SU958507A1

SU958507A1 - Electrolyte for depositing coatings from germanium-nickel alloy

Info

Publication number: SU958507A1
Application number: SU803218789A
Authority: SU
Inventors: Лидия Николаевна Возмилова; Нина Васильевна Карпович
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4467
Priority date: 1980-12-17
Filing date: 1980-12-17
Publication date: 1982-09-15

Description

(54) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ СПЛАВА ГЕРМАНИЙ-НИКЕЛЬ(54) ELECTROLYTE FOR DEPOSITING COATINGS FROM GERMANY ALLOY-NICKEL

Изобретение относитс к гальваностегии , в частности к электролитическому осаждению покрытий из сплава германий - никель в контактные окна, вскрытые в слое фоторезиста, и может быть использовано дл изготовлени омических контактов.к полупроводниковым приборам.The invention relates to electroplating, in particular to the electrolytic deposition of coatings from a germanium-nickel alloy in contact windows opened in a photoresist layer, and can be used to manufacture ohmic contacts. To semiconductor devices.

Известны электролиты дл осаждени покрытий из сплава германий-никель, содержащие соединени соосаждаегллх металлов и комплексообразователи: щавелевокислый аммоний и гидроокись аммони tin и Г2.Electrolytes for the deposition of germanium-nickel alloy coatings are known, containing compounds of co-precipitating metals and complexing agents: ammonium oxalate and ammonium hydroxide tin and H2.

Однако известные электролиты не пригодны дл осаждени сплава германий - винкель в контактные окна дл полупровод иковых приборов, фоторезист, используемый в качестве маскирующего покрыти , разрушаетс в щелочных растворах.However, the known electrolytes are not suitable for the deposition of germanium – winkel alloy into contact windows for semiconductor devices, the photoresist used as a masking coating is destroyed in alkaline solutions.

Наиболее близким к изобретению вл етс известный электролит дл осаждени покрытий из сплава германий никель , содержащий германат натри , сульфат никел и серную кислоту t.Closest to the invention is a known electrolyte for the deposition of coatings from a germanium-nickel alloy containing sodium germanate, nickel sulphate and sulfuric acid t.

Однако из этого электролита одновременйо с осаждением покрыти германий - никель происходит выделение водорода . Пузырьки водорода закрываютHowever, hydrogen is released from this electrolyte simultaneously with the deposition of the germanium – nickel coating. Hydrogen bubbles close

часть поверхности контактного окна, а в случае маленьких окон {Ф2-5 мкм) всю поверхность окна, что приводитpart of the surface of the contact window, and in the case of small windows (Φ2-5 μm), the entire surface of the window, which leads

5 к получению серых матовых неравномер . ных покрытий..5 to receive gray matte uneven. coatings

Целью изобретени вл етс получение равномерных блест щих покрытий в контактных окнах полупроводниковыхThe aim of the invention is to obtain uniform gloss coatings in semiconductor contact windows.

IQ приборов.IQ appliances.

Поставленна цель достигаетс тем, что электролит, содержаний сульфат никел и соединение германи , дополнительно содержит винную кислоту и калий-натрий виннокислый, а вThe goal is achieved by the fact that the electrolyte, the contents of nickel sulphate and the germanium compound, additionally contains tartaric acid and potassium-sodium tartrate, and

5 качестве соединени германи - двуокись германи , при следующем соотношении компонентов, г/л: 5 as a germanium compound, germanium dioxide, in the following ratio of components, g / l:

Двуокись германи 10-30 Сульфат никел 5-15 Germanium dioxide 10-30 Nickel sulfate 5-15

20 Калий-натр.ий виннокислый20-150 Винна кислота 6-1620 Potassium-sodium tartaric 20-150 Tartaric acid 6-16

Процесс осаждени рекомендуют 25 проводить при ,1-7,5, комнатной температуре и плотности тока 0,11 ,0 А/дм в течение 1-30 мин с использованием платинового анода.The deposition process is recommended to carry out 25 at, 1-7.5, room temperature and current density of 0.11, 0 A / dm for 1-30 minutes using a platinum anode.

Стаб.ильность электролита cocTaiB30 л ет 2-6 А.ч/л.The electrolyte stability of cocTaiB30 is 2-6 A.h / l.

Осаждение ведут на пластины арсенида галли с активными структурами, на которых методом фотолитографии в слое фоторезиста вскрывают контактные окна.Deposition is carried out on gallium arsenide plates with active structures, on which contact windows are opened by photolithography in a layer of photoresist.

Верхний предел концентрации двуокиси германи (30 г/л) ограничен ее растворимостью, а нижний предел (10 г/л) ограничен качеством осадка . При содержании двуокиси германи в электролите ниже 10 г/л осадокThe upper limit of the concentration of germanium dioxide (30 g / l) is limited by its solubility, and the lower limit (10 g / l) is limited by the quality of the precipitate. When the content of germanium dioxide in the electrolyte is below 10 g / l sediment

получаетс не блест щий и с темными i п тнами.not shiny and with dark spots.

Качество получаемых осадков определ етс визугшьно - отсутствие п тен, питтинга на поверхности покрыти , выделение водорода на катоде. Переходное сопротивление составл ет Ом-см.The quality of the precipitation obtained is determined visually — the absence of spots, pitting on the surface of the coating, the release of hydrogen at the cathode. The contact resistance is ohm-cm.

Изобретение иллюстрируетс несколькими примерами, представленными в таблице.The invention is illustrated by several examples in the table.

Claims

Formula of the invention The electrolyte for the deposition of coatings from a germanium alloy - nickel containing nickel sulfate and germanium compound 55, characterized in that, in order to obtain uniform shiny coatings in the contact windows of semiconductor devices, it additionally contains tartaric acid 60 and potassium sodium tartrate, and as a germanium compound - germanium dioxide in the following ratio of components, g / l:

Germany dioxide 10-30

Nickel Sulphate 5-15

Potassium Sodium Tartrate 20-150

Tartaric acid 6-16