SU967251A1 - Устройство для вывода электронного пучка в атмосферу - Google Patents
Устройство для вывода электронного пучка в атмосферуInfo
- Publication number
- SU967251A1 SU967251A1 SU3214210/21A SU3214210A SU967251A1 SU 967251 A1 SU967251 A1 SU 967251A1 SU 3214210/21 A SU3214210/21 A SU 3214210/21A SU 3214210 A SU3214210 A SU 3214210A SU 967251 A1 SU967251 A1 SU 967251A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- atmosphere
- leading
- electron beam
- out electron
- absent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫВОДА ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В АТМОСФЕРУ, содержащее электронную пушку с анодным фланцем, на котором закреплен лучевод с магнитными линзами, соединенный подвижно с системой газодинамических шлюзовых камер, образованных соосными конусными диафрагмами, причем шлюзовые камеры соединены переходными патрубками с вакуумными насосами, отличающееся тем, что, с целью уменьшения потерь тока пучка, шлюзовые камеры выполнены в виде дисковых полостей, образованных плитами, в которые встроены дополнительные магнитные линзы, охватывающие большие основания каждой конусной диафрагмы, причем большие основания конусных диафрагм последовательно увеличиваются в направлении движения пучка, а меньшие основания уменьшаются.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что, с целью уменьшения эксплуатационных расходов, лучевод установлен между шлюзовыми камерами, плиты которых связаны крепежными стойками с анодом электронной пушки, а подвижное соединение лучевода выполнено в виде телескопической втулки, коаксиально охваченной сильфоном.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3214210/21A SU967251A1 (ru) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | Устройство для вывода электронного пучка в атмосферу |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3214210/21A SU967251A1 (ru) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | Устройство для вывода электронного пучка в атмосферу |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU967251A1 true SU967251A1 (ru) | 1996-03-27 |
Family
ID=60518489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3214210/21A SU967251A1 (ru) | 1980-12-11 | 1980-12-11 | Устройство для вывода электронного пучка в атмосферу |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU967251A1 (ru) |
-
1980
- 1980-12-11 SU SU3214210/21A patent/SU967251A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS57105953A (en) | Electron beam projecting device | |
GB2086651B (en) | Device for irradiating with electron beams | |
JPS57114232A (en) | Electron beam drawing system | |
JPS57114233A (en) | Electron beam drawing system | |
DE3163631D1 (en) | Collimator assembly for an electron accelerator | |
JPS54112173A (en) | Electron beam system | |
JPS5793528A (en) | Electron beam device | |
JPS56145640A (en) | Large current electron source | |
JPS5772254A (en) | Electron emission device | |
JPS56162892A (en) | Electron emitting device | |
JPS5737300A (en) | Electron beam emitting device | |
SU967251A1 (ru) | Устройство для вывода электронного пучка в атмосферу | |
SU957744A1 (ru) | Трансформаторный плазмотрон | |
JPS5588300A (en) | Linear electron accelerator | |
SU1098513A1 (ru) | Инжектор электронов для вывода пучка в атмосферу | |
JPS57124842A (en) | Electron emission device | |
JPS56131211A (en) | Current source amplifier | |
JPS5532382A (en) | Linear electron accelerator tube | |
SU1075725A1 (ru) | Антифриз | |
SU852153A1 (ru) | Высоковольтный электрод | |
GB2069266B (en) | Current source amplifier | |
JPS54117687A (en) | Device for projecting electron beam | |
JPS57113547A (en) | Electron ion source | |
JPS5776739A (en) | Electron/ion source | |
SU1083739A1 (ru) | Стокс-калибратор |