TH1301006653B - วิธีการสำหรับการตกสะสมชั้นบนซับสเทรทกระจกโดยอาศัย pecvd แบบความดันต่ำ - Google Patents

วิธีการสำหรับการตกสะสมชั้นบนซับสเทรทกระจกโดยอาศัย pecvd แบบความดันต่ำ

Info

Publication number
TH1301006653B
TH1301006653B TH1301006653A TH1301006653A TH1301006653B TH 1301006653 B TH1301006653 B TH 1301006653B TH 1301006653 A TH1301006653 A TH 1301006653A TH 1301006653 A TH1301006653 A TH 1301006653A TH 1301006653 B TH1301006653 B TH 1301006653B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
low
layer deposition
glass substrates
substrates based
pressure pecvd
Prior art date
Application number
TH1301006653A
Other languages
English (en)
Other versions
TH146142A (th
Inventor
สติจ์นทิกซ์ฮอน เอริคแวน สติวเวนเบิร์ก มาร์ตินวีเอม ฮูเกส มาฮิว
Original Assignee
เอจีซี กลาสส์ ยุโรป
Filing date
Publication date
Application filed by เอจีซี กลาสส์ ยุโรป filed Critical เอจีซี กลาสส์ ยุโรป
Publication of TH1301006653B publication Critical patent/TH1301006653B/th
Publication of TH146142A publication Critical patent/TH146142A/th

Links

TH1301006653A 2012-05-24 วิธีการสำหรับการตกสะสมชั้นบนซับสเทรทกระจกโดยอาศัย pecvd แบบความดันต่ำ TH146142A (th)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH1301006653B true TH1301006653B (th) 2016-03-04
TH146142A TH146142A (th) 2016-03-04

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SG10201401901WA (en) Glass for substrate, and glass substrate
FI20116048A (fi) Menetelmä NFC-kalvojen valmistamiseksi alustoille
SG2013083654A (en) Methods for depositing films on sensitive substrates
EP2835836A4 (en) OPTICAL SUBSTRATE, SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING ELEMENT, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR LIGHT EMITTING ELEMENT
BR112013030190A2 (pt) substrato de vidro transparente tendo um revestimento de camadas consecutivas
CR20130437A (es) Métodos y sistemas de revestimiento para sustratos granulados
EP2804207A4 (en) METHOD FOR PRODUCING A TFT ARRAY SUBSTRATE
EP2840110A4 (en) METHOD FOR MANUFACTURING HARD-COATING FILM
EP2908353A4 (en) OPTICAL SUBSTRATE, LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
TWI563106B (en) Organic layer deposition apparatus, and method of manufacturing organic light emitting display apparatus using the same
BR112014015994A2 (pt) processo.
HUE042369T2 (hu) Eljárás rétegek üveg szubsztrátra történõ leválasztására alacsony nyomású PECVD eljárással
TWI560309B (en) Film deposition method
PL2753418T3 (pl) Powłoki powierzchniowe
EP2774895A4 (en) GLASS SUPPLY AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
EP2879176A4 (en) PROCESS FOR PRODUCING HYBRID SUBSTRATES AND HYBRID SUBSTRATE
EP2790215A4 (en) SUBSTRATE FOR A HIGH CAPACITY MODULE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SUBSTRATE
WO2014063670A3 (de) Verfahren zur herstellung einer nanoporösen schicht auf einem substrat
SG11201504269TA (en) Method for cleaning glass substrate
EP3067438A4 (en) Method for forming intermediate layer formed between substrate and dlc film, method for forming dlc film, and intermediate layer formed between substrate and dlc film
FI20125986A (fi) Menetelmä funktionaalisten kerrosten muodostamiseksi piisubstraateille
EP2775808A4 (en) METHOD FOR MANUFACTURING A SUBSTRATE HAVING AN INTEGRATED COMPONENT, AND SUBSTRATE HAVING AN INTEGRATED COMPONENT MANUFACTURED BY SAID METHOD
EP2879177A4 (en) PROCESS FOR PRODUCING SOS SUBSTRATES AND SOS SUBSTRATE
DK2785310T3 (da) Fremgangsmåde til øget fotoepilering baseret på metalliske nanopartikler.
EP2763517A4 (en) Substrate Preparation Process