SU950799A1

SU950799A1 - Раствор дл травлени металлов

Info

Publication number: SU950799A1
Application number: SU803221886A
Authority: SU
Inventors: Людмила Александровна Сучкова; Татьяна Валентиновна Руденко; Людмила Сергеевна Кирикеш
Original assignee: Предприятие П/Я Г-4377
Priority date: 1980-12-22
Filing date: 1980-12-22
Publication date: 1982-08-15

Description

(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ

Изобретение относитс к химическому травлению металлов и может быть использовано в производстве изделий микроэлектроники, в частности при изготовлении тонкопленочных схем.

Известен раствор дл травлени системы ванадий - медь - никель, содержащий следующие ингредиенты, г/л:.

Азотна кислота

(HNOj)670-880

Кремнефтористоводородна кислота

()400-500

при объемном отношении первого компонента ко второму 1S (15-20) Cl Однако известный раствор раствор ет эти пленки неравномерно по всему полю, а вход ща в его состав кремнефтористоводородна кислота разрушает поверхность ситалловой подложки. В результате неравномерности травлени в этом растворе с некоторых участков металл удал етс быстрее, чем с других, и идет повреждение ситалла.

Подтравлива ситалл, травильный раствор проникает под пленку системы ванадий - медь - никель и вызывает подтравливание крйев элементов схемы, что приводит к увеличению клина травлени , а следовательно , к уменьшению выхода годных схем.

с Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс раствор дл травлени металлов/например меди, содержащий минеральную кислоту, в частности ную, перекись водорода, желатину и воду 2.

Однако травление многослойной систе№1 в этом растворе происходит . неравномерно.

15

Целью изобретени вл етс достижение равномерности травлени .

Дл достижени поставленной цели предлагаемый раствор дополнительно содержит тиомочевину и гекса20 метилентетрамин, а в качестве минеральной кислоты - смесь азотной и сол ной кислот при следующем соотношении компонентов г вес.%: Азотна кислота (HNOj)

25 ( d 1,14)26-30

Сол на кислота (НС1) (d 1,19)5-8

Перекись водорода (,) (d 1,11)10-14

Тиомочевина (NH.2CSNH2) 4-6

30

Гексаметилентехрамин

()0,5-2

Желатина (4%-ный

раствор)25-32

ВодаОстально

При введении сол ной кислоты и перекиси достигаетс равномерное и полное травление слоев меди и ванади .

Тиомочевина вводитс в раствор, как пассивирующа добавка, уменьшающа боковое подтравливание, так как в.процессе травлени медь окисл етс , образу двуххлорвс ую медь (CuCl). Тиомочевина реагирует с образующейс двуххлористой медью и образует нерастворимую гелеобраэную пленку на боковых торцах меди, что преп тствует дальнейшему травлению слоев

CuCl2 + (ЫН4) NHjNHSCu + НС

Гексаметилентетрамин вводитс в раствор, как неиониэирующий ингибитор , который уменьшает диссоциацию

ионов, что приводит к замедлению процесса травлени .

При добавлении в раствор желатины уменьшаетс подвижность диссоциированных ионов, увеличиваетс смачиваемость поверхности пленки за счет уменьшени поверхностного нат жени раствора,- что способствует более равномерному процессу травлени и уменьшению степени растравливани .

Проводитс химическое травление трехслойной системы ванадий - медь никель . В качестве защитного сг.о примен етс фоторизист ФП-РН-7. Температура травлени комнатна .

После травлени подложки тщательно отмывают . Процесс травлени протекает равномерно, происходит полное вытравливание слоев без повреж .дени ситалловой подложки.

Claims

Составы травильных растворов и результаты травлени приведены в таблице . Из проведенного эксперимента видно , что предлагаемый раствор обеспечивает одно из важнейних требований процесса травлени - наименьшую степень растравливани . Формула изобретени Раствор дл травлени металлов, преимущертвенно, многослойной систе мы ванадий - медь .никель, содержа 1Щ1Й минеральную кислоту, перекись водорода, желатину и воду, о т л и чающийс тем, что, с целью достижени равномерности травлени , он дополнительно содержит тиомочеви ну и гексаметилентетрамин, а в качестве минеральной кислоты - смесь азотной и сол ной кислот при следую тем соотношении компонентов, вес.%: Азотна кислота (d 1,14)26-30 Сол на кислота ( d 1,19)5-8 Перекись водорода (d 1,11)10-14 Тиомочевина4-6 Гексаметилентатрамин 0,5-2 Желатина (4%-ный раствор)25-32 ВодаОстальное Источники информации , н тые во внимание при экспертизе 1.Николаева В.А,, Макарова Л.Н. ективное травление ванадий - медьелевых пленок. - Обмен опытом в иопромышленности, 1976, № 2, 49.
2.РЖ. Коррози и защита от кории , 1980, №.8, К257П.