SU951017A1 - Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions - Google Patents

Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions Download PDF

Info

Publication number
SU951017A1
SU951017A1 SU803007188A SU3007188A SU951017A1 SU 951017 A1 SU951017 A1 SU 951017A1 SU 803007188 A SU803007188 A SU 803007188A SU 3007188 A SU3007188 A SU 3007188A SU 951017 A1 SU951017 A1 SU 951017A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
chamber
air duct
air
duct
area
Prior art date
Application number
SU803007188A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Михаил Иосифович Фрид
Original Assignee
Предприятие П/Я М-5273
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я М-5273 filed Critical Предприятие П/Я М-5273
Priority to SU803007188A priority Critical patent/SU951017A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU951017A1 publication Critical patent/SU951017A1/en

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)

Description

1one

Изобретение относитс  к вентил ции и представл ет собой камеру дл  проведени  технологических операций в услови х высокой чистоты атмосферы.The invention relates to ventilation and is a chamber for carrying out technological operations in conditions of high purity of the atmosphere.

Известна камера дл  проведени  технологических операвдй в услови х высокой чистоты атмосферы, содержаща  корпус, к верхней части которого подсоединен воздуховод, а к нижней - выт жной, и установленный в корпусе рабочий стол со столешницей и боковыми стенками, ограничивающих его внутренний объем 1.A known chamber for carrying out technological equipment in conditions of high purity of the atmosphere, comprising a housing, to the upper part of which an air duct is connected, and to the lower part an exhaust air duct, and a working table mounted in the housing with a tabletop and side walls limiting its internal volume 1.

Недостатком данной камеры  вл етс  повышенна  концентраци  вредностей в зоне стола за счет образовани  застойных зон и повышенной турбулентности воздуха над столешницей за счет отражени  нисход щего воздушного потока.The disadvantage of this chamber is an increased concentration of hazards in the table zone due to the formation of stagnant zones and increased air turbulence over the table top due to the reflection of the downward air flow.

Цель изобретени  - снижение концентрации вредностей в зоне стола,The purpose of the invention is to reduce the concentration of hazard in the table area,

Поставленна  цель достигаетс  тем, что столешница и боковые стенки вьпголнены перфорированными , и камера снабжена дополнительным выт жным воздуховодом, подсоединенным к внутрегшему объему стола.The goal is achieved by the fact that the table top and side walls are perforated with perforation, and the chamber is equipped with an additional exhaust duct connected to the internal volume of the table.

На чертеже показана камера дл  проведе1П5Я технологических операций в услови х высокой чистоты атмосферы, общий ввд.The drawing shows a chamber for conducting technological operations under conditions of high purity of the atmosphere.

Камера содержит корпус 1, к верхней части которого подсоединен приточный воздуховод 2, а к нижней - выт жной воздуховод 3, и установленный в корпусе 1 рабочий стол 4 со столешницей 5 и боковыми стенкалт 6, офаничивагощих внутренний объем 7 стола 4, причем столешница 5 и боковые стенки 6 вь полнены перфорированными с отверсти ми 8.The chamber contains a housing 1, to the upper part of which a supply air duct 2 is connected, and to the lower part - an exhaust air duct 3, and a working table 4 installed in the housing 1 with a table top 5 and side walls 6 of which the internal volume 7 of the table 4 is 4, and a table top 5 and the side walls 6 are perforated with holes 8.

Кроме того, камера снабжена дополнительным выт жным воздуховодом 9, подсоединенным к внутреннему объему 7 стола 4.In addition, the chamber is equipped with an additional exhaust duct 9 connected to the internal volume 7 of the table 4.

В приточном воздуховоде 2 установлены вентил тор 10 и фильтр 11 грубой очистки, а в выт жном воздуховоде 3 - выт жной вентил тор 12.In the intake duct 2, a fan 10 and a coarse filter 11 are installed, and in the exhaust duct 3 - an exhaust fan 12.

2020

Claims (2)

Дополнительный воздуховод 9 также имеет вентил тор 13 и регулирующий орган 14. В корпусе 1 установлен фильтр 15 тонкой очистки и перфорированньп1 пол 16. 3л Отношение площади перфорированных от- верстий 8 к общей площади столешницы 5 и б ковых стенок 6 должно быть не менее 1:6, а столешница 5 может иметь различное конструктивное оформление - в виде набора взаимоперпендикул рных спиц или нат нутой металлической сетки, закрепленной на каркасе. Камера работает следующим образом. Приточный воздух поступает из воздуховода 2 через фильтр 15 тонкой очистки в корпус 1   удал етс  через пол 16 в выт жиой воздуховод 3. При этом образуютс  вертикальные потоки воздуха, которые при попада1Н1ш на столешнику 5 проникают во внутренний объем 7 стола 4, откуда удал ютс  через выт жной воздуховод 9. При этом в зоне стоЛа 4 ликвидируетс  турбулентность потоков воздуха и образуетс  квазиламинарное течение последнего . Наиболее оптимальный режим работы - когда скорость воздуха в зоне столешницы 5 равна или немного больше скорости потока воздуха подаваемого через приточный воздуховод 2. Применение данной камеры позвол ет до итьс  снижени  концентрации вредностей в Зоне рабочего стола, т.е. в том месте, где чистота атмосферы имеет наибольшее значение , за счет чего повышаетс  выход готовой продукции. Формула изобретенн  1.Камера дл  проведени  технологических операций в услови х высокой чистоты атмосферЬ1 , содержаща  корпус, к верхней части которого 1юдсоединен приточный воздуховод, а к нижней - вьгг жной, и установленньш в корпусе рабочий стол со столешницей и боковыми стенка1ми, ограничивающими его в угренний объем, отличающа с  тем, что, с цель|о снижени  концентрации вредностей в зоне стола, столешница и боковые стенки выполнены перфорированными. The additional air duct 9 also has a fan 13 and a regulator 14. In the case 1, a fine filter 15 and a perforated floor 1 are installed. 16. 3 l The ratio of the area of perforated holes 8 to the total area of the table top 5 and b of the wall 6 must be at least 1: 6, and the table top 5 can have a different design, in the form of a set of mutually perpendicular spokes or a tight metal mesh fixed to the frame. The camera works as follows. The intake air enters from the air duct 2 through the fine filter 15 into the housing 1 is removed through the field 16 into the exhaust duct 3. This creates vertical air flow, which when entering H1N on the table 5 penetrates into the internal volume 7 of the table 4, from where it is removed exhaust duct 9. At the same time, in the zone of stol 4, turbulence of air flows is eliminated and a quasilaminar flow of the latter is formed. The most optimal mode of operation is when the air velocity in the area of the tabletop 5 is equal to or slightly greater than the air flow rate supplied through the supply air duct 2. The use of this chamber allows to reduce the concentration of hazard in the Desktop Zone, i.e. in the place where the purity of the atmosphere is of the greatest value, thereby increasing the yield of finished products. The formula invented is 1. A chamber for carrying out technological operations under conditions of high purity atmospheres1, comprising a casing, to the top of which is connected a supply air duct, and to the bottom - a connecting air duct, and installed in the case a working table with a table top and side walls that limit it to carbon volume, characterized in that, in order to reduce the concentration of harmful substances in the area of the table, the tabletop and the side walls are perforated. 2.Камера поп.1, отличающа с  тем, что она снабжена дополнительным выт жным воздуховодом, подсоеданениым к внутреннему объему стола. Источники ииформаюга, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ 1Г 2107269, кл. F 24 F 9/00, опублюс. 972.2. Chamber device 1, characterized in that it is provided with an additional exhaust duct connected to the internal volume of the table. Sources of information taken into account during the examination 1. German patent 1G 2107269, cl. F 24 F 9/00, publ. 972. лl
SU803007188A 1980-11-19 1980-11-19 Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions SU951017A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803007188A SU951017A1 (en) 1980-11-19 1980-11-19 Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803007188A SU951017A1 (en) 1980-11-19 1980-11-19 Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU951017A1 true SU951017A1 (en) 1982-08-15

Family

ID=20927157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803007188A SU951017A1 (en) 1980-11-19 1980-11-19 Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU951017A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4694527A (en) * 1983-07-06 1987-09-22 Fujitsu Limited Mask washing apparatus for production of integrated circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4694527A (en) * 1983-07-06 1987-09-22 Fujitsu Limited Mask washing apparatus for production of integrated circuit

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3075335A (en) Kitchen range hoods
CA1168121A (en) Countertop range with proximity ventilation and electronic air cleaner
US6517428B1 (en) Work station having an air flow controller
GB1409195A (en) Grease filter for kitchen ventilators
US5167681A (en) Air filtration unit
US4917713A (en) Low-profile air filtration module
US2565933A (en) Ventilating exhaust structure
CA1081027A (en) Clean air zone
SU951017A1 (en) Chamber for carrying out manufacturing operations in high-pure atmosphere conditions
US5209766A (en) Laboratory gas scrubber
US3411428A (en) Ventilating hood for food cooking device
US3229611A (en) Portable work bench and air controller system
US6692346B2 (en) Fume hood with alarm system
US4137831A (en) Clean air zone
US4211155A (en) Laboratory hood
US2579401A (en) Gas treating apparatus and method
EP0375343A3 (en) Sterile air trolley
US2567776A (en) Treatment of gas and the like
GB1198920A (en) A Hood for Keeping Clean the Atmosphere Surrounding a Work Area
US6214073B1 (en) Smoke exhauster having a detachable fan casing
GB909924A (en) Improvements in air-conditioning filters
US3130661A (en) Range ventilator
GB1454116A (en) Clean air supply unit
ATE12981T1 (en) LOW FREQUENCY NOISE AND TURBULENCE DAMPER.
CN221077811U (en) Negative pressure air purification balance cover