SU897477A2 - Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей - Google Patents

Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей Download PDF

Info

Publication number
SU897477A2
SU897477A2 SU802913116A SU2913116A SU897477A2 SU 897477 A2 SU897477 A2 SU 897477A2 SU 802913116 A SU802913116 A SU 802913116A SU 2913116 A SU2913116 A SU 2913116A SU 897477 A2 SU897477 A2 SU 897477A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
stop
machine
parts
lever
grinding
Prior art date
Application number
SU802913116A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Дмитриевич Рожок
Анатолий Анатольевич Иванов
Борис Андреевич Олейников
Виктор Афанасьевич Лажевский
Алексей Иванович Татаренков
Гелий Фомич Скрипко
Анатолий Антонович Марченко
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority to SU802913116A priority Critical patent/SU897477A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU897477A2 publication Critical patent/SU897477A2/ru

Links

Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

(54) СТАНОК ДЛЯ ПРЕЦИЗИОННОГО ШЛИФОВАНИЯ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к прецизионным шлифовальным станкам, используемых преимущественно при шлифовании плоских неметаллических полупроводниковых деталей типа подложек дл  микросхем. По основному авт. св. № 282089 известен станок, содержаш,ий врашаюш,ийс  столик с планшайбой на шаровой опоре, соединенный с валом привода вращени , и подвижный относительно корпуса вала щлифоваль ного шпиндел  упор, расположенный сверху над вращающимс  столиком 1. Однако вращающийс  столик недостаточно устойчиво фиксируетс  в рабочем положении , в результате чего не обеспечиваетс  заданна  точность обработки плоских поверхностей деталей, особенно с увеличением диаметра обрабатываемых изделий свыше 50 мм. Кроме того, не обеспечиваетс  равномерный и стабильный съем заданного припуска, что приводит к поломке дорогосто щих обрабатываемых деталей за счет перегрузок, возникающих при обработке . Цель изобретени  - повышение точности обработки деталей путем повышени  на дежности фиксации вращающегос  столика в рабочем положении. Указанна  цель достигаетс  тем, что станок дл  прецизионного шлифовани  плоских поверхностей деталей снабжен дополнительным упором, на котором установлен подвижный столик, и размещенным на станине станка плунжерным фиксатором, взаимодействующим с дополнительным упором, при этом упом нутый упор снабжен двум  опорами качени , одна из которых размещена между ним и столиком, а посрелЧством второй - нижний упор соединен со столиком таким образом, что имеет возможность совместного с ним осевого перемещени . Кроме того, плунжерный фиксатор размещен с возможностью установочного пере . мещени  в двух взаимно перпендикул рных направлени х. Причем дополнительный упор установлен на введенных в устройство направл ющих колонках, дополн1 тельно соединен с вращающимс  столиком при помощи также введенных в устройство амортизаторов, и подпружинен относительно станины в направлении верхнего упора упругими элементами , расположенными между нижним упором и станиной. На чертеже показан предлагаемый станок , общий вид. Станок дл  прецизионного шлифовани  плоских поверхностей деталей включает шлифовальную, головку 1, в которой расположен шпиндель 2 инструмента, закрепленный в корпусе шлифовальной головки 3, верхний упор 4 с регулировочными элементами , механизм подачи 5 шпиндел  2 вместе с закрепленным абразивным инструментом 6 не деталь 7. На верхнем упоре 4 установлены две пластины 8 и 9, между которыми расположен сепаратор с шариками 10. Подвижный столик 11 через шаровую опору 12 установлен на валу 13, который расположен свободно в гильзе 14, закрепленной на станине 15 станка. Вал 13 опираетс  на механизм 16, который регулирует величину силы, направленной по оси вала 13 к верхнему упору 4, дл  прижати  к нему планщайбы 17 пружиной 18 при включенном рычаге 19, который закреплен в станине 15. Столик И установлен на дополнительном упоре 20, имеющем две опоры качени  21 и 22, одна из которых (21) расположена между упором 20 и столиком И, а втора  (22) соедин ет столик 11 с упором 20, при помощи основани  23, винтов 24 и амортизаторов 25. Упор 20 соединен со станиной 15 станка направл ющими колонками 26 и установлен на пружинах 27, которые расположены между нижней частью упора 20 и станиной 15 станка. Столик 11 В рабочем положении ориентируетс  нижним упором 20, который по периферии сопр жен с плунжерным фиксатором 28, закрепленным с возможностