TH21020A - แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง - Google Patents
แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสงInfo
- Publication number
- TH21020A TH21020A TH9501001715A TH9501001715A TH21020A TH 21020 A TH21020 A TH 21020A TH 9501001715 A TH9501001715 A TH 9501001715A TH 9501001715 A TH9501001715 A TH 9501001715A TH 21020 A TH21020 A TH 21020A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- actuator
- layer
- gate
- pair
- thin film
- Prior art date
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 claims 1
Abstract
แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ประกอบด้วยเมทริกซ์การ สวิทช์ , แถวลำดับของชิ้นประกอบรองรับปริมาณ M x N คู่และแถวลำดับของโครงสร้างกระตุ้น ปริมาณ M x N, ซึ่งแอกทีฟเมทริกซ์ประกอบด้วยซับสเทรทและลายสายนำที่หนึ่ง, ที่สองและที่สามที่ พิมพ์อยู่ด้านบนสุด และโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างจะมีคู่ของตัวกระตุ้น และคู่ของตัวกระตุ้น เกตด้วยการที่มีตัวกระตุ้นเกตในโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างในความสัมพันธ์กับลายสายนำที่ หนึ่ง, ที่สอง และที่สามบนเมทริกซ์การสวิทช์ จะทำให้เป็นไปได้ที่จะกำจัดการใช้ทรานซิสเตอร์ใน แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N
Claims (9)
1. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N สำหรับใช้ในระบบการ ฉายเชิงแสง , แถวลำดับดังกล่าวประกอบรวมด้วย : เมทริกซ์การสวิทซ์ที่ประกอบรวมด้วยซับเสตรทที่มีพื้นผิวด้านบนสุดและได้รับการจัดเตรียม ไว้พร้อมด้วยลายสายนำที่หนึ่ง , ที่สองและที่สาม ที่ก่อรูปขึ้นมาบนพิ้นผิวด้านบนสุด, ที่ซึ่งลายสายนำ ที่หนึ่งและที่สองได้รับการเชื่อมต่อเข้ากับวงจรภายนอกและได้รับการใช้สำหรับการนำพาสัญญาณภาพ และสัญยาณขับ ตามลำดับ และสายสายนำที่สาม ได้รับการใช้เพื่อให้สัญญาณแก่กระจกรับการ กระตุ้นชนิดฟลิ์มบางแต่ละบาน; แถวลำดับของชิ้นประกอบรองรับปริมาณ M x N คู่ , ที่ซึ่งชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้น ประกอบได้รับการจัดวางลงบนด้านบนสุดของสายนำที่สองและที่สาม; และ แถวลำดับของโครงสร้างกระตุ้นปริมาณ M x N, โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบ ด้วยส่วนแถบยื่นมาที่หนึ่ง, ที่สอง, กึ่งกลาง, ที่สาม และที่สี่, ส่วนแถบยื่นแต่ละส่วนแยกจากกันโดย ช่องว่างระหว่างกลาง , โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบต่อไปอีกด้วยชั้นสะท้อนแสง, ชั้น ยืดหยุ่น และชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า, โครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างประกอบต่อไปอีกด้วยคู่ ของตัวกระตุ้นและคู่ของตัวกระตุ้นเกต, ตัวกระตุ้นและตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวมีปลายใกล้และไกล, ตัวกระตุ้นแต่ละตัวในคู่ได้รับการจัดไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่หนึ่ง และที่สี่ ถ้าตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัว ในคู่ได้รับการจัดวางไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่สองและที่สามตามลำดับ หรือข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่สอง และที่สามถ้าตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวในคู่ได้รับการจัดวางไว้ข้างใต้ส่วนแถบยื่นที่หนึ่งและที่สี่ตาม ลำดับอย่างใดอย่างหนึ่ง, ตัวกระตุ้นแต่ละตัวในคู่และตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวในคู่ยื่นออกมาในสภาพ คล้ายคานยื่นจากชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้นประกอบโดยปลายใกล้ของตัวกระตุ้น, ตัวกระตุ้นเกตแต่ ละตัวยังได้รับการจัดเตรียมไว้พร้อมด้วยชั้นฉนวนที่ยึดติดกับก้นของตัวกระตุ้นเกตที่ปลายไกล และ ชั้นสัมผัสที่ยึดติดกับก้นของชั้นฉนวน, ที่ซึ่งสัญญาณขับที่ได้รับการจัดให้ผ่านลายสายนำที่สองจะได้ รับการให้แก่ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวซึ่งทำให้คู่ของตัวกระตุ้นเกต โค้งงอลงด้านล่าง ซึ่งเป็นการบังคับ ชั้นสัมผัสบนตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวให้เข้าสัมผัสกับลายสายนำที่หนึ่งและที่สาม เพื่อยอมให้สัญญาณ ภาพจากลายสายนำที่หนึ่งได้รับการส่งไปยังลายสายนำที่สาม และ ดังนั้น ไปยังตัวกระตุ้นแต่ละตัว ทำ ให้คู่ของตัวกระตุ้นในโครงสร้างกระตุ้นแต่ละโครงสร้างเอียงในขณะที่คงความแบนราบไว้ ซึ่งยังผล ให้ใช้ชิ้นส่วนแถบยื่นกึ่งกลางทั้งหมดเพื่อสะท้อนลำแสงได้
2. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่งตัว กระตุ้นแต่ละตัวประกอบด้วยส่วนหนึ่งของชั้นสะท้อนแสง, ส่วนหนึ่งของชั้นยืดหยุ่น, ชั้นอิเล็กโทรด สัญญาณ, ส่วนหนึ่งของชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า และชั้นอิเล็ดโทรดไบแอส
3. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 2 ที่ซึ่ง ชั้นอิเล็กโทรดสัญญาณในตัวกระตุ้นแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับลายสายนำที่สาม
4. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวประกอบด้วยส่วนหนึ่งของชั้นสะท้อนแสง, ส่วนหนึ่งของชั้นยืดหยุ่น, ชั้น อิเล็กโทรดสัญญาณเกต, ส่วนหนึ่งของชั้นเคลื่อนไหวเชิงไฟฟ้า และชั้นอิเล็กโทรดไบแอสเกต
5. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 4 ที่ซึ่ง ชั้นอิเล็กโทรดสัญญาณเกต ในตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับลายสายนำที่ สอง
6. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 2 และ 4 ข้อใดข้อหนึ่ง ที่ซึ่งชั้นอิเล็กโทรดไบแอสในตัวกระตุ้นแต่ละตัวได้รับการเชื่อมต่อทางไฟฟ้าเข้ากับชั้น อิเล็กโทรดไปแอสเกต ในตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัว
7. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 6 ที่ซึ่ง แรงดันไฟฟ้าที่ให้กับชั้นอิเล็กโทรดไบแอส และชั้นอิเล็กโทรดไปแอสเกต ในตัวกระตุ้นแต่ละตัวและ ตัวกระตุ้นเกตแต่ละตัวจะเหมือนกัน
8. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ซัลสเทรททำจากวัสดุฉนวน
9. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ชิ้นประกอบรองรับแต่ละชิ้นประกอบทำจากวัสดุฉนวน 1
0. แถวลำดับของกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางปริมาณ M x N ของข้อถือสิทธิ 1 ที่ซึ่ง ชั้นยืดหยุ่นทำจากวัสดุฉนวน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH21020A true TH21020A (th) | 1996-10-08 |
| TH14464B TH14464B (th) | 2003-03-27 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6288824B1 (en) | Display device based on grating electromechanical shutter | |
| CN1058789C (zh) | 用于光学投影系统中的薄膜可致动反射镜阵列 | |
| US4807967A (en) | Passive display device | |
| CA1194194A (en) | Display device | |
| JP3919954B2 (ja) | アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法 | |
| US6882256B1 (en) | Anchorless electrostatically activated micro electromechanical system switch | |
| US6037719A (en) | Matrix-addressed display having micromachined electromechanical switches | |
| KR100416678B1 (ko) | 스프링팁을갖는마이크로미케니컬디바이스 | |
| RU97108573A (ru) | Матрица тонкопленочного возбуждаемого отражателя для оптических проекционных систем | |
| EP0012243A1 (en) | Display system including electrostatically deflectable elements | |
| KR20030008432A (ko) | 정전 구동기 | |
| US20050244099A1 (en) | Cantilevered micro-electromechanical switch array | |
| US6697035B2 (en) | Display device and moving-film display device | |
| US4420897A (en) | Electroscopic display devices | |
| PL176490B1 (pl) | Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych | |
| ATE418134T1 (de) | Displayansteuerungsmethode | |
| JP3558332B2 (ja) | 可動フィルム型表示装置 | |
| KR100619177B1 (ko) | 미소 가동 디바이스 | |
| KR100283452B1 (ko) | 모노모프박막액츄에이티드미러어레이 | |
| TH21020A (th) | แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง | |
| TH14464B (th) | แถวลำดับกระจกรับการกระตุ้นชนิดฟิล์มบางสำหรับใช้ในระบบการฉายเชิงแสง | |
| US20060023994A1 (en) | Dual comb electrode structure with spacing for increasing a driving angle of a microscanner, and the microscanner adopting the same | |
| CN1115856A (zh) | 具有改进光学效率的薄膜驱动反射镜阵列 | |
| JPS61503056A (ja) | 静電作動2進シヤツタ装置のアレイ | |
| JPH0332236B2 (th) |