SU900343A1 - Устройство дл изготовлени фотоэлектронных приборов - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННБ1Х

1

Изобретение относитс  к области электровакуумного производства, в частности к оборудованию дл  изготовлени  фотоэлектронных приборов (ФЭП).

Известно устройство дл  изготовлени  ФЭП, содержащее вакуумную рабочую камеру , внутри которой смонтирована неподвижна  камера формировани  с соосно размещенными в ней обрабатываемыми заготовкой фотокатода и корпусом ФЭП, снабженными уплотнительными элементами. Камера формировани  снабжена подвижной перегородкой с отверстием и автивировочным узлом, котора  раздел ет обрабатываемые части фотоэлектронного прибора. Вакуумноплотное сочленение узла фотокатода с корпусом прибора осуществл етс  запрессовкой через индиевую прокладку 1.

Недостатками этого устройства  вл ютс  низка  надежность герметизации оболочки ФЭП, невысока  производительность, вызванна  однопозиционностью устройства, кроме того, отсутствует возможность изготовлени  фотоэлектронных приборов, отдельные части которых по технологии обрабатывают в обособленных отсеках (например фоПРИБОРОВ

тоэлектронные умножители с микроканальными пластинами).

Известно также устройство дл  изготовлени  электронно-оптических приборов (ЭОП), содержащее вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел и отсеком герметизации с расположенным в нем подвижным держателем корпуса ЭОП с механизмом перемещени  и механизм переноса заготовок, который

10 выполнен в виде двух расположенных друг над другом соосных и синхронно вращающихс  карусел х. Герметизаци  прибора осуществл лась в результате соединени  уплотни .j тельных элементов 2.

Недостатком данного устройства  вл етс  низкое качество приборов и недостаточна  эксплуатационна  надежность устройства , вызванна  наличием в высоковакуумной 20 камере двух вводов вращени  каруселей. Цель изобретени  - повышение качества изготовлени  фотоэлектронных приборов и эксплуатационной надежности устройства .

Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройстве, содержащем вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел, и отсеком герметизации ФЭП с расположенными в нем подвижным держателем корпуса ФЭП с механизмом перемещени , и механизм переноса заготовки, отсек герметизации ФЭП снабжен коаксиально расположенными наружным и внутренним колпаками, прозрачными дл  лучей лазера, размещенными соосно держателю корпуса ФЭП, который снабжен автономной системой вакуумной откачки и установлен с возможностью перемещени  во внутренний колпак, при этом вакуумна  камера установлена с возможностью вращени  относительно оси держател  ФЭП. Кроме того , механизм перемещени  держател  корпуса ФЭП выполнен в виде щарнирного параллелограмма , размещенного в сильфоне.

На чертеже показана предлагаема  установка в продольном сечении, общий вид.

Установка содержит горизонтально расположенную вакуумную камеру 1, в заднюю стенку которой встроен управл емый извне механизм 2 переноса заготовки фотокатода 3. Этот механизм с сильфонной герметизацией и оснащен электромагнитным захватом. К одному нижнему фланцу камеры 1 пристыкованы отсек герметизации, а к другому - активировочный узел 5. Отсек 4 и активировочный узел 5 разнесены на определенные рассто ни  друг от друга и  вл ютс  технологическими позици ми изготовлени  фотоэлектронного прибора. В отсеке 4 размещен подвижный держатель 6 корпуса 7 обрабатываемого фотоэлектронного прибора, закрепленный на шарнирном параллелограмме 8 с приводом 9. Шарнирный параллелограмм 8 и привод 9 наход тс  вне вакуумной зоны камеры и отделены от нее сильфоном 10.

Подвижный держатель 6 снабжен откачным гнездом 11 с одной стороны вакуумноплотно сочлененным при помощи щтенгел  12 с корпусом 7 прибора, а с другой стороны он вакуумноплотно сочленен при помощи гибкого щланга 13 с дополнительным электроразр дным вакуумным насосом 14.

К верхнему фланцу 15 камеры 1 вакуумплотно пристыкован наружный стекл нный колпак 16, оснащенный внутренним стекл нным колпаком 17, продолжающим объем отсека герметизации, прозрачными дл  лучей лазера и смонтированными соосно подвижному держателю 6. Назначение внутреннего стекл нного колпака 17 - экранировка наружного стекл нного колпака от испарени  и всплесков свариваемых в вакууме металлических кромок частей фотоэлектронного прибора.

Активировочный узел 5 содержит стекл нный цилиндр 18, на верхний торец которого устанавливаетс  подлежаща  обработке заготовка фотокатода 3. Внутренн   полость цилиндра 18, обособленна  от основного объема камеры 1, а также объем камеры I соединены вакуумопроводом 19 с основным электроразр дным насосом 20. В

активировочном узле 5 проводитс  один из основных технологических процессов - формирование на стекл нной подложке фотокатода прибора. На фланце 21 активировочного узла 5 размещены испарители 22, тоj ковводы 23, датчики. Имеетс  система разогрева 24 и охлаждени  25, смонтированна  на правом боковом фланце 26 камеры 1 и вверху окно 27 дл  подсветки. Слева камера 1 снабжена смотровым окном 28. Камера 1 вместе с отсеком 4, насосами 14, 20 смонi тирована на щарикоподщипниковых опорах 29 поворотного стола 30, расположенного в атмосфере. При этом ось вращени  опоры 29 совмещена с геометрической осью О-О обрабатываемого фотоэлектронного прибора.

- На верхнем торце внутреннего стекл нного колпака 17 установлена пружина 31, взаимодействующа  с узлом фотокатода 3 при его подъеме в зону колпака на позицию лазерной сварки прибора. Слева от стекл нного колпака 16 размещен неподвижно источS ник 32 лазерного излучени .

Установка работает следующим образом. Заготовка фотокатода 3 устанавливаетс  на верхний торец стекл нного цилиндра 18, а корпус 7 обрабатываемого прибора при помощи щтенгел  12 вакуумноплотно соедин ют с откачным гнездом 11 и закрепл ют в подвижном держателе 6. При этом держатель 6 находитс  в нижнем исходном положении (на чертеже показано штрих-пунктиром ), а механизм 2 переноса находитс  в

среднем промежуточном положении. Затем камеру 1 вместе с активировочным узлом 5 и вакуумопроводом 19 сочлен ют по ее нижнему фланцу с отсеком 4 и с насосом 20. После откачки и обезгаживани  камеры 1, отсека 4 и активировочного узла 5 производитс  формирование фотокатода путем нанесени  компонентов на заготовку фотокатода 3 и активирование ее. Готовый фотокатод 3 при помощи механизма 2 переноса, оснащенного электромагнитным захватом

5 (заготовка фотокатода имеет коваровое кольцо ) , поднимаетс  над торцом стекл нного цилиндра 18 и переноситс  в зону расположени  отсека 4 (на позицию сборки) до совмещени  с осью О-О прибора, где сочлен етс  с корпусом 7 фотоэлектронного прибора , установленного в держателе 6.

Держатель 6 вместе с собранными част ми прибора (узлом фотокатода 3 и корпусом 7 прибора) при помощи механизма щарнирного параллелограмма 8, управл емого

5 извне приводом 9, поднимаетс  вверх в зону внутреннего стекл нного колпака 17, на позицию лазерной заварки. Здесь узел фотокатода 3 поджимаетс  пружиной 31 к корпусу 7 прибора.

Луч лазера от неподвижного источника 31 фокусируетс  через стекл нные колпаки 16 и 17 на свариваемые металлические кромки прибора, включаетс  вращение поворотного стола 30, размещенного в атмосфере, и происходит автоматическа  вакуумоплотна  сварка в импульсном режиме.

Дл  получени  вакуумноплотного щва достаточно повернуть стол 30 (а значит и обрабатываемый прибор) на один оборот вокруг геометрической оси О-О со скоростью 20 мм/мин. При повороте стола 30 на один оборот, поворачиваютс  также камера 1 и насосы 14, 20, смонтированные на его подвижной платформе.

Выдел ющиес  при лазерной сварке газы откачиваютс  основным насосом 20 (камерна  откачка) и дополнительным насосом 14 (штенгельна  откачка) через щтенгель 12 откачное гнездо И и гибкий щланг 13, поддержива  давление внутри прибора на уровне 5-10 - 10 мм рт. ст. После окончани  сварки насос 20 выключаетс , нижний фланец камеры 1 снимаетс  с фланца отсека 4, а обработанный прибор вынимаетс  из камеры путем перекусывани  металлического штенгел  12.

Использование предлагаемого устройства позволит повысить надежность и долговечность ФЭП за счет герметизации корпуса лазерной сваркой и возможностью визуального контрол  за ее качеством.

Исключение герметичных .выводов вращательного движени  повысит эксплуатационную надежность устройства.

Claims (2)

1. Формула изобретени  /-Устройство дл  изготовлени  фотоэлектронных приборов, содержащее вакуумную камеру с отсеком активации, в котором расположены держатель заготовки фотокатода и активировочный узел, и отсеком герметизации фотоэлектронного прибора с расположенными в нем подвижным держателем корпуса фотоэлектронного прибора с механизмом перемещени , и механизм переноса заготовки, отличающеес  тем, что, с целью повыщени  качества изготовлени  фотоэлектронных приборов и эксплуатационной надежности устройства, отсек герметизации фотоэлектронного прибора снабжен коаксиально расположенными наружным и внутренним колпаками, прозрачными дл  лучей лазера , размещенными соосно держателю корпуса фотоэлектронного прибор.а, который снабжен автономной системой вакуумной откачки и установлен с возможностью перемещени  во внутренний колпак, при этом вакуумна  камера установлена с возможностью вращени  относительно оси держател  фотоэлектронного прибора.
2. 2. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что механизм перемещени  держател  корпуса фотоэлектронного прибора выполнен в виде шарнирного параллелограмма, размещенного в сильфоне.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

   1.Авторское свидетельство СССР

   № 696557, кл. Н 01 J 9/12, Н 01 J 31/50, 1977.

   2.Авторское свидетельство СССР № 476621, кл. Н01 J 9/12, 1972.