TH21020A - แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง - Google Patents

แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง

Info

Publication number
TH21020A
TH21020A TH9501001715A TH9501001715A TH21020A TH 21020 A TH21020 A TH 21020A TH 9501001715 A TH9501001715 A TH 9501001715A TH 9501001715 A TH9501001715 A TH 9501001715A TH 21020 A TH21020 A TH 21020A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
actuator
layer
gate
pair
thin film
Prior art date
Application number
TH9501001715A
Other languages
English (en)
Other versions
TH14464B (th
Inventor
จี นายเจียง-เบียม
ยูน นายดอง-เซียน
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH21020A publication Critical patent/TH21020A/th
Publication of TH14464B publication Critical patent/TH14464B/th

Links

Abstract

แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ประกอบด้วยเมทริกซ์การ สวิทช์ , แถวลำดับของชิ้นประกอบรองรับปริมาณ M x N คู่และแถวลำดับของโครงสร้างกระตุ้น ปริมาณ M x N, ซึ่งแอกทีฟเมทริกซ์ประกอบด้วยซับสเทรทและลายสายนำที่หนึ่ง, ที่สองและที่สามที่ พิมพ์อยู่ด้านบนสุด และโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างจะมีคู่ของตัวกระตุ้น และคู่ของตัวกระตุ้น เกตด้วยการที่มีตัวกระตุ้นเกตในโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างในความสัมพันธ์กับลายสายนำที่ หนึ่ง, ที่สอง และที่สามบนเมทริกซ์การสวิทช์ จะทำให้เป็นไปได้ที่จะกำจัดการใช้ทรานซิสเตอร์ใน แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N

Claims (9)

1. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N สำหรับใช้ในระบบการ ฉายเชิงแสง , แถวลำดับดังกล่าวประกอบรวมด้วย : เมทริกซ์การสวิทซ์ที่ประกอบรวมด้วยซับเสตรทที่มีพื้นผิวด้านบนสุดและได้รับการจัดเตรียม ไว้พร้อมด้วยลายสายนำที่หนึ่ง , ที่สองและที่สาม ที่ก่อรูปขึ้นมาบนพิ้นผิวด้านบนสุด, ที่ซึ่งลายสายนำ ที่หนึ่งและที่สองได้รับการเชื่อมต่อเข้ากับวงจรภายนอกและได้รับการใช้สำหรับการนำพาสัญญาณภาพ และสัญยาณขับ ตามลำดับ และสายสายนำที่สาม ได้รับการใช้เพื่อให้สัญญาณแก่กระจกรับการ กระตุ้นชนิดฟลิ์มบางแต่ละบาน; แถวลำดับของชิ้นประกอบรองรับปริมาณ M x N คู่ , ที่ซึ่งชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้น ประกอบได้รับการจัดวางลงบนด้านบนสุดของสายนำที่สองและที่สาม; และ แถวลำดับของโครงสร้างกระตุ้นปริมาณ M x N, โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบ ด้วยส่วนแถบยื่นมาที่หนึ่ง, ที่สอง, กึ่งกลาง, ที่สาม และที่สี่, ส่วนแถบยื่นแต่ละส่วนแยกจากกันโดย ช่องว่างระหว่างกลาง , โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบต่อไปอีกด้วยชั้นสะท้อนแสง, ชั้น ยืดหยุ่น และชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า, โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบต่อไปอีกด้วยคู่ ของตัวกระตุ้นและคู่ของตัวกระตุ้นเกต, ตัวกระตุ้นและตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวมีปลายใกล้และไกล, ตัวกระตุ้นแต่ละตัวในคู่ได้รับการจัดไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่หนึ่ง และที่สี่ ถ้าตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัว ในคู่ได้รับการจัดวางไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่สองและที่สามตามลำดับ หรือข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่สอง และที่สามถ้าตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวในคู่ได้รับการจัดวางไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่หนึ่งและที่สี่ตาม ลำดับอย่างใดอย่างหนึ่ง, ตัวกระตุ้นแต่ละตัวในคู่และตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวในคู่ยื่นออกมาในสภาพ คล้ายคานยื่นจากชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้นประกอบโดยปลายใกล้ของตัวกระตุ้น, ตัวกระตุ้นเกตแต่ ละตัวยังได้รับการจัดเตรียมไว้พร้อมด้วยชั้นฉนวนที่ยึดติดกับก้นของตัวกระตุ้นเกตที่ปลายไกล และ ชั้นสัมผัสที่ยึดติดกับก้นของชั้นฉนวน, ที่ซึ่งสัญญาณขับที่ได้รับการจัดให้ผ่านลายสายนำที่สองจะได้ รับการให้แก่ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวซึ่งทำให้คู่ของตัวกระตุ้นเกต โค้งงอลงด้านล่าง ซึ่งเป็นการบังคับ ชั้นสัมผัสบนตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวให้เข้าสัมผัสกับลายสายนำที่หนึ่งและที่สาม เพื่อยอมให้สัญญาณ ภาพจากลายสายนำที่หนึ่งได้รับการส่งไปยังลายสายนำที่สาม และ ดังนั้น ไปยังตัวกระตุ้นแต่ละตัว ทำ ให้คู่ของตัวกระตุ้นในโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างเอียงในขณะที่คงความแบนราบไว้ ซึ่งยังผล ให้ใช้ชิ้นส่วนแถบยื่นกึ่งกลางทั้งหมดเพื่อสะท้อนลำแสงได้
2. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งตัว กระตุ้นแต่ละตัวประกอบด้วยส่วนหนึ่งของชั้นสะท้อนแสง, ส่วนหนึ่งของชั้นยืดหยุ่น, ชั้นอิเล็กโทรด สัญญาณ, ส่วนหนึ่งของชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า และชั้นอิเล็ดโทรดไบแอส
3. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่ง ชั้นอิเล็กโทรดสัญญาณในตัวกระตุ้นแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับลายสายนำที่สาม
4. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวประกอบด้วยส่วนหนึ่งของชั้นสะท้อนแสง, ส่วนหนึ่งของชั้นยืดหยุ่น, ชั้น อิเล็กโทรดสัญญาณเกต, ส่วนหนึ่งของชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า และชั้นอิเล็กโทรดไบแอสเกต
5. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 4 ที่ซึ่ง ชั้นอิเล็กโทรดสัญญาณเกต ในตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับลายสายนำที่ สอง
6. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 2 และ 4 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งชั้นอิเล็กโทรดไบแอสในตัวกระตุ้นแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับชั้น อิเล็กโทรดไปแอสเกต ในตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัว
7. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 6 ที่ซึ่ง แรงดันไฟฟ้าที่ให้กับชั้นอิเล็กโทรดไบแอส และชั้นอิเล็กโทรดไปแอสเกต ในตัวกระตุ้นแต่ละตัวและ ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวจะเหมือนกัน
8. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ซัลสเทรททำจากวัสดุฉนวน
9. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้นประกอบทำจากวัสดุฉนวน 1
0. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ชั้นยืดหยุ่นทำจากวัสดุฉนวน
TH9501001715A 1995-07-17 แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง TH14464B (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH21020A true TH21020A (th) 1996-10-08
TH14464B TH14464B (th) 2003-03-27

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6288824B1 (en) Display device based on grating electromechanical shutter
CN1058789C (zh) 用于光学投影系统中的薄膜可致动反射镜阵列
US4807967A (en) Passive display device
CA1194194A (en) Display device
JP3919954B2 (ja) アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6882256B1 (en) Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch
US6037719A (en) Matrix-addressed display having micromachined electromechanical switches
KR100416678B1 (ko) 스프링팁을갖는마이크로미케니컬디바이스
RU97108573A (ru) Матрица тонкопленочного возбуждаемого отражателя для оптических проекционных систем
EP0012243A1 (en) Display system including electrostatically deflectable elements
KR20030008432A (ko) 정전 구동기
US20050244099A1 (en) Cantilevered micro-electromechanical switch array
US6697035B2 (en) Display device and moving-film display device
US4420897A (en) Electroscopic display devices
PL176490B1 (pl) Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych
ATE418134T1 (de) Displayansteuerungsmethode
JP3558332B2 (ja) 可動フィルム型表示装置
KR100619177B1 (ko) 미소 가동 디바이스
KR100283452B1 (ko) 모노모프박막액츄에이티드미러어레이
TH21020A (th) แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง
TH14464B (th) แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง
US20060023994A1 (en) Dual comb electrode structure with spacing for increasing a driving angle of a microscanner, and the microscanner adopting the same
CN1115856A (zh) 具有改进光学效率的薄膜驱动反射镜阵列
JPS61503056A (ja) 静電作動2進シヤツタ装置のアレイ
JPH0332236B2 (th)