหน้าและมีพื้นที่ผิวทั้งหมดซึ่งจะน้อยกว่าที่พื้นผิว ของพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวมีอยู่ พื้นที่ผิวทั้งหมดถูกเลือกเพื่อลดปริมาณของความเสียดทาน ระหว่างส่วนยื่นดังกล่าวและบรรจุภัณฑ์และปริมาณของไฟฟ้าแบบสถิตซึ่งถูกสร้าง
2. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ส่วนยื่นดังกล่าวอันหนึ่งมี พื้นผิวสัมผัสที่หนึ่งเป็นรูปสี่เหลี่ยมจัตุรัส
3. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือ วัดและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับ (2) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำเพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติด (2a) ของตัวค้ำรับดังกล่าว ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนเส้นรอบวงของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วยส่วนประกอบเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำดังกล่าว และ ส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดังกล่าว ส่วนยื่นดังกล่าวอันหนึ่งมีพื้นผิวสัมผัสที่หนึ่ง (21a) ซึ่งมีรูปร่างสี่เหลี่ยม จัตุรัสโดยที่ส่วนยื่นที่เหลือแต่ละส่วนอันมีพื้นผิวสัมผัสที่สองและแต่ละอันถูกจัดให้มีพื้นผิวสัมผัสที่หนึ่ง ภายนอกซึ่งมีรูปร่างสี่เหลี่ยมจัตุรัส
4. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 3 โดยที่พื้นผิวสัมผัสที่สองดังกล่าว มีรูปร่างที่กำหนดไว้ล่วงหน้า
5. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 4 โดยที่พื้นผิวสัมผัสที่สองดังกล่าว ตั้งอยู่ภายนอกสี่เหลี่ยมจัตุรัสดังกล่าวในบริเวณใกล้เคียงกับมุมสี่มุมของสี่เหลี่ยมจัตุรัสดังกล่าว
6. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือ วัดและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับ (2) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำเพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติด (2a) ของตัวค้ำรับดังกล่าว ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนเส้นรอบวงของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วยส่วนประกอบเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำดังกล่าว และ ส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดังกล่าว ส่วนยื่นดังกล่าวอันหนึ่งมีพื้นผิวสัมผัสที่หนึ่ง (21a) ซึ่งมีรูปร่างสี่เหลี่ยม จัตุรัส และโดยที่พื้นผิวสัมผัสรูปสี่เหลี่ยมจัตุรัสที่หนึ่งมีด้านที่ขนานกันคู่หนึ่งที่แตกต่างในความกว้างของ ด้านข้างจากด้านขนานคู่อื่น
7. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือ วัดและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับ (2) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำเพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติด (2a) ของตัวค้ำรับดังกล่าว ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนเส้นรอบวงของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วยส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำดังกล่าว และ ส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดังกล่าวอย่างเว้นห่างเหนือพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวโดยที่พื้นผิวเพื่อการ ประกอบติดดังกล่าวโดยพื้นฐานแล้วจะมีรูปร่างเป็นสี่เหลี่ยมผืนผ้าและโดยที่ส่วนยื่นดังกล่าวทำด้วยวัสดุ ไม่เป็นตัวนำดังกล่าว แต่ละอันโดยพื้นฐานแล้วมีรูปร่างเป็นสี่เหลี่ยมผืนผ้าและแต่ละอันตั้งอยู่เพื่อที่จะ ยื่นขึ้นไปในแนวดิ่งจากพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวชิดกับมุมของพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดัง กล่าว
8. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่องมือ วัดและส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับ (2) เพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการ ประกอบติด (2a)ของตัวค้ำรับดังกล่าว ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนเส้นรอบวงของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วยส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัสกับสายนำดังกล่าว และ ส่วนยื่นจำนวนหนึ่ง (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดังกล่าวเหนือพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าว ส่วนยื่นดังกล่าวอันหนึ่งมีพื้น ผิวสัมผัสที่หนึ่ง (21a) ซึ่งมีรูปร่างสี่เหลี่ยมจัตุรัส และโดยที่ตัวค้ำรับดังกล่าวและส่วนยื่นจำนวนหนึ่งดัง กล่าวทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำที่มีค่าความต้านทานน้อยกว่าช่วงของ 1016 ถึง 1017 โอห์ม
9. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 8 โดยที่ตัวค้ำรับดังกล่าวมีค่าความ ต้านทานในช่วง 1010 ถึง 1014 โอห์ม
10. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 9 โดยที่พอลิเอธิลิไมด์ถูกใช้เป็น วัสดุเพื่อการทำตัวค้ำรับดังกล่าว
11. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต (1) เพื่อยอมให้สภาพนำไฟฟ้าเกิดขึ้นระหว่างเครื่อง มือวัดและอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำโดยที่ชิ้นส่วนภายในของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำถูกผนึกในบรรจุภัณฑ์ (11) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำผ่านสายนำ (12) ซึ่งยื่นออกจากอย่างน้อยที่สุดต้านขนานสองด้านของ อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าว อุปกรณ์เต้ารับต้านไฟฟ้าสถิตดังกล่าวประกอบรวมด้วย ตัวค้ำรับเกือบจะเป็นสี่เหลี่ยมจัตุรัส (2) ที่ทำขึ้นจากวัสดุไม่เป็นตัวนำเพื่อติดตั้งบรรจุภัณฑ์ดัง กล่าวของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติด (2a) ของตัวค้ำรับดังกล่าว ตัวสัมผัส (3) ที่ถูกจัดไว้บนอย่างน้อยที่สุดด้านขนานสองด้านของตัวค้ำรับดังกล่าวและด้วย อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวเพื่อที่จะถูกนำเข้ามาสัมผัส กับสายนำดังกล่าวและ ส่วนยื่น (21) ที่ถูกจัดให้มีบนพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าวของตัวค้ำรับดังกล่าว ส่วนยื่น ที่กำหนดไว้ล่วงหน้าอันหนึ่งของส่วนยื่นดังกล่าวมีพื้นผิวสัมผัสที่หนึ่ง (21a) เพื่อรองรับบรรจุภัณฑ์ดัง กล่าว
12. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่พื้นผิวสัมผัสที่หนึ่งดัง กล่าวถูกสร้างเพื่อก่อตั้งเป็นรูปสี่เหลี่ยมจัตุรัส
13. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 12 โดยที่ส่วนยื่นที่เหลือแต่ละ ส่วนซึ่งมีพื้นผิวสัมผัสที่สองถูกจัดให้มีภายนอกสี่เหลี่ยมจัตุรัสดังกล่าว
14. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 13 โดยที่รูปแบบของพื้นผิวสัมผัส ที่สองดังกล่าวแต่ละอันคล้ายคลึงกับอักขระพิเศษ ]
15. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 14 โดยที่พื้นผิวสัมผัสที่สองดัง กล่าวแต่ละอันคล้ายคลึงกับอักขระพิเศษ ] ที่ตั้งอยู่ภายนอกสี่เหลี่ยมจัตุรัสดังกล่าวในบริเวณใกล้เคียงกับ มุมสี่มุมของสี่เหลี่ยมจัตุรัสดังกล่าว
16. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 12 โดยที่พื้นผิวสัมผัสรูปสี่เหลี่ยม จัตุรัสที่หนึ่งดังกล่าวมีด้านที่ขนานกันคู่หนึ่งที่แตกต่างในความกว้างของด้านข้างจากด้านขนานคู่อื่น
17. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่ส่วนยื่นดังกล่าวตั้งอยู่ที่ มุมของพื้นผิวเพื่อการประกอบติดดังกล่าว
18. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่ตัวค้ำรับดังกล่าวทำขึ้น จากวัสดุไม่เป็นตัวนำที่มีค่าความต้านทานน้อยกว่าความต้านทานของวัสดุซึ่งมีความต้านทานในช่วงของ 1016 ถึง 1017 โอห์ม
19. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 11 โดยที่ตัวค้ำรับดังกล่าวมีค่า ความต้านทานในช่วง 1010 ถึง 1014 โอห์ม
20. เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิตตามข้อถือสิทธิข้อที่ 19 โดยที่พอลิเอธิลิไมด์ถูกใช้เป็น วัสดุเพื่อการทำตัวค้ำรับดังกล่าว
TH9501001078A 1995-05-16 เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต TH12665B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH21311A true TH21311A (th) 1996-10-22
TH12665B TH12665B (th) 2002-05-07

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3345541A (en) Mounting and connecting means for circuit devices
KR100273173B1 (ko) 임피던스를 제어하기 위한 상호 접속장치 및 방법
ES474519A1 (es) Un marco de conductores para establecer conexiones electri- cas con componentes electricos, y un dispositivo electrico correspondiente
KR960031996A (ko) 테스트 소켓
US3621112A (en) Housing for electrical components
US5562489A (en) Electrostatic discharge protection device
KR860000639B1 (ko) 통신회로용 선로 보호기
KR100605453B1 (ko) 전자파 장애 차단 필터
JPH10321979A5 (th)
US4272140A (en) Arrangement for mounting dual-in-line packaged integrated circuits to thick/thin film circuits
WO1987001899A1 (en) Static charge protector for integrated circuits
KR960005966A (ko) 반도체 장치와 그의 제조 및 실장방법
US3518493A (en) Arrangement for mounting and connecting microelectronic circuits
KR950010036A (ko) 반도체 모듈 및 반도체 모듈에 사용되는 ic패키지
TH12665B (th) เครื่องสำเร็จเต้ารับชนิดต้านไฟฟ้าสถิต
JPH03203300A (ja) 集積回路をベースに装着する装置
US5620327A (en) Antistatic socket apparatus
JPS5852346B2 (ja) 半導体装置
US5800185A (en) Adapter with a support having a contacting device
US3536961A (en) Wiring device using channel means as a bus bar
JP3024943B2 (ja) Qfpプラスチック表面実装半導体電力装置
JPH05129480A (ja) Icソケツト、バーンインボード、バーンイン炉、及びハンドラ
JPH0135430Y2 (th)
KR200167707Y1 (ko) 콘넥터 웨이퍼 일체형 스위치
JPH07159486A (ja) 集積回路試験装置