TH115273A - วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อ - Google Patents
วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อInfo
- Publication number
- TH115273A TH115273A TH1101001430A TH1101001430A TH115273A TH 115273 A TH115273 A TH 115273A TH 1101001430 A TH1101001430 A TH 1101001430A TH 1101001430 A TH1101001430 A TH 1101001430A TH 115273 A TH115273 A TH 115273A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- connection
- substrate
- interest
- dimensional
- examined
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการ เชื่อม ต่อ ในรูปลักษณะหนึ่ง วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตอาจจะถูกจัดให้มี ขึ้น วิธีการอาจรวมถึงการจัดให้มีสับสเตรตที่มีส่วนที่เป็นโครงสร้างในการเชื่อมต่อที่จะถูก ตรวจ สอบ, การตัดสินกำหนดภาพสามมิติภาพหนึ่งหรือมากกว่านั้นที่มีส่วนที่เป็นบริเวณที่กำหนดไว้แล้วที่สน ใจบริเวณหนึ่งหรือหลายบริเวณของโครงสร้างในการเชื่อมต่อหลายส่วนที่จะถูกตรวจสอบ โดยที่บริเวณที่ กำหนดไว้แล้วที่สนใจจะสอดคล้องกับบริเวณอ้างอิงที่สนใจในตัวแบบอ้างอิงที่กำหนดไว้ก่อนแล้วที่จัด เก็บไว้ของโครงสร้างในการเชื่อมต่อที่ใช้อ้างอิงของสับสเตรตอ้างอิง, การตัดสินกำหนด พารามิเตอร์บอก ลักษณะเด่นสองมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่านั้น และพารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นสามมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่า นั้นของโครงสร้างในการเชื่อมต่อที่จะถูกตรวจสอบจากบริเวณที่กำหนดไว้แล้วที่สนใจบริเวณหนึ่งหรือ มากกว่านั้นจากหลายบริเวณ, และการตัดสินกำหนดว่าพารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นที่ถูกตัดสินกำหนด เป็นไปตามเงื่อนไขด้านคุณภาพที่กำหนดไว้ก่อนแล้วอย่างน้อยข้อหนึ่งเมื่อพิจารณาจากตัวแบบอ้างอิง หรือไม่ รูปที่ 15 วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการ เชื่อม ต่อ ในรูปลักษณะหนึ่ง วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตอาจจะถูกจัดให้มี ขึ้น วิธีการอาจรวมถึงการจัดให้มีสับสเตรตที่มีส่วนที่เป็นโครงสร้างในการเชื่อมต่อที่จะถูก ตรวจ สอบ, การตัดสินกำหนดภาพสามมิติภาพหนึ่งหรือมากกว่านั้นที่มีส่วนที่เป็นบริเวณที่กำหนดไว้แล้วที่สน ใจบริเวณหนึ่งหรือหลายบริเวณของโครงสร้างในการเชื่อมต่อหลายส่วนที่จะถูกตรวจสอบ โดยที่บริเวณที่ กำหนดไว้แล้วที่สนใจจะสอดคล้องกับบริเวณอ้างอิงที่สนใจในตัวแบบอ้างอิงที่กำหนดไว้ก่อนแล้วที่จัด เก็บไว้ของโครงสร้างในการยึดประสานที่ใช้อ้างอิงของสับสเตรตอ้างอิง, การตัดสินกำหนด พารามิเตอร์บอก ลักษณะเด่นสองมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่านั้น และพารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นสามมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่า นั้นของโครงสร้างในการเชื่อมต่อที่จะถูกตรวจสอบจากบริเวณที่กำหนดไว้แล้วที่สนใจบริเวณหนึ่งหรือ มากกว่านั้นจากหลายบริเวณ, และการตัดสินกำหนดว่าพารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นที่ถูกตัดสินกำหนด เป็นไปตามเงื่อนไขด้านคุณภาพที่กำหนดไว้ก่อนแล้วอย่างน้อยข้อหนึ่งเมื่อพิจารณาจากตัวแบบอ้างอิง หรือไม่ รูปที่ 15
Claims (8)
1. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ถึง 20 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่พารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นสองมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่านั้นจะประกอบด้วยลักษณะเด่นที่ เลือกจากกลุ่มที่ประกอบด้วย จุดอ้างอิงทั่วทุกส่วน จุดอ้างอิงเฉพาะที่ ส่วนที่ใช้จัดส่วนเชื่อมสายต่อ ความกว้างในการเชื่อมต่อ ความยาวของส่วนท้าย ตำแหน่งของแม่แบบ แนวทิศของแม่แบบ ตำแหน่งของแผ่นเชื่อมต่อ ส่วนที่ใช้จัดวางลวด ความกว้างของส่วนเชื่อมสายต่อ ข้อบกพร่องบนผิวหน้าของดาย ส่วนที่ใช้จัดวางดาย และ ส่วนท้ายที่ยาว 2
2. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ถึง 21 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่พารามิเตอร์บอกลักษณะเด่นสามมิติหนึ่งตัวหรือมากกว่านั้นจะประกอบด้วยลักษณะเด่นที่เลือกจาก กลุ่มที่ประกอบด้วย ความสูงอ้างอิงทั่วทุกส่วน ความสูงอ้างอิงเฉพาะที่ ความเอียงของดายโดยปริยาย ความเอียงของดาย ความสูงของวงวนของลวด ความสูงของส่วนเชื่อมต่อสำหรับลวดแต่ละเส้น ส่วนประกอบบนกรอบนำที่มีคุณภาพที่ยังไม่เป็นที่ทราบ และ ส่วนประกอบของดายบนกรอบนำที่มีคุณภาพที่ยังไม่เป็นที่ทราบ 2
3. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 19 ถึง 22 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่กล้องถ่ายภาพหลายตัวจะถูกเลือกจากกลุ่มของกล้องถ่ายภาพที่ประกอบด้วยกล้องถ่ายภาพ ที่มีสเกลสีเทา, กล้องถ่ายภาพที่มีหลายสี, และกล้องถ่ายภาพเค้าโครงอุณหภูมิ 2
4. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ถึง 23 ข้อใดข้อหนึ่ง ซึ่งยังประกอบด้วย ตัวตัดสินกำหนดตัวแบบที่ถูกจัดโครงแบบเพื่อตัดสินกำหนดตัวแบบอ้างอิงแบบจำลองของ โครงสร้างในการเชื่อมต่อที่ใช้อ้างอิงของสับสเตรตอ้างอิง 2
5. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ถึง 24 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่อุปกรณ์ตรวจสอบสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อจะถูกจัดโครงแบบเพื่อวัดความสูงของ วงวนของ ส่วนเชื่อมตสายต่อและความสูงของส่วนเชื่อมต่ออย่างใดอย่างหนึ่งเป็นอย่างน้อยโดยใช้การจับคู่ที่ขึ้นอยู่กับ เซนทรอยด์ของลวดระดับพิเซลย่อยและการจัดสามเหลียม โดยที่วิธีการทำให้เป็นพิเซลย่อยจะ ประกอบด้วยการใช้ข้อกำจัดด้านพลังงานโฟตอนที่คงที่, ข้อจำกัดขณะเวลา, และการประมาณค่าในช่วง แบบเส้นตรงหรือกำลังสามอย่างใดอย่างหนึ่งเป็ยอย่างน้อย 2
6. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 25 โดยที่อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อจะถูกจัดโครงแบบเพื่อตัดสินกำหนดเซนท รอยด์ของลวดโดยใช้ความละเอียดยิ่งยวดและความละเอียดแบบสองเท่าอย่างใดอย่างหนึ่งเป็นอย่างน้อย เพื่อเพิ่มลักษณะที่ตรวจจับได้ของลวด 2
7. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 24 โดยที่อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อจะถูกจัดโครงแบบเพื่อใช้พารามิเตอร์ปรับ เทียบเฉพาะที่อย่างน้อยหนึ่งตัวและเอพิโพลเฉพาะที่เพื่อให้เกิดความแม่นยำในการวัดสูง 2
8. อุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อดังระบุในข้อถือสิทธิ 15 ถึง 27 ข้อใดข้อหนึ่ง โดยที่อุปกรณ์ตตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อยังถูกจัดโครงแบบเพื่อก่อให้เกิดวิธีการ 2D และ 3D ผ่านกระบวนการเรียนรู้เพื่อกำหนดบริเวณทีสนใจ, วิธีการตรวจสอบและพารามิเตอร์ที่ใช้ตรวจ สภาพ
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH115273A true TH115273A (th) | 2012-07-31 |
| TH63764B TH63764B (th) | 2018-07-18 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114692557B (zh) | 一种柔性电路板制造性能监测分析方法及系统 | |
| CN106841206B (zh) | 大型零件化学铣削切割非接触在线检测方法 | |
| CN102998029B (zh) | 一种滑坡演化过程物理模型多场信息监测方法 | |
| US20130070048A1 (en) | Formation Apparatus Using Digital Image Correlation | |
| CN104568003B (zh) | 一种输电线路覆冰过程的远程监测系统及方法 | |
| JP4796144B2 (ja) | 送電線を通る電力流を監視する方法及びシステム | |
| CN108709499A (zh) | 一种结构光视觉传感器及其快速标定方法 | |
| CN107527661B (zh) | 一种字线电阻测试方法及三维存储器失效分析方法 | |
| CN103033132A (zh) | 基于单目视觉的平面测量方法及装置 | |
| CN101750030A (zh) | 曲面检测系统及方法 | |
| CN103018004B (zh) | 一种用于测量渔用网线水动力的装置和方法 | |
| CN106840005A (zh) | 一种架空导线线径非接触测定方法及线缆标准板 | |
| CN201069409Y (zh) | 裸眼立体显示器视觉特性测量器 | |
| TH63764B (th) | วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อ | |
| TH115273A (th) | วิธีการตรวจสอบโครงสร้างในการเชื่อมต่อของสับสเตรตและอุปกรณ์ตรวจสภาพโครงสร้างในการเชื่อมต่อ | |
| Hyun et al. | Methods to measure the critical dimension of the bottoms of through-silicon vias using white-light scanning interferometry | |
| CN109557450A (zh) | 一种电路板的检测方法 | |
| CN115031650A (zh) | 一种基于标记点组合的相对变形测量方法及系统 | |
| CN114136544A (zh) | 基于高速视频测量的水下振动模拟测试系统及测试方法 | |
| JP2007121219A (ja) | 線条の弛度測定方法および弛度測定装置 | |
| CN117074246A (zh) | 路面施工质量检测系统及方法 | |
| CN110023769B (zh) | 测量非饱和土壤电阻率各向异性的电阻率测量单元 | |
| CN104131509A (zh) | 一种路面纹理结构与构造深度激光测量仪 | |
| CN104407222A (zh) | 不规则小截面铜棒材电阻率测量方法 | |
| Kunz et al. | Investigating metal-semiconductor contacts in solar cells using magnetic field measurements |