TH14465B - แถวลำดับกระจกเคลือบฟิล์มบางและวิธีเพื่อการผลิต - Google Patents

Abstract

ชุดกระจกเคลือบฟิล์มบางขนาด M x N รวมถึงเมตริกซ์เอคตีพที่มีชั้นฐานกับชุดปลายทางการต่อเชื่อม ขนาด M x N และชุดของทรานซิสเตอร์ขนาด M x N และชุดโครงสร้างการกระตุ้นขนาด M x N ซึ่งในที่นี้ โครงสร้างการกระตุ้นแต่ละตัวเป็นโครงสร้างไบมอร์ฟ รวมถึงขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง ชุดเคลื่อนย้ายทางไฟฟ้า ด้านล่าง ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางส่วนกลาง ชุดเคลื่อนย้ายทางไฟฟ้าด้านบนและขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่ง นอกจากนี้ มีการเปิดเผยระเบียบวิธีสำหรับการผลิต ระเบียบวิธีประกอบด้วยขั้นตอนของ การจัดให้มี เมตริกซ์เอคตีพ การจัดวางชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียบนส่วนบนสุดของเมตริกซ์เอคตีพ การเลือกนำชั้นฟิล์มบางที่ ยอมเสียออก การจัดวางชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สองบนนั้น การเลือกนำชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สองอออก การ สะสมชั้นเคลื่อนย้ายทางไฟฟ้าด้านล่าง การจัดวางชั้นขั้วไฟฟ้าส่วนกลาง การสะสมชั้นเคลื่อนย้ายทางไฟฟ้า ด้านบน การจัดวางชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่ง อันเป็นผลให้มีการเกิดเป็นโครงสร้างหลายชั้น การจัดรูปแบบ โครงสร้างหลายชั้นเข้าเป็นชุดโครงสร้างการกระตุ้นกึ่งสำเร็จขนาด M x N และการนำชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสีย ออก

Claims (1)

