SU947798A1 - Способ контрол однородности магнитной пленки - Google Patents

Способ контрол однородности магнитной пленки Download PDF

Info

Publication number
SU947798A1
SU947798A1 SU803002504A SU3002504A SU947798A1 SU 947798 A1 SU947798 A1 SU 947798A1 SU 803002504 A SU803002504 A SU 803002504A SU 3002504 A SU3002504 A SU 3002504A SU 947798 A1 SU947798 A1 SU 947798A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
film
magnetic
films
magnetic film
film uniformity
Prior art date
Application number
SU803002504A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Наумович Бержанский
Сергей Александрович Гавричков
Владимир Павлович Кононов
Original Assignee
Институт Физики Им.Л.В.Киренского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Им.Л.В.Киренского filed Critical Институт Физики Им.Л.В.Киренского
Priority to SU803002504A priority Critical patent/SU947798A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU947798A1 publication Critical patent/SU947798A1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Description

Изобретение относитс  к гагнитным измерени м и может быть использовано дл  контрол  однородности магнитных пленок (МП). Изобретение может быть использовано дл  определени  многофазности магнитных пленок, опре делени  магнитных параметров отдельных фаз пленки, степени легировани  магнитных пленок и т.д. Известны магнитометры, в которых измерительна  обмотка окружает магнитный сердечник, температура которого в области температуры Кюри незначительно мен етс , что заставл ет флуктуировать восприимчивость материала сердечника Cl. Однако с помощью этого устройства нельз  определить характеристики материала с точки зрени  его неоднород ности. Известен способ контрол  неодноро ности пленок, св занный с флуктуацие состава пленки, с помощью магнитооптических измерений вблизи температуры компенсации монокристаллических пленок ферримагнетикЬв. Под действием внешнего пол  в небольшом темпера турном градиенте слои с разным составом про вл ют себ  в виде дискрет ных цветных тонов, св занных с дисперсией фарадеевского вращени  Г2. Недостатком способа  вл етс  возможность контролировать только узкий класс пленок ферримагнетиков, обладающих точкой компенсации, исследуемые пленки должны быть монокристаллическими , пленки и подложки должны быть прозрачными в области оптических частот , которые используютс  дл  дефектоскопии пленок. Цель изобретени  - расширение диапазона контрол  исследуемых пленок. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в способе контрол  однородности магнитной пленки, заключающимс  в том, что пленку домещают в посто нное магнитное поле, воздействуют переменным электромагнитным полем, нагревают, нагрев осуществл ют до температуры Кюри материала пленки и при по влении дополнительных резонансных линий фиксируют электронный магнитный резонанс, дефектных облас- тей пленки. На фиг. 1 и 2 представлены спектры магнитного резонанса при нагревании пленок без дефект ов и с дефектным слоем, искусственно созданным методом ионной имплантации. ,
Способ регшизуетс  следующим образом .
Исследуема  пленка помещаетс  в резонатор под определенным углом к приложенному посто нному внешнему полю. Производитс  запись спектра 5 ферромагнитного резонанса при повышении температуры Кюри (до точки фазового перехода). Спектр однородной пленки имеет одиночную ферромагнитную резонансную линию, плавно транс- 10 формирующуюс  в электронную парамагнитную резонансную линию.
Спектр неоднородной пленки при температурах, близких к температуре Кюри, состоит из нескольких линий,15 кажда  из которых соответствует оп- i ределенной магнитной фазе. Разделение резонансных линий происходит вследствие различного температурного хода намагниченности различных фаз. Маг- 20 нитные характеристики различных фаз (намагниченность, ширина линии ферромагнитного резонанса) могут быть определены по известным сортношени м .25
Пример. Провод т контроль однородности пленки -магнитного полупроводника СdCrn$64, .полученной методом испарени  компонентов из отдельных испарителей. Пленки напыл ют на ,-. стекл нную подложку, толщина пленок 3000 А , температура Кюри Тцравна 130 К. Дл  создани  дёфектнрЧ азн пленки подвергают ионной импланта- ции ионами В при дозе 2-1(Г кон/см и энергии 200 КэВ. Ионна  импланта- 5 ци  приводит к магнитному и структурному раэупор дочению поверхностного .сло  пленки.
Исследуемуй пленку помещают в резонатор cnisKTpoMeTpa таким образом, 40 чтобы плоскость пленки была параллельна приложенному посто нному магнитному полю, т.е. угол между полем и пленкой задан равным О производ т запись: спектра .ферромагнитного резонанса 45 пленки при повышении температуры до температуры Кюри.
На фиг. i представлен спектр ферромагнитного резоканса пленки до имплантаций.; на фиг. 2 - то же, 50 после ионной имплантации.
Спектр состоит из одиночной линии ферромагнитного резонанса, плавно переход щей в электронную парамагнитную резонансную линию при Т .
Спектр ферромагнитного резонанса той же пленки после ионной имплантации при Т Tj{ также представл ет собой одиночную линию, однако при приближении к температуре Кюри от этой линии отдел етс  дополнительна  лини , котора  соответствует ферромагнитному резонансу дефектного поверхностного сло  (фиг. 1).На этом же рисунке показаны метки ЭПР-стандарта (ДФПГ), относительно которых определ етс  положение резонансных линий дефектной и бездефектной фаз.
Использование предлагаемого способа позвол ет проводить дефектоскопию широкого класса магнитных пленок как с ферро-, так и с ферромагнитным упор дочением, с точкой компенсации и без нее, с моно- и поликристаллической структурой, непрозрачных дл  оптического излучени .

Claims (1)

1.Патент США 3564401,
кл. 324-43 (G 01 R 33/02), 19652 .Аваева И.Г., Лисовский Ф.В., Мансветова Е.Г., С&льникова Е.И., Червоненкис А.Я..Вли ние структурной стратификации эпитаксиальных пленок магнитных гранатов на свойства несквознмх цилиндрических доменов. , 1979, т.21, вып. 2, с.406-415
dlldn
dl/ttH
,
./
SU803002504A 1980-11-11 1980-11-11 Способ контрол однородности магнитной пленки SU947798A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803002504A SU947798A1 (ru) 1980-11-11 1980-11-11 Способ контрол однородности магнитной пленки

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803002504A SU947798A1 (ru) 1980-11-11 1980-11-11 Способ контрол однородности магнитной пленки

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU947798A1 true SU947798A1 (ru) 1982-07-30

Family

ID=20925420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803002504A SU947798A1 (ru) 1980-11-11 1980-11-11 Способ контрол однородности магнитной пленки

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU947798A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106950244A (zh) * 2017-02-27 2017-07-14 西安交通大学 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106950244A (zh) * 2017-02-27 2017-07-14 西安交通大学 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法
CN106950244B (zh) * 2017-02-27 2019-03-01 西安交通大学 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电-弛豫相变的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Koronovskyy et al. Electromagneto-optical effects on local areas of a ferrite-garnet film
Okada et al. Ferroelectric behavior of radiation-damaged triglycine sulfate and rochelle salt up to high dosage
SU947798A1 (ru) Способ контрол однородности магнитной пленки
Karim et al. Frequency dependence of the FMR linewidth in single crystal barium ferrite platelets
Williams et al. The Magnetostriction, Young's Modulus and Damping of 68 Permalloy as Dependent on Magnetization and Heat Treatment
Oja et al. Nuclear-magnetic-resonance studies of ferroelectricity in normal and irradiated rochelle salt
Dorsey et al. Epitaxial Pb–Fe–O film with large planar magnetic anisotropy on (0001) sapphire
US4269651A (en) Process for preparing temperature-stabilized low-loss ferrite films
Balbashov et al. Submillimeter spectroscopy of antiferromagnetic dielectrics. Rare-earth orthoferrites
US5434505A (en) Method and apparatus for low temperature HEMT-like material testing
Craik et al. The evaluation of magnetic bubble domain specimens
US4342962A (en) Method for measuring coercivity in magnetic materials
De Waard et al. An experimental investigation of the surface magnetization of iron using the magneto‐optical Kerr effect
Borghese et al. Evidence of unpinned magnetostatic modes in a thick yttrium-iron-garnet epilayer
Biswas Strain-Induced Magnetoelectric Properties of Epitaxial (010) o-DyFeO3 Thin Films
Yushchuk et al. The epitaxial iron-yttrium garnet films with homogeneous properties and narrow FMR line width
SU917150A1 (ru) Способ определени структуры тонких магнитных пленок
US3681602A (en) Device for detecting and recording electromagnetic radiation including an active magnetic element a parameter of which can be changed by the radiation
Greiner et al. Contactless measurement of the conductivity of II–VI epitaxial layers by means of the partially filled waveguide method
Tikhomirov Anomalies of ferroelectric domain wall motion near the transition point
Holland et al. Ultrasonic Attenuation in Czochralski‐Grown Y3Ga5O12
Suzuki et al. A New Measurement System of the Surface Magneto-Optic Kerr Effect (SMOKE)
Koo The Magnetoelastic Interactions in Dysprosium Single Crystal.
Tyagi et al. Characterization of highly magnetostrictive metallic glass coatings
Wilts et al. Annealing behavior of hydrogen‐implanted magnetic garnet