SU949737A1 - Электромагнитное устройство дл модул ции тока электронного пучка - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к радиоэлектронике , а более конкретно к устройствам дл  модул 1Хии величины тока электронного пучка в электроннолучевых устройствах, и может быть использовано в электроннолучевых трубках, электронных микроскопах, установках электроннолучевой литографии и размерной обработки материалов и других устройствах.

Известны устройства, в которых модул ци  тока электронного пучка осу ществл етс  путем изменени  потенциала управл ющего электрода относительно катода | 1 .

Недостаток таких устройств состоит в том, что они громоздки и сложны в эксплуатации, так как требуют гальванической разв зки цепей посто нного напр жени  на катоде и управл ющем электроде и источника модулирующего сигнала. Указанные систеьвл разв зки обладают обычно недостаточной широкопапосностью , в св зи с чем ограничивают частотный диапазон модулирующего сигнала. Кроме того, изменение потенциала управл ющего электрода приводит к изменению диаметра и положени  кроссовера в электронно-оптической системе, в св зи с чем происходит дефокусировка пучка в процессе модул ции.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  электромагнитное устройство дл  модул ции тока электронного пучка , содержащее вырезывающую диафрагму , управл ющую обмотку и магнитопровод , выполненный в виде двух Шобразных сердечников с одинаковыми

10 зазорами между их обращенньми друг к другу полюсными наконечниками, расположенными в одной плоскости с осью электронно-оптической системы, причем управл юща  обмотка размеще15 на на средних наконечниках .магнитопрхэвода .

В известном устройстве вырезывгиоща  диафрагма размещена на пути электронного пучка между первым и

20 средним (счита  от места входа пучка ) магнитными зазорами сердечников 2j.

Недостаток известного устройства заключаетс  в низкой чувствительности (мсшой крутизне модул ции), т.е. в

25 том, что из-за неоптимального расположени , вырезывающей диафрагмы дл  t модул ции необходимы большие значе- ) ни  модулирующего сигнала.

Claims (2)

1. Цель изобретени  - повышение ствительности модулирующего устройства. Указанна  цель достигаетс  тем, что в электромагнитном устройстве дл  модул ции тока пучка электроннолучевого прибора, содержащем вырезывающую диафрагму, управл ющую обмотку и маг итопровод, выполненный в виде двух сложенных Ш-образных сердечников с одинаковыми зазорами между обращенными друг к другу их полюсными наконечниками, располо-. женными в одной плоскости с осью электронно-оптической системы, причем управл к да  обмотка размещена на средних наконечниках магнитопро (Вода, вырезывающа  диафрагма расположена в середине среднего магнитного зазора. На фиг. 1 изображена конструктивна  схема предлагаемого модулирующего устройства; на фиг. 2 показан ход электронного пучка при его моду л ции и расположение вырезывающей диафрагмы относительно электронного пучка. Модулирующее устройство содержит магнитопровод 1, состо щий из двух Ш-образных сердечников 2 с трем  полюсными наконечникс1ми 3-5 в каждом сердечнике, сигнальную обмотку 6, размещенную на средних наконечниках сердечников 2, и диафрагмы 7, расположенной на пути электронного пучка 8 в середине средних сердечников 4. Другие общеизвестные элементы ЭЛЛ здесь не приведены. Устройство работает следующим образом. При подаче модулирующего сигнала на сигнальную обмотку 6 в устройстве образуютс  магнитные-потоки, причем каждый из потоков в крайних зазорах противоположен по направлению и равен половине магнитного потока э среднем зазоре. Вначале пучок 8 отклон етс  полем первого зазора (между наконечниками 3).на некоторый угол, причем некотора  часть пучка, завис ща  от величины линейного смещени  пучка от оси системы, вырезаетс  диафрагмой 7. В следующем зазоре (между наконечниками 4) оставша с  часть пучка отклон етс  к оси электронно-оптической системы (в пр тивоположную сторону) на удвоенный угол, так как поток в этом зазоре вдвое больше. В последнем зазоре магнитное поле между наконечниками 5 вновь направл ют электронный пучок вдоль оси электронно-оптической системы . Так как наибольшее линейное отклонение электронного пучка от оси системы достигаетс  в среднем сеченик среднего магнитного зазора, то расположение рырезывак де1й диафрагмы в этой плоскости (в Середине средних наконечников) обеспечивает наибольшую чувствительность модулирующего устройства. Среди выпускаемых промышленностью устройств .нет изделий, которое могут быть прин ты за базовый образец, вследствие чего сравнение может быть проведено только с прототипом, по отношению к которому чувствительность пЕ1едлагаемого устройства выше в 2 раза . Поэтому предлагаемое устройство найдет широкое применение в стробоскопической электронноймикроскопии, импульсной электроннолучевой литографии и других отрасл х электроннолучевой техники. , Формула изобретени  Электромагнитное устройство дл  модул ции тока электронного пучка электроннолучевого устройства, содержащее вырезывающую диафрагму, управл ющую обмотку и магнитопровод, выполненный в виде двух Ш-образных сердечников с одинаковыми зазорами между их обращенными друг к другу полюсными наконечниками, расположенными в одной плоскости с осью электронно-оптической системы, причем управл юща  обмотка размещена на средних наконечниках магнитопровода, отличающеес  тем, что, с целью увеличени  чувствительности модул ции, вырезывающа  диафрагма расположена в середине среднего магнитного зазора. Источники информации прин тые во внимание при экспертизе 1.Милл р,В.А., Куракин Л.А. Приемные электроннолучевые трубки. М., Энерги ,. 1971, с. 46.
2. 2.Авторское свидетельство СССР № 333627, кл. Н 01 J 29/76, 1972 (прототип).