เครื่องมือสำหรับกระทำด้วยพลาสมามีประโยชน์สำหรับการเคลือบสับสเตรทเข้ากับฟิล์มบางที่มีสมบัติเป็นขั้นกั้นโอในอัตราการพอกพูนที่ค่อนข้าเร็ว เครื่องมือนี้ประกบด้วยห้องทำปฏิกิริยาที่เอาอากาศออกได้ อีเลคโทรดพลังไฟฟ้าที่กำหนดพื้นผิวที่หันหน้าเข้หาพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยาและส่วนกำบังที่กั้นเป็นช่องที่มีระยะห่าง ตามขวางจากพื้นผิวที่หันหน้าเชข้หาพลาสมา ในช่วงระหว่างการกระทำด้วยพลาสมาพลาสมาจะได้รักบารกัดให้อยู่ห่างในระยะ ในขณะที่มีการป้อนสับสเตรทอย่างต่อเนื่องสู่พลาสมาที่ได้รับการกักไว้ The plasma processing tool is useful for the substrate coating to thin films with barrier properties, at a relatively fast deposit rate. The instrument is coupled with an airtight reaction chamber. Electrodes designated for plasma-facing surfaces within the reacting chamber and spaced barrier shields. Across from the surface facing the plasma During plasma action, the plasma is kept at a distance of While the substrate is continuously fed to the entrapped plasma.
Claims (1)
1.เครื่องมือสำหรับกระทำด้วยพลาสมาที่ประกอบด้วย ห้องทำปฏิกิริยาที่ระบายอากาศออกได้; อุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยา โดยอุปกรณ์สำหรับสร้างพลาสมาประกอบด้วยอีเลคโรดที่ทำงานด้วยไฟฟ้าที่กำหนดพื้นผิวที่อยู่ประชิดกับพลาสมาภายในห้องทำปฏิกิริยา อุปกรณ์สำหรับเชื่อมต่อไฟฟ้าจากอีเลคโรดไปยังสับสเทรตหนึ่ง ๆ เสมื่อสับสเท:1. a plasma device consisting of Ventilated reaction chamber; A device for generating plasma in the reaction chamber The plasma-generating device consists of an electrically activated electrode directed to the surface of the plasma in the reaction chamber. A device for connecting electricity from the electrode to a substrate.
TH9201001181A1992-08-25
Agile Plasma Action Instruments and Methods
TH14372EX
(en)