SU947798A1 - Способ контрол однородности магнитной пленки - Google Patents
Способ контрол однородности магнитной пленки Download PDFInfo
- Publication number
- SU947798A1 SU947798A1 SU803002504A SU3002504A SU947798A1 SU 947798 A1 SU947798 A1 SU 947798A1 SU 803002504 A SU803002504 A SU 803002504A SU 3002504 A SU3002504 A SU 3002504A SU 947798 A1 SU947798 A1 SU 947798A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- films
- magnetic film
- film uniformity
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Description
Изобретение относитс к гагнитным измерени м и может быть использовано дл контрол однородности магнитных пленок (МП). Изобретение может быть использовано дл определени многофазности магнитных пленок, опре делени магнитных параметров отдельных фаз пленки, степени легировани магнитных пленок и т.д. Известны магнитометры, в которых измерительна обмотка окружает магнитный сердечник, температура которого в области температуры Кюри незначительно мен етс , что заставл ет флуктуировать восприимчивость материала сердечника Cl. Однако с помощью этого устройства нельз определить характеристики материала с точки зрени его неоднород ности. Известен способ контрол неодноро ности пленок, св занный с флуктуацие состава пленки, с помощью магнитооптических измерений вблизи температуры компенсации монокристаллических пленок ферримагнетикЬв. Под действием внешнего пол в небольшом темпера турном градиенте слои с разным составом про вл ют себ в виде дискрет ных цветных тонов, св занных с дисперсией фарадеевского вращени Г2. Недостатком способа вл етс возможность контролировать только узкий класс пленок ферримагнетиков, обладающих точкой компенсации, исследуемые пленки должны быть монокристаллическими , пленки и подложки должны быть прозрачными в области оптических частот , которые используютс дл дефектоскопии пленок. Цель изобретени - расширение диапазона контрол исследуемых пленок. Поставленна цель достигаетс тем, что в способе контрол однородности магнитной пленки, заключающимс в том, что пленку домещают в посто нное магнитное поле, воздействуют переменным электромагнитным полем, нагревают, нагрев осуществл ют до температуры Кюри материала пленки и при по влении дополнительных резонансных линий фиксируют электронный магнитный резонанс, дефектных облас- тей пленки. На фиг. 1 и 2 представлены спектры магнитного резонанса при нагревании пленок без дефект ов и с дефектным слоем, искусственно созданным методом ионной имплантации. ,
Способ регшизуетс следующим образом .
Исследуема пленка помещаетс в резонатор под определенным углом к приложенному посто нному внешнему полю. Производитс запись спектра 5 ферромагнитного резонанса при повышении температуры Кюри (до точки фазового перехода). Спектр однородной пленки имеет одиночную ферромагнитную резонансную линию, плавно транс- 10 формирующуюс в электронную парамагнитную резонансную линию.
Спектр неоднородной пленки при температурах, близких к температуре Кюри, состоит из нескольких линий,15 кажда из которых соответствует оп- i ределенной магнитной фазе. Разделение резонансных линий происходит вследствие различного температурного хода намагниченности различных фаз. Маг- 20 нитные характеристики различных фаз (намагниченность, ширина линии ферромагнитного резонанса) могут быть определены по известным сортношени м .25
Пример. Провод т контроль однородности пленки -магнитного полупроводника СdCrn$64, .полученной методом испарени компонентов из отдельных испарителей. Пленки напыл ют на ,-. стекл нную подложку, толщина пленок 3000 А , температура Кюри Тцравна 130 К. Дл создани дёфектнрЧ азн пленки подвергают ионной импланта- ции ионами В при дозе 2-1(Г кон/см и энергии 200 КэВ. Ионна импланта- 5 ци приводит к магнитному и структурному раэупор дочению поверхностного .сло пленки.
Исследуемуй пленку помещают в резонатор cnisKTpoMeTpa таким образом, 40 чтобы плоскость пленки была параллельна приложенному посто нному магнитному полю, т.е. угол между полем и пленкой задан равным О производ т запись: спектра .ферромагнитного резонанса 45 пленки при повышении температуры до температуры Кюри.
На фиг. i представлен спектр ферромагнитного резоканса пленки до имплантаций.; на фиг. 2 - то же, 50 после ионной имплантации.
Спектр состоит из одиночной линии ферромагнитного резонанса, плавно переход щей в электронную парамагнитную резонансную линию при Т .
Спектр ферромагнитного резонанса той же пленки после ионной имплантации при Т Tj{ также представл ет собой одиночную линию, однако при приближении к температуре Кюри от этой линии отдел етс дополнительна лини , котора соответствует ферромагнитному резонансу дефектного поверхностного сло (фиг. 1).На этом же рисунке показаны метки ЭПР-стандарта (ДФПГ), относительно которых определ етс положение резонансных линий дефектной и бездефектной фаз.
Использование предлагаемого способа позвол ет проводить дефектоскопию широкого класса магнитных пленок как с ферро-, так и с ферромагнитным упор дочением, с точкой компенсации и без нее, с моно- и поликристаллической структурой, непрозрачных дл оптического излучени .
Claims (1)
1.Патент США 3564401,
кл. 324-43 (G 01 R 33/02), 19652 .Аваева И.Г., Лисовский Ф.В., Мансветова Е.Г., С&льникова Е.И., Червоненкис А.Я..Вли ние структурной стратификации эпитаксиальных пленок магнитных гранатов на свойства несквознмх цилиндрических доменов. , 1979, т.21, вып. 2, с.406-415
dlldn
dl/ttH
,
./
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803002504A SU947798A1 (ru) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | Способ контрол однородности магнитной пленки |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU803002504A SU947798A1 (ru) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | Способ контрол однородности магнитной пленки |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU947798A1 true SU947798A1 (ru) | 1982-07-30 |
Family
ID=20925420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU803002504A SU947798A1 (ru) | 1980-11-11 | 1980-11-11 | Способ контрол однородности магнитной пленки |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU947798A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106950244A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-07-14 | 西安交通大学 | 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法 |
-
1980
- 1980-11-11 SU SU803002504A patent/SU947798A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106950244A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-07-14 | 西安交通大学 | 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电‑弛豫相变的方法 |
CN106950244B (zh) * | 2017-02-27 | 2019-03-01 | 西安交通大学 | 一种基于电子自旋共振探测铁电体中铁电-弛豫相变的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Koronovskyy et al. | Electromagneto-optical effects on local areas of a ferrite-garnet film | |
Okada et al. | Ferroelectric behavior of radiation-damaged triglycine sulfate and rochelle salt up to high dosage | |
SU947798A1 (ru) | Способ контрол однородности магнитной пленки | |
Karim et al. | Frequency dependence of the FMR linewidth in single crystal barium ferrite platelets | |
Williams et al. | The Magnetostriction, Young's Modulus and Damping of 68 Permalloy as Dependent on Magnetization and Heat Treatment | |
Oja et al. | Nuclear-magnetic-resonance studies of ferroelectricity in normal and irradiated rochelle salt | |
Dorsey et al. | Epitaxial Pb–Fe–O film with large planar magnetic anisotropy on (0001) sapphire | |
US4269651A (en) | Process for preparing temperature-stabilized low-loss ferrite films | |
Balbashov et al. | Submillimeter spectroscopy of antiferromagnetic dielectrics. Rare-earth orthoferrites | |
US5434505A (en) | Method and apparatus for low temperature HEMT-like material testing | |
Craik et al. | The evaluation of magnetic bubble domain specimens | |
US4342962A (en) | Method for measuring coercivity in magnetic materials | |
De Waard et al. | An experimental investigation of the surface magnetization of iron using the magneto‐optical Kerr effect | |
Borghese et al. | Evidence of unpinned magnetostatic modes in a thick yttrium-iron-garnet epilayer | |
Biswas | Strain-Induced Magnetoelectric Properties of Epitaxial (010) o-DyFeO3 Thin Films | |
Yushchuk et al. | The epitaxial iron-yttrium garnet films with homogeneous properties and narrow FMR line width | |
SU917150A1 (ru) | Способ определени структуры тонких магнитных пленок | |
US3681602A (en) | Device for detecting and recording electromagnetic radiation including an active magnetic element a parameter of which can be changed by the radiation | |
Greiner et al. | Contactless measurement of the conductivity of II–VI epitaxial layers by means of the partially filled waveguide method | |
Tikhomirov | Anomalies of ferroelectric domain wall motion near the transition point | |
Holland et al. | Ultrasonic Attenuation in Czochralski‐Grown Y3Ga5O12 | |
Suzuki et al. | A New Measurement System of the Surface Magneto-Optic Kerr Effect (SMOKE) | |
Koo | The Magnetoelastic Interactions in Dysprosium Single Crystal. | |
Tyagi et al. | Characterization of highly magnetostrictive metallic glass coatings | |
Wilts et al. | Annealing behavior of hydrogen‐implanted magnetic garnet |