1. แถวลำดับของกระจกเคลือบฟิล์มบางขนาด M x N ซึ่งในที่นี้ M และ N เป็นจำนวนเต็ม สำหรับใช้ในระบบการฉายภาพใช้แสง โดยที่กระจกเคลือบฟิล์มบางแต่ละตัวมีโครงสร้างแบบ ไบมอร์ฟ แถวลำดับประกอบด้วย : เมตริกซ์เอคตีพที่มีผิวด้านบนสุดและรวมถึงชั้นฐานกับแถวลำดับ ขั้วเชื่อมต่อขนาด M x N และแถวลำดับทรานซิสเตอร์ขนาด M x N และแถวลำดับโครงสร้างการ กระตุ้นขนาด M x N แต่ละส่วนของโครงสร้างการกระตุ้นมีปลายด้านใกล้และไกล แต่ละส่วนโครง สร้างการกระตุ้นรวมถึงขั้วไฟฟ้าฟลิม์บางที่สองเพื่อการทำหน้าที่เป็นขั้วไฟฟ้าไบแอสที่สอง, ชิ้นส่วน เคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่างที่มีผิวด้านบนสุดและด้านล่างสุด, ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางส่วนกลางเพื่อการทำ หน้าที่เป็นขั้วสัญญาณ, ชิ้นส่วนเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบนที่มีผิวด้านบนสุดและด้านล่างสุดและขั้วไฟ ฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่งเพื่อการทำหน้าที่เป็นกระจก และเป็นขั้วไฟฟ้าไบแอสที่หนึ่ง, ซึ่งในที่นี้ชิ้นส่วน เคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบนและด้านล่างได้รับการแยกโดยขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางส่วนกลาง ขั้วไฟฟ้าฟิล์ม บางที่หนึ่งได้รับการวางอยู่บนผิวส่วนบนสุดของชิ้นส่วนเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบน ขั้วไฟฟ้าฟิล์ม บางที่สองมีที่ตั้งอยู่บนผิวด้านล่างของชิ้นส่วนเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่าง ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางส่วนกลาง ได้รับการต่อเชื่อมทางไฟฟ้ากับทรานซิสเตอร์แต่ละตัว ผ่านขั้วเชื่อมต่อแต่ละตัว และปลายใกล้ของ โครงสร้างการกระตุ้นแต่ละตัวแนบติดกับผิวด้านบนสุดของเมตริกซ์เอคตีพเพื่อที่จะเป็นผลให้เกิด กระจกเคลือบฟิล์มบางที่มีโครงสร้างแบบไบมอร์ฟ 2. แถวลำดับของข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งในที่นี้ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่งได้รับการต่อเชื่อมทางไฟฟ้า กับขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง 3. วิธีสำหรับการผลิตแถวลำดับของกระจกเคลือบฟิล์มบางขนาด M x N ซึ่งในที่นี้ M และ N เป็นจำนวนเต็มสำหรับใช้ในระบบการฉายภาพใช้แสง โดยที่กระจกเคลือบฟิล์มบางแต่ละตัวมีโครงสร้าง แบบไบมอร์ฟ วิธีประกอบด้วยขั้นตอนของ : การจัดให้มีเมตริกซ์เอคตีพที่มีผิวด้านบนสุด ซึ่งเมตริกซ์ เอคตีพรวมถึงชั้นฐานกับแถวลำดับทรานซิสเตอร์ขนาด M x N และแถวลำดับขั้วเชื่อมต่อขนาด M x N, การเคลือบชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียบนผิวด้านบนสุดของเมตริกซ์เอคตีพ, การนำส่วนของชั้น ฟิล์มบางที่ยอมเสียที่อยู่บนสุดของขั้วเชื่อมต่อบนเมตริกซ์เอคตีพ แต่ละตัวออก, การสร้างชั้นขั้วไฟฟ้า ฟิล์มบางที่สองที่ทำขึ้นด้วยวัสดุตัวนำทางไฟฟ้าที่สองบนส่วนของเมตริกซ์เอคตีพที่รวมถึงชั้นฟิล์ม บางที่ยอมเสีย, การนำส่วนของชั้นไฟฟ้าฟิล์มบางที่สองซึ่งอยู่ส่วนบนของขั้วเชื่อมต่อแต่ละตัว ในเมตริกซ์เอคตีพออก, การเคลือบชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่างบนด้านบนสุดของเมตริกซ์เอคตีพ และชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง, การสร้างแถวลำดับของรูขนาด M x N โดยที่แต่ละรูมีผิวภายในและ มีความยาวจากส่วนบนของชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่างถึงส่วนบนสุดของขั้วเชื่อมต่อแต่ละตัว การสร้างชั้นขั้วไฟฟ้าส่วนกลางทำขึ้นด้วยวัสดุตัวนำทางไฟฟ้าที่หนึ่ง บนส่วนบนสุดของชั้น เคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่าง รวมถึงผิวด้านในของรูแต่ละรู การเคลื่อนชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบน บนส่วนบนสุดของชั้นขั้วไฟฟ้าส่วนกลางในขณะที่ มีการเติมเต็มรู การสร้างชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่งทำขึ้นด้วยวัสดุที่มีการนำทางไฟฟ้าและสะท้อนแสงบน ส่วนบนของชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบน อันเป็นผลให้เกิดโครงสร้างหลายชั้น รวมถึงชั้นขั้วไฟฟ้า ฟิล์มบางที่หนึ่ง, ชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบน, ชั้นขั้วไฟฟ้าส่วนกลาง, ชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้าน ล่าง และชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง การวางรูปแบบโครงสร้างแบบหลายชั้นเข้าสู่แถวลำดับโครงสร้างการกระตุ้นขนาด M x N แบบกึ่งสำเร็จ ซึ่งในที่นี้แต่ละโครงสร้างการกระตุ้นแบบกึ่งสำเร็จ รวมถึงขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่ง, ด้านชิ้นส่วนเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าบน ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางส่วนกลาง ชิ้นส่วนเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านล่าง และขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง และการนำชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียออกเพื่อทำให้เกิดแถวลำดับกระจก เคลือบฟิล์มบางขนาด M x N 4. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบนและด้านล่างทำขึ้นด้วยวัสดุเชิง ผลึกที่ไม่สมมาตร 5. วิธีของข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งในที่นี้วัสดุที่เป็นเชิงผลึกที่ไม่สมมาตรคือ ZnO 6. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบนและด้านล่างได้รับการสร้าง ขึ้นในความหนา 0.1-2 ไมโครเมตร 7. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นเคลื่อนที่ด้วยไฟฟ้าด้านบนและด้านล่างได้รับการสร้าง ขึ้นโดยการใช้วิธีแบบไอสุญญากาศ หรือระเบียบวิธีแบบสปัทเทอริ่ง 8. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียทำขึ้นด้วยออกไซด์หรือพอลิเมอร์ 9. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสีย ได้รับการสร้างขึ้นโดยการใช้วิธี แบบสปัทเทอริ่งหรือแบบไอสุญญากาศ ถ้าชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียทำขึ้นด้วยออกไซด์ และวิธีแบบปั่น เคลือบ ถ้าชั้นฟิล์มบางที่ยอมเสียทำขึ้นด้วยพอลิเมอร์ 1 0. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่ง, ที่สอง, และส่วนกลางได้รับ การสร้างขึ้นโดยการใช้วิธีแบบสปัทเทอริ่ง หรือแบบไอสุญญากาศ 1

1. วิธีของข้อถือสิทธิ 3 ซึ่งในที่นี้ชั้นขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่สอง, ชั้นขั้วไฟฟ้าส่วนกลางและชั้น ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางที่หนึ่งอยู่ในรูปความหนา 0.1-2 ไมโครเมตร