TH112088A - กระบวนการสำหรับการผลิตระบบเชิงกลไฟฟ้าขนาดจิ๋ว - Google Patents
กระบวนการสำหรับการผลิตระบบเชิงกลไฟฟ้าขนาดจิ๋วInfo
- Publication number
- TH112088A TH112088A TH801006548A TH0801006548A TH112088A TH 112088 A TH112088 A TH 112088A TH 801006548 A TH801006548 A TH 801006548A TH 0801006548 A TH0801006548 A TH 0801006548A TH 112088 A TH112088 A TH 112088A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- fluorine
- electromechanical systems
- carbonyl fluoride
- suitable etching
- miniature electromechanical
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (12/03/52) ส่วนประกอบฟลูออรีน และคาร์บอนิลฟลูออไรด์เป็นสารกัดที่เหมาะสมสำหรับการผลิต อุปกรณ์เชิงกลไฟฟ้าขนาดจิ๋ว ("MEMS") ส่วนประกอบฟลูออรีน และคาร์บอนิลฟลูออไรด์ที่ควรใช้ ถูกใช้เป็นของผสมกับไนโตรเจน และอาร์กอน ถ้าใช้ในกระบวนการชนิด -Bosch, C4F6 เป็นก๊าซ เคลือบผิวที่เหมาะสมอย่างมาก
Claims (1)
1. : DC60 (12/03/52) ส่วนประกอบฟลูออรีน และคาร์บอนิลฟลูออไรด์เป็นสารกัดที่เหมาะสมสำหรับการผลิต อุปกรณ์เชิงกลไฟฟ้าขนาดจิ๋ว ("MEMS") ส่วนประกอบฟลูออรีน และคาร์บอนิลฟลูออไรด์ที่ควรใช้ ถูกใช้เป็นของผสมกับไนโตรเจน และอาร์กอน ถ้าใช้ในกระบวนการชนิด -Bosch, C4F6 เป็นก๊าซ เคลือบผิวที่เหมาะสมอย่างมาก ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH112088A true TH112088A (th) | 2012-02-15 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2011081308A3 (ko) | 수소 센서 및 그 제조 방법 | |
| WO2006099557A3 (en) | Design and manufacturing processes of backplane for segment displays | |
| BRPI0816870A2 (pt) | Método de fabricação de um revestimento de sílica antirreflexo, produto resultante e dispositivo fotovoltaico compreendendo o mesmo. | |
| DE502005011203D1 (de) | Parellelkinematische Vorrichtung | |
| WO2010039660A3 (en) | Multi-thickness layers for mems and mask - saving sequence for same | |
| WO2007019439A3 (en) | Block copolymer compositions and uses thereof | |
| WO2006110651A3 (en) | Reflective displays and processes for their manufacture | |
| WO2012115717A3 (en) | Nanotag indentification systems and methods | |
| EP1895580A4 (en) | LAYER COMPOSITION FOR SEMICONDUCTOR, THIS USE SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR EQUIPMENT | |
| TW200740688A (en) | Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers | |
| WO2007016341A3 (en) | Flocked articles incorporating a porous film | |
| WO2011049629A3 (en) | Methods of making and using compositions comprising flavonoids | |
| WO2009149381A3 (en) | Chemical framework compositions and methods of use | |
| WO2011146846A3 (en) | Micromechanical membranes and related structures and methods | |
| WO2008100276A3 (en) | Shaped articles comprising semiconductor nanocrystals and methods of making and using same | |
| WO2007102130A3 (en) | Mems resonator having at least one resonator mode shape | |
| WO2010057878A3 (de) | Verfahren zum ausbilden einer mikro-oberflächenstruktur sowie zum herstellen eines mikroelektromechanischen bauelements, mikro-oberflächenstruktur sowie mikroelektromechanisches bauelement mit einer solchen struktur | |
| WO2006116622A3 (en) | Novel methods and devices for evaluating poisons | |
| WO2007103896A3 (en) | Wafer center finding | |
| WO2006041592A3 (en) | Large-scale manufacturing process for the production of pharmaceutical compositions | |
| WO2009154981A3 (en) | Mems microphone array on a chip | |
| BRPI0814341A2 (pt) | Método de produção de um revestimento de sílica antirreflexo, produto resultante, e dispositivo fotovoltaico compreendendo o mesmo. | |
| WO2011008778A3 (en) | Metal and metal oxide structures and preparation thereof | |
| WO2006065360A3 (en) | Medical devices formed with a sacrificial structure and processes of forming the same | |
| TH112088A (th) | กระบวนการสำหรับการผลิตระบบเชิงกลไฟฟ้าขนาดจิ๋ว |