TH175829A - การกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อนขนานกัน - Google Patents
การกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อนขนานกันInfo
- Publication number
- TH175829A TH175829A TH1401004479A TH1401004479A TH175829A TH 175829 A TH175829 A TH 175829A TH 1401004479 A TH1401004479 A TH 1401004479A TH 1401004479 A TH1401004479 A TH 1401004479A TH 175829 A TH175829 A TH 175829A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- tube
- plasma
- outermost
- parallel
- solenoid
- Prior art date
Links
- 210000002381 Plasma Anatomy 0.000 title claims abstract 18
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 title claims abstract 16
- 238000001914 filtration Methods 0.000 title claims abstract 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims abstract 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract 6
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 claims abstract 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 claims 1
Abstract
DC60 (05/05/60) อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้สนามแม่เหล็กของขดลวดโซลินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 13/11/2558 อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้มีสนามแม่เหล็กของขดโลซินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น ------------------------------------------------------------- แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 29/10/2558 อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้สนามแม่เหล็กของขดลวดโซลินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น ------------------------------------------------------------------------------------- อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อนขนานกัน
Claims (1)
- : DC60 (05/05/60) อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้สนามแม่เหล็กของขดลวดโซลินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 13/11/2558 อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้มีสนามแม่เหล็กของขดโลซินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น ------------------------------------------------------------- แก้ไขบทสรุปการประดิษฐ์ 29/10/2558 อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกันโดยจำนวนของท่อชั้นในและชั้นถัดออกมาสามารถมีได้ไม่จำกัด โดยอาจมีเพียงท่อ ชั้นในชั้นเดียวภายในท่อชั้นนอกสุด หรืออาจมีได้หลายๆชั้นระหว่างท่อชั้นในสุดกับท่อชั้นนอกสุด และ เพื่อให้มีการส่งผ่านพลาสมาได้ดีขึ้นจะมีการติดตั้งขดลวดโซลินอยด์ หรือ ขดลวดแม่เหล็ก ไฟฟ้าล้อมรอบท่อชั้นนอกสุดเอาไว้ เพื่อให้สนามแม่เหล็กของขดลวดโซลินอยด์เป็นตัวนำพา ไอออนผ่านออกไปจากระบบกรองได้สะดวกยิ่งขึ้น ------------------------------------------------------------------------------------- อุปกรณ์เพื่อกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อนขนานกันข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แก้ไข 5 พฤษภาคม 2560 1) อุปกรณ์กรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อน ขนานกัน ประกอบด้วย อาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์ (101) ที่ติดตั้งวัสดุเป้า (102) เป็นคาโธดเพื่อ จ่ายสารที่ต้องการออกมา ในรูปของพลาสมาและอนุภาคต่างๆ โดยพลาสมาและอนุภาคต่างๆที่ เกิดขึ้นนั้นจะพุ่งขึ้นไปตามแนวลูกศรเข้าสู่ท่อที่เรียงซ้อนขนานกัน โดยมีลักษณะพิเศษคือมีท่อ ชั้นใน (105) ซึ่งโปร่งใสต่อลำพลาสมาในเส้นแนวสายตา (line of sight) ที่ตั้งฉากอยู่กับระนาบด้านหน้า ของคาโทด สำหรับการกรองอนุภาแท็ก :
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020177000008U KR200487382Y1 (ko) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | 음극 아크 플라즈마 증착 시스템에 사용되는 아크 이온 증발기용 필터 장치 |
| JP2017600061U JP3211579U (ja) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | 陰極アークプラズマ蒸着システム内で使用するアークイオン蒸発器のフィルタ装置 |
| PCT/TH2014/000053 WO2016022078A1 (en) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | Filter apparatus for arc ion evaporator used in cathodic arc plasma deposition system |
| US15/501,598 US10128091B2 (en) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | Filter apparatus for arc ion evaporator used in cathodic arc plasma deposition system |
| CN201490001531.6U CN207489804U (zh) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | 阴极电弧等离子体沉积系统中使用的电弧离子蒸发器的过滤装置 |
| DE212014000271.0U DE212014000271U1 (de) | 2014-08-04 | 2014-12-08 | Filtervorrichtung für einen Lichtbogen-Ionenverdampfer einer kathodischen Lichtbogen-Plasmabeschichtungsanlage |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH175829A true TH175829A (th) | 2018-05-17 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CL2017001162A1 (es) | Sistema para generar y mantener un campo magnetico con una configuracion de campo invertida (frc) (divisional sol. 1188-2014) | |
| EP3175474A4 (en) | Ion funnel for efficient transmission of low mass-to-charge ratio ions with reduced gas flow at the exit | |
| EA201790940A1 (ru) | Системы и способы формирования и поддержания высокоэффективной конфигурации с обращенным полем | |
| WO2013181521A3 (en) | Source reagent-based delivery of fluid with high material flux for batch deposition | |
| JP2017535040A5 (th) | ||
| EA201690643A1 (ru) | Системы и способы формирования и поддержания высокоэффективной конфигурации с обращенным полем | |
| BR112015032134A2 (pt) | sistema de filtração de sangue contendo substrato revestido de manose | |
| WO2014194172A3 (en) | Time of flight tubes and methods of using them | |
| NZ720820A (en) | Plasmapheresis device | |
| WO2017058949A8 (en) | Systems and methods for collecting a species | |
| RU2012103666A (ru) | Фильтр для дугового источника | |
| NZ709732A (en) | Mass spectrometer with optimized magnetic shunt | |
| WO2014140546A3 (en) | Toroidal trapping geometry pulsed ion source | |
| MY192803A (en) | Deionized water manufacturing system, electrodeionization device, and method for manufacturing deionized water | |
| JP2016114525A5 (th) | ||
| TH175829A (th) | การกรองพลาสมาจากอาร์คไอออนอิแวพอเรเตอร์โดยการใช้ท่อที่เรียงซ้อนขนานกัน | |
| NZ709734A (en) | Mass spectrometer with improved magnetic sector | |
| GB2526234A (en) | Tubular structure component with patterned resistive film on interior surface and systems and methods | |
| NZ721504A (en) | Separator for removing particulate material, hydrophobic material, non-polar material, microorganisms and viruses from water or polar liquids | |
| WO2014136063A3 (en) | Systems and methods for generating and collecting reactive species | |
| EP3958723C0 (en) | FIELD STOP FLUORESCENCE INDICATOR SYSTEM | |
| ES1147908U (es) | Precipitador electrostático autoregenerable | |
| MX367418B (es) | Generador de neutrones para la ionizacion de campo. | |
| WO2013002954A3 (en) | Windowless ionization device | |
| JP2014524111A5 (th) |