Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено в частности, дл измерени плотности газа при получении различных полу- . проводниковых материалов. Известно устройство дл измерени расхода (плотности) газа или жид кости, содержащее подвод щий патрубок , один конец которого упруго соединен с подвод 11р1м штуцером, а другой (свободный) изогнут под пр мым углом и установлен с зазором против пластины, закрепленной на одном конце подпружиненного рычага, второй, конец которого соединен шарнирным штоком с плушкерсм дифтрансформатора а катушка последнего соединена с подвод щим патрубкомCl1. Недостатком предложенного устройства вл етс зависимость показаний от колзбаний температуры и давлени газа, оно не предназначено дл измерени мен ющего соотношени плот ностей двух газов в смеси. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс устройство дл измерени плотности и расхода газа, содержащее корпус с патрубком дл вывода газа, два чувствительных элемента, размещенные внутри корпуса , причем один из них расположен на пластине против формирующего сопла , закрепленного в корпусе, а выхог ды чувствительных элементов подключены , по дифференциальной .схеме, . к электронному блоку, соединенному с-измерительным приборс мС2 3. В известном устрюйствё стру потока газа, сформированна соплом, воздействует на первый тензометрический чувствительный элемент, эакрепленный на пластине. -Под действием ударного давлени струи прокеходит деформаци тензометрического чувствительного- элемента. При этом на выходе тензометрического чувствительного элемента формируетс сигнал, пропорхдаональный деформации и ст тическому давлению, а следовательно, плотности потока (при посто нном рас-ходе ). Второй тензометрический чувствительный элемент измер ет только статическое давление. Выходные сигналы от обоих тензометрических чувствительных элементов подключены к электронному блоку по дафференцигшь-. ной схеме. Дл выравнивани статических давлений по обе стороны упругой пластины входна и выходна камеры сообщаютс между собой. Величи на плотности потока регистрируетс измерительным прибором. К недостаткам известного устройства относ тс наличие ошибки измерени до 3-4% из-за изменени темпе ратуры потока газа-носител в пределах , 5-6% - за счет изменени давлени потока в пределах 0,03 О,,О5 МПа. , устройство не предназначёно дл измерени мен ющегос соотношени плотностей двух газов в смеси. Целью изобретени вл етс повышение точности измерени плотности газа и расширение области применени устройства. Указанна цель достигаетс тем, что устройство дл измерени плотно ти газа, содержащее корпус с патруб ком дл вывода газа, два чувствительных элемента, размещенные внутри корпуса, причем один из них расположен на пластине против формирую щегос сопла,закрепленного в корпусе , а выходы чувствительных элементов подключены к электронному 6л ку, соединенному с измерительным прибором, дополнительно содержит стабилизатор давлени , два измерите л расхода, две камеры, второе формирующее сопло, датчик перепада дав лени , регул тор и патрубок с регул рующим клапаном, выход стабилизатора давлени соединен, с обоими измерител ми расхода, установленными на .входах первой и второй камер соответственно , а выходы камер образова ны первым и вторым формирующими соп лами, второе формирующее сопло закреплено в корпусе против второго чувствительного элемента, установле ного на пластине, входы датчика перепада давлени соединены с обоими камерами, а выход подключен к регул тору, соединенному с регулирующим клапаном, расположенным на патрубке, установленном во второй камере, имеющей вход дл дополнительного паза. На чертеже показана схема предлагаемого устройства дл измерени плотности газа. Устройство содержит стабилизатор 1 давлени , измериуели 2 и 3 расхода , камеры 4 и 5,формирующие сопла 6 и 7., корпус 8, патрубок 9 дл вывода газа, чувствительные элементы 10 и 11, пластину 12, электронный блок 13, измерительный прибор 1 датчик 15 перепада давлени , регул тор 16, регулирующий клапан 17, патрубок 18, вентиль 19. Стабилизатор давлени 1 соединен с измерител ми расхода 2 и 3, которые установлены на входах камер 4 и 5, соответственно . Выходы камер 4 и 5 обра ваны формирующими соплами 6 и 7, за репленными в корпусе 8 с патрубком 9 дл вывода газа. Формирующие сопла 6 и 7 расположены против чувствительных элементов 10 и 11, установленных на пластине 12. Выходы чувствительных элементов 10 и 11 подключены к электронному блоку 13, соединенному с измерительным прибором 14. Камеры 4 и 5 соединены с входом датчика 15 перепада давлени , выход которого пoдкJiючeн к регул тору 16, соединенному с регулирующим клапаном 17, расположенном на патрубке 18, установленном во второй камере 5, имеющей вход дл дополнительного газа через регулирующий вентиль 19. Устройство работает следующим образом . В начальной стадии осуществл ют подготовку к работе устройства с газом-носителем , расход которого определ етс технологическим процессом. Газ-носитель от стабилизатора 1 давлени подводитс к измерител м 2 и 3 расхода. Суммарна величина расхода газа-носител , равна -, + Qj У танавливаетс с помощью регулирующих вентилей измерителей 2 и 3 расхода, соединенных с соответствующими камерами 4 и 5. Через формирующие сопла 6 и 7, образующие выхода камер 4 и 5, газ-носитель направл етс в виде струй на чувствительные элементы 10 и 11 (например, тензометрические или , объемные датчики), закрепленные на пластине 12 с од;ной или же с обеих сторон. Выход газа-носител осуществл етс через патрубок 9 корпуса 8. Характеристики чувствительных элементов 10 и 11 идентичны, формирующие сопла 6 и 7 имеют одинаковую длину, равное отношение внутреннего диаметра к внешнему. Дл одинакового расположени формирующих со- . пел 6 и 7 относительно чувствительных элементов 10 и 11 предусмотрена возможность продольного перемещени сопел 6 и 7. Под действием ударных давлений струй происходит, деформаци чувствительных элементов 10 и 11 пропорционально квадрату скорости и плотности потоков Gt и &2 и обратно пропорционально .площади формирующих сопел 6 и 7. При посто нном сечении сопел 6 и 7 усилие, развиваемое струей газа , пропорционально pQ , где р - плотность газа; Q - объемный расход. Поэтому после определени градуировочнсй характеристики чувствительных элементов 10 и 11 на одном из газов (например, азоте легко рассчитать величину усили и соответствующий выходной сигнал дл любого газаносител . Таким образом, отпадает необходимость в градуировке прибора на рабочем газе. Расход газа-носител через формирующие сопла 6 и 7 Г будет зависеть только от давлени в камерах 4 и 5, которые с соответству щими формирующими соплами б и 7 осуществл ют сглаживание пульсаций вход ного давлени . Подава газ-носитель, добиваютс авенства выходных сигналов, чувствительных элементов 10и 11, которо через электронный блок 13 регистрируетс измерительным прибором 14. , Если установка формирующих сопел б и 7 относительно чувствительных элементов 10 и 11 производитс предварительно на стенде, то равенства . выходных сигналов добиваютс изменением расходов 3 и вдтаким образом, чтобы суммарна величина расхода, определ ема технологическим процессом , оставалась посто нной. Корректировку выходных сигналов чувствител ных элементов 10. и 11 можно осуществить перемещением формирующих сопел б и 7 в продольном направлении при равенстве потоков газа Qg Затем в камере 5 задают давление увеличивают расход через измеритель 3 расхода)превышающее давление в камере 4 на 5-10 торр. Замер перепада давлени в камерах 4 и 5 осуществл етс датчиком 15, выход которого подключен к регул тору 16. Регул тору 16 устанавливают такую величину задани , чтобы давление в камерах 4 и 5 выровн лись. Вырав нивауие давлени происходит с помощью регулирующего клапана 17, установленного на патрубке 18 и соединенном с камерой 5. Избыточное давление в камере 5 передаетс в линию сброса или на факел. Дополнительный контроль за равенством давлений в к мерах 4 и 5 осуществл етс измерител ным прибором 14. Таким образом, устройство подготовлено к работе к последукндему цик лу измерени . Затем с помощью регулируемого вентил 19 подаетс газ, вводимый в пото.к газа-носител ,. и определ емый технологией производ ства. При подаче дополнительного га за (например РН, PClj , SiH AsGBj и т-.п.) в камере 5 происходит смещение этого газа с газом-носителем и соответственно повышаетс давление. Однако датчик 15 перепада давлени следит за изменением давлени в камерах 5 и 4, и посредством регул тора 16 и регулирующего клапана 17 давлени в камерах 4 и выравниваютс . В то же врем плотность смеси газа в камере 5 измен етс в зависимости от количества по даваемого дополнительного газа. Поскольку давление в камерах 4 и 5 ос таетс посто нным, то величина выхо ных сигналов чувствительных элементов 10 и 11 измен етс пропорционально изменению плотности смеси газаKciMepe 5, так как .величины расхоов , истекающих из формирующих соел , остаютс неизменными. Подключив чувствительные элементы 10 и 11 к электронному блоку 13,.по . схеме соотношени , по дифференциальной схеме, или любой Другой опреде ют плотность смеси газа-носител . При отклонении температур или давлени газа-носител от номинальных значений выходные сигналы чувствительных элементов 10 и 11 измен ютс на одну и ту же величину, а показани прибора 14 остаютс неизменными . При изменении температуры или давлени другого газа, вводимого в камеру 5 увеличиваетс его объем и возрастает давление в камере 5. Однако регул тор 15 с помощью регули{ )ующего клапана 17 выравнивает заданные величины давлени в камерах 4 и 5, компенсирует дополнительную погрешность, вызванную изменением температуры или давлени газа. Это позвол ет снизить погрешность измерени плотности газа-носи ел и смеси с S-6% до 1,5-2%. Кроме того, устройство позвол ет измер ть плотность (или изменение ее) как чистого газа, так и смеси газов в пределах , определ емых чувствительностью тензометрических или объемных датчиков , готовить смесь необходимого состава и плотности, использовать его в системах автоматического управлени технологическими процессами , что дает возможность рас пирить область применени устройства. Минимальный порог чувствительности , например, тензометрических датчиков составл ет 0,1 мм вод,ст. Основна приведенна предельна погрешность выходного, например, пневматического сигнала датчика перепада давлени типа ДМПК.составл ет +1%, а зона Нечувствительности не более 0.1%Г Класс точности используемого регул тора типа ПРЗ.31-1. Таким образом, изобретение по сравнению с известным устройством позвол ет снизить погрешность изме- . рени плотности технологического газа с 5-6% до 2% и расширить область приме нени устройства за счет измерени мен ющегос соотношени плотностей двух газов. изобретение может быть использовано дл измерени и регулировани плотности потока газа-носител в различных технологических процессах, в частности, при получении полупроводниковых материалов , а также где требуетс в широких пределах измер ть и регулировать плотность смеси газов. Разработка устройства дл измерени плотности газа начата с целью использо