SU997136A1 - Устройство дл масс-спектрометрического анализа - Google Patents
Устройство дл масс-спектрометрического анализа Download PDFInfo
- Publication number
- SU997136A1 SU997136A1 SU792771583A SU2771583A SU997136A1 SU 997136 A1 SU997136 A1 SU 997136A1 SU 792771583 A SU792771583 A SU 792771583A SU 2771583 A SU2771583 A SU 2771583A SU 997136 A1 SU997136 A1 SU 997136A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ions
- mass
- ion
- collector
- source
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
Изобретение относитс к вакуумной масс-спектрометрии, а именно к приборам с магнитньфл отклонением пучков ионов, и может найти применение дл анализа состава газа в вакуумных системёх . Известны устройства дл масс-спект ромётрического анализа остаточных газов в вакуумньпс системах, в которых молекулы газа ионизируютс , после чего их разделение по массе производитс при дрейфе ионов в посто нном магнитном поле 1 . Эти масс-спектрометры содержат кор пус, снабженный соединительньм патруб ком с фланцем, с помощью которого йри бор подсоедин етс и к обследуемой вакуумной систему. Корпус известных Приборов имеет вид плоской коровки с двум глухими патрубками, в которых смонтированы соответственно источник ионов и коллектор ионов. Основна часть корпуса, имеюща вид плоской коробки, помещена ТВ эазЪре между полюсами посто нного магнита, расположенного снаружи. Известно также устройство Дл масс спектрометрическогр анализа, содержащее источник магнитного пол , выполненный в йиде цилиндрического магнита , снабженного полюсными наконечниками 2 . Недостатксм этого устройства вл тс невысока точность при анализе, обусловленна низкой разрешающей способностью , определ емой радиусом траектории ионов, в этой конструкции траектории ионов проход т внутри магнитопровода , что ограничивает радиус траекторий. Цель изобретени - повыи-ение точности при анализе остаточных газов, в герметичных сосудах. Цель достигаетс тем, что в устройстве дл масс-спектрометрического анализа , содержащем источник магнитного пол , выполненный в виде цилиндрического магнита, снабженного полюсньми наконечниками, цилиндрический магнит расположен на глухом присоединительном фланце, полюсные наконечники выполнены в виДе круглых шайб с наружной отбортовкой, а источники ионов и коллектор, ионов расположены в зазоре между отбортовками наконечников. На фиг. Г приведено устройство, общий вид; на фиг. 2 - то же, сечение А-А на фиг. 1. Устройство содержит технологическую вакуумную камеру 1 с фланцевым соединением , состо щим из присоединительного и съемного фланцев 2 и 3 соответственно . В рабочем состо нии фланцы 2 и 3 ст нуты системой болтов 4. На внутренней поверхности съемного фланца 3 смонтирован посто нный . магнит 5 цилиндрической формы. На 1торцах магнита 5 закреплены тарельча1тые полюсные наконечники б и 7. Вс магнитна система, включающа магнит 5 и полюсные наконечники б и 7, кре- АЛ питс к фланцу 3 с помощью шпильки 8 и гайки 9. Шпилька 8 вварена во фланец 3. В зазоре между внешними кра ми полюсныхнаконечников 6 и 7 расположены источник 10 ионов, коллектор АС 11 ионов и магнитный масс-анализатор 12. Магнитный масс-анализатор 12 представл ет собой пространство с однородным магнитным полем. Это пространство имеетвид полукольца, ограничен-,. ного параллельными плоскост ми внеш- них краев полюсных наконечниковб и 7, а-также .выходной щелью источника
10ионов и входной щелью коллектора
11ионов. Входна щель истс«ника 10 ионов и входна щель коллектрра 11 25 ионов расположены в зазоре между полюсными наконечниками б и 7;диаметрально противоположно друг другу. Тем самым угол поворота ионов в предлагаемом приборе соответствует . 30 Дл увеличени напр женности пол в области магнитного масс-анализатора
12часть внешних краев полюсных наконечников б и 7 в нерабочей зоне прибора в принципе может быть среза- 35 на.
Центры выходной щели источника 10 ионов и входной щели коллектора 11. ионов расположены на одинаковом рас- д сто нии от оси симметрии масс-спектрометра 12 на середине ширины внешних краев полюсных наконечников б и 7.
Масс-спектрометр имеет электрические вводы 13 и 14, смонтированные на фланце 3. Эти вводы предназначены дл подвода питаквдих напр жений к источнику 10 ионов и выводу ионного тока от коллектора 11 ионов.
Предлагаемое устройство работает следующим образом.
Молекулы разреженного газа, наход щиес в технологической вакуумной 1, попадают внутрь источника . 10 ионов масс-спектрометра 12,где они 55 ионизируютс под действием электронов , змиттируемых- накаленным катодом. Источник ионов обеспечивает получение моноэнергетических ионов. Черед йыходную щель источника 10 ионов мо- 60 ноэнергетические ионы выталкиваютс в магнитный масс-анализатор 12. Попав в однородное магнитное поле масс-анализатора 12, моноэнёргетические ионы начинают двигатьс по дугам окружнос-б5
тей с радиусом кривизны R, следующим образом завис щим от массы ионов:
.lj(.47 .10
R
см ,
В
где V - разность потенциалов, под
действием которой ускор ютс ионы в источнике ионов (в); М - массовое число иона (а.е.м.) В - магнитна индукци в магнитном масс-анализаторе 12. (Вб/м).
Те ионы, радиус кривизны траекто ии ,(.которых совпадает со среднюю радиусом внешних краев полюсных наконечников б и -7, попадают на входную щель коллектора 11 ионов и регистрируютс соответствующим усилителем по .то нного тока. Остальные ионы рассеиваютс в пространстве и не попадают на коллектор 11 ионов.
В выбранной конструкции масс-спекрометра 12 происходит поворот ионов на 180° .во врем их пути от источника 10 ионов до коллектора 11 ионов. При таком повороте на коллектор 11 ионов попадают не только ионы, вьапедшие из источника 10 ионов по нормали к его выходной щели, но также и под некоторым (небольшие) углом к этой нормали. Граница возможных траекторий ионов одной массы, выход щих из источника 10 ионов и фокусируемых магнитным масс-анализатором 12 на входной щели коллектора, изображена на чертеже штрих-пунктирными лини ми
Claims (2)
1.Лекк Дж. Измерение давлени в вакуумных системах. М., Мир, 1966, с. 161.
2.Авторское свидетельство СССР №270330, .кл.С 01 N 29/62,19бб(прототип
&А //
5 9
/
f/./
(Js.2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792771583A SU997136A1 (ru) | 1979-05-25 | 1979-05-25 | Устройство дл масс-спектрометрического анализа |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792771583A SU997136A1 (ru) | 1979-05-25 | 1979-05-25 | Устройство дл масс-спектрометрического анализа |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU997136A1 true SU997136A1 (ru) | 1983-02-15 |
Family
ID=20830005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792771583A SU997136A1 (ru) | 1979-05-25 | 1979-05-25 | Устройство дл масс-спектрометрического анализа |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU997136A1 (ru) |
-
1979
- 1979-05-25 SU SU792771583A patent/SU997136A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20050205775A1 (en) | Plasma ion mobility spectrometer | |
US4072862A (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
US2582216A (en) | Mass spectrometer | |
EP0490626B1 (en) | Mass spectrometer with electrostatic energy filter | |
US3576992A (en) | Time-of-flight mass spectrometer having both linear and curved drift regions whose energy dispersions with time are mutually compensatory | |
US3280326A (en) | Mass filter with sheet electrodes on each side of the analyzer rod that intersect on the ion beam axis | |
US20070187591A1 (en) | Plasma ion mobility spectrometer | |
US4943718A (en) | Mass spectrometer | |
SU997136A1 (ru) | Устройство дл масс-спектрометрического анализа | |
US3925662A (en) | High-resolution focussing dipole mass spectrometer | |
CA2388526A1 (en) | Double-focusing mass spectrometer apparatus and methods regarding same | |
GB1059599A (en) | Separation of ions which differ in their respective specific electric charges | |
US3356843A (en) | Mass spectrometer electron beam ion source having means for focusing the electron beam | |
US3840742A (en) | Mass filter electrode and support structure | |
US20060011828A1 (en) | Spectrograph time of flight system for low energy neutral particles | |
US2541656A (en) | Method and apparatus for analyzing substance by mass spectrometry | |
SU785908A1 (ru) | Магнетронный масс-спектрометр | |
US2806955A (en) | Mass spectrometer | |
Carrico et al. | Miniature Mattauch-Herzog mass spectrometer | |
US3940616A (en) | Mass spectrometers | |
US3136888A (en) | Selecting mass spectrometer having substantially doubled resolving power | |
GB935184A (en) | Improvements in or relating to mass spectrometers | |
SU824343A2 (ru) | Магнетронный масс-спектрометр | |
SU788226A1 (ru) | Магниторазр дный масс-спектрометр | |
US2987618A (en) | Mass spectrometer |