TH13170B - ระเบียบวิธีสำหรับการก่อรูปแถวในแนวนอนของชิ้นฟิล์มบางที่แยกจากกันเป็นบางส่วน - Google Patents

Abstract

ระเบียบวิธีสำหรับการลดทอนการเสียหายเนื่องจากการหยิบจับชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางลงจนเหลือน้อยที่สุด ระเบียบวิธีที่ได้รับการเผยไว้จะบรรยายถึงการก่อรูปแถวในแนวนอนของตัวเลือนสำเร็จรูปที่ได้รับการกำหนดเขตโดขระเบียบวิธีหนึ่งของระเบียบวิธีสองระเบียบวิธีดังที่ตามมานี้ การดำเนินการกับแผ่นเวเฟอร์ หรือ การดำเนินการกับแถวในแนวนอน เพื่อการก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดขึ้นมาในบริเวณระหว่างชิ้นส่วนอุปกรณ์ รอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดที่ได้จะคงโรงสร้างแถวในแนวนอนไว้ในสภาพเดิมในภายหลังจากการประดิษฐ์สร้าง สำหรับ ตัวอย่างเช่น การตรวจสอบ และ การบรรจุห่อ แต่จะทำให้มีความง่ายในการแยกตัวเลื่อนสำเร็จรูปออกมาในเวลาก่อนที่จะทำการประกอบ

Claims (5)

1.ระเบียบวิธีของการดำเนินการกับแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ การก่อรูปปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดขึ้นมาในแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางที่แยกมาจากแผ่นเวเฟอร์ในบริเวณระหว่างชิ้นส่วนเพื่อการก่อรูปโครงสร้างแถวในแนวนอนที่เคลื่อนย้ายได้ที่ยังไม่ขาดออกจากกันขึ้นมา ที่ซึ่งชิ้นส่วนนั้นสามารถแยกออกมาจากแถวในแนวนอนได้โดย การกระทำด้วยแรงเพื่อการแยกออกที่น้อย ณ รอยตัดแบบไม่ขาดออกหมด โดยโครงสร้างที่ยังไม่ขาดออกจากกันทำให้มีการคุ้มกันชิ้นส่วนจากความเสียหายโดยการจับถือในการประดิษฐ์สร้างในภายหลังที่ดีกว่าที่ได้มาโดยชิ้นส่วนที่ตัดแยกออกเป็นชิ้นๆ 2.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้า พื้นผิวด้านหลัง และพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไป โดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอน และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดประกอบรวมด้วยร่องจำนวนหนึ่งที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาตามแนวของพื้นผิวด้านบนที่ยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง โดยชิ้นส่วนยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ตามแนวของพื้นผิวด้านล่าง 3.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกมหดประกอบรวมต่อไปอีกด้วยร่องจำนวนหนึ่งที่ได้รับการก่อรูปขึ้นมาตามแนวของพื้นผิวด้านล่าง โดยร่องแต่ละร่องอยู่ในแนวเดียวกันอย่างเป็นสำคัฐกับร่องของพื้นผิวด้านบน และยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลังโดยชิ้นส่วนยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ระหว่างคู่ของร่องที่อยู่ในแนวเดียวกันอย่างเป็นสำคัญ 4.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนประกอบด้วยพิ้นผิวด้านหน้า พื้นผิวด้านหลังและพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไปโดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอน และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมด ได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการตัดร่องหยักที่หนึ่งจำนวนหนึ่งขึ้นมาในแถวในแนวนอนซึ่งยืนจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง 5.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 4 ประกอบรวมต่อไปอีกด้วยขั้นตอนของ การตัดร่องหยักที่สองจำนวนหนึ่งขึ้นมาในแถวในแนวนอนซึ่งยื่นจากพื้นผิวด้านหลังไปยังร่องหยักหนึ่งที่สอดคล้องกันของร่องหยักที่ยื่นจากพื้นผิวด้านหน้า โดยชิ้นส่วนยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ระหว่างคู่แต่ละคู่ของร่องหยักด้านหน้าและด้านหลัง 6.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้า พื้นผิวด้านหลัง และพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไป โดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอน และที่ซึ่งการก่อรูปปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดประกอบรวมต่อไปอีกด้วยขั้นตอนของการก่อรูปปรอยตัดจำนวนหนึ่งที่มีความลึกที่แปรเปลี่ยนไปใจนพื้นผิวด้านบน ซึ่งรอยตัดยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง โดยชิ้นส่วนยังคงเชื่อมกันตามแนวของพื้นผิวด้านล่าง 7.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งความลึกของรอยตัดแต่ละรอยตัดจะค่อยๆลดน้อยลงและจากนั้นค่อยๆเพิ่มมากขึ้นจากพื้นผิวด้านหน้าไปสู่พื้นผิวด้านหลัง 8.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการกลึง การกัดด้วยไอออน การกลึงแบบอัลทราโซนิก การตัดด้วยเลเซอร์ การใช้ใบมีดกลึงที่เรียวเล็กลง หรือการแกะด้วยไอออนเชิงปฏิกิริยา 9.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งชิ้นส่วนประกอบรวมต่อไปอีกด้วยตัวเลื่อน 1 0.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้ 1 ที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางประกอบรวมต่อไปอีกด้วยทรานสดิวเซอร์ 1 1.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 10 ที่ซึ่งทรานสดิวเซอร์ประกอบรวมด้วยหัวบันทึกแม่เหล็ก 1 2.ระเบียบวิธีสำหรับการก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขากออกหมดในแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิลืมบางประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ การก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดขึ้นระหว่างแถวในแนวตั้งแต่ละแถวของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางขึ้นบนแผ่นแวเฟอร์ที่มีพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง โดยพื้นผิวราบพื้นผิวที่หนึ่งประกอบด้วยชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งที่ได้รับก่อรูปขึ้นมาบนนั้นในลักษณะเป็นตารางของแถวในแนวนอนและแถวในแนวตั้ง และ การตัดเฉือนแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจากแผ่นเวเฟอร์เพื่อการผลิตโคงสร้างแถวในแนวนอนที่เคลื่อนย้ายได้ที่ซึ่งไม่ขาดออกจากกันขึ้นมาจำนวนหนึ่ง ที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางนั้นสามารถแยกออกจากแถวในแนวนอนได้โดยการกระทำด้วยแรงเพื่อการแยกออกที่น้อย ณ รอยตัดแบบไม่ขาดออกหมด และที่ซึ่งโครงสร้างทำให้มีการคุ้มกันชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจากความเสียหายโดยการจับถือในการประดิษฐ์สร้างในภายหลังที่ดีกว่าที่ได้มาโดยชิ้นส่วนที่ตัดแยกออกเป็นชิ้นๆ 1 3.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 12 ประกอบรวมต่อไปอีกด้วยยขั้นตอนของการก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดขึ้นมาระหว่างแถวในแนวตั้งแต่ละแถวของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางบนพื้นผิวราบพื้นผิวที่สอง ก่อนการตัดเฉือยแถวในแนวนอน 1 4.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการกลึง การกัดด้วยไอออน การกลึงแบบอัลทราโซนิก การตัดด้วยเลเซอร์ การใช้ใบมีดกลึงที่เรียวเล็กลง หรือการแกะด้วยไอออนเชิงปฏิกิริยา 1 5.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งชิ้นส่วนประกอบแบบฟิล์มบางประกอบรวมต่อไปอีกด้วยเลื่อน 1 6.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 12 ที่ซึ่งชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางแต่ละชิ้นประกอบต่อไปอีกด้วยทรานสดิวเซอร์ 1 7.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 16 ที่ซึ่งทรานสดิวเซอร์ประกอบรวมด้วยหัวบันทึกแม่เหล็ก 1 8.ระเบียบวิธีสำหรับการก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขาดออกในแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบาง ประกอบรวมด้วยขั้นตอนของ การตัดเฉือนแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจากแผ่นเวเฟอรืที่ประกอบด้วยพื้นผิวราบพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง และชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งได้รับการก่อรูปขึ้นมาบนพื้นผิวราบพื้นผิวที่หนึ่งในลักษณะเป็นตารางของแถวในแนวนอนและแถวในแนวตั้ง และ การก่อรูปรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดขึ้นมาในแถวในแนวนอนของชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางอย่างน้อยที่สุดหนึ่งแถว เพื่อการผลิตโครงสร้างแถวในแนวนอนที่เคลื่อนย้าย ได้ที่ยังไม่ขาดออกจากกันขึ้นมาที่ซึ่งชิ้นส่วนนั้นสามารถแยกออกมาจากแถวในแนวนอนได้โดยการกระทำด้วยแรงเพื่อการแยกออกที่น้อย ณ รอยตัดแบบไม่ขาดออกหมด และที่ซึ่งโครงสร้างแถวในแนวนอนทำให้มีการคุ้มกันชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจากความเสียหายโดยการจับถือในการประดิษฐ์สร้างในภายหลัง ที่ดีกว่าที่ได้มาโดยชิ้นส่วนที่ตัดแยกออกเป็นชิ้นๆ 1 9.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนไประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้าที่มีชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งก่อรูปขึ้นมาข้างบนนั้น พื้นผิวด้านหลังและพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไปโดยตลอดทั้งความยางของแถวในแนวนอน และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการก่อรูปร่องขึ้นมาตามแนวของพื้นผิวด้านบนระหว่างชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางแต่ละชิ้น โดยร่องแต่ละร่องยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง โดยชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ตามแนวของพื้นผิวด้านล่าง 2 0.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 19 ประกอบรวมต่อไปอีกด้วยขั้นตอนของการก่อรูปร่องขึ้นมาตามแนวของพื้นผิวด้านล่างระหว่างชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางแต่ละชิ้นโดยร่องแต่ละร่องยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง โดยชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ระหว่างร่องด้านบนและด้านล่าง 2

1.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการกลึง การกัดด้วยไอออน การกลึงแบบอัลทราโซนิก การตัดด้วยเลเซอร์ การใช้ใบมีดกลึงที่เรียวเล็กลง หรือการแกะด้วยไอออนเชิงปฏิกิริยา 2

2.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนแต่ละแถวประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้า ที่มีชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งก่อรูปขึ้นมาข้างบนนั้น พื้นผิวด้านหลัง และพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไปโดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอน และพื้นผิวด้านปลายพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการตัดร่องหยักขึ้นมาระหว่างชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางแต่ละชิ้นของแถวในแนวนอนจากพื้นผิวด้านหน้าไปสู่พื้นผิวด้านหลัง 2

3.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนแต่ละแถวประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้าที่มีชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งก่อรูปขึ้นมาข้างบนนั้น พื้นผิวด้านหลังและพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่นไปโดยตลอดทั้งความยาวแถวในแนวนอนและพื้นผิวด้านปลายพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดย การตัดร่องหยักที่หนึ่งจำนวนขึ้นมาในแถวในแนวนอนซึ่งยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปสู่พื้นผิวด้านหลัง การตัดร่องหยักที่สองจำนวนหนึ่งขึ้นมาในแถวในแนวนอนซึ่งยื่นจากพื้นผิวด้านหลังไปสู่ร่องหยักหนึ่งที่สอดคล้องกันของร่องหยักที่ยื่นจากพื้นผิวด้านหน้า โดยชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางยังคงเชื่อมต่อกันอยู่ระหว่างคู่ของร่องหย่อกด้านหน้าและด้านหลัง 2

4.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งแถวในแนวนอนแต่ละแถวประกอบด้วยพื้นผิวด้านหน้าที่มีชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางจำนวนหนึ่งก่อรูปขึ้นมาบนนั้น พื้นผิวด้านหลังและพื้นผิวด้านบนและด้ายล่างซึ่งยื่นไปโดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอนและพื้นผิวด้านปลายพื้นผิวด้านบนและด้านล่างซึ่งยื่น ไปโดยตลอดทั้งความยาวของแถวในแนวนอนและพื้นผิวด้านปลายพื้นผิวด้านบนและพื้นด้านปลายพื้นผิวที่หนึ่งและที่สอง และที่ซึ่งรอยตัดแบบไม่ขาดออกหมดได้รับการก่อรูปขึ้นมาโดยการก่อรูปรอยตัดขึ้นมาในพื้นผิวด้านบนระหว่างชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางแต่ละชิ้น โดยรอยตัดยื่นจากพื้นผิวด้านหน้าไปสู้พื้นผิวด้านหน้าไปสู่พื้นผิวด้านหลังและมีความลึกที่แปรเปลี่ยนไปจากพื้นผิวด้านหน้าไปยังพื้นผิวด้านหลัง โดยชิ้นส่วนแบบฟิล์มบางยังคงเชื่อมต่อกันตามแนวของพื้นผิวด้านล่าง 2

5.ระเบียบวิธีของข้อถือสิทธิข้อ 24 ที่ซึ่งความลึกของรอยตัดแต่ละรอยตัดจะค่อยๆ ลดน้อยลงและจากนั้นค่อยๆ เพิ่มมากขึ้นจากพื้นผิวด้านหน้าไปสู่พื้นผิวด้านหลัง