TH173499A - แหล่งพลาสมาชนิดแคโทดกลวง - Google Patents

Claims (1)

: ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :

1. แหล่งพลาสมาชนิดแคโทดกลวง (hollow cathode plasma source) ซึ่งประกอบรวมด้วย ขั้วไฟฟ้า (electrode) ที่หนึ่ง (1) และขั้วไฟฟ้าที่สอง (2) ขั้วไฟฟ้าแต่ละขั้วประกอบรวมด้วยโพรง ยาว (elongated cavity) (4) ที่ซึ่งแคโทดยาวขนานกันไปเป็นอย่างยิ่ง ที่ซึ่งขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและที่สอง (1,2) ทั้งสองขั้วมีทางเข้าแก๊ส (gas inlet) สำหรับแก๊สที่เกิด เป็นพลาสมา (plasma forminแท็ก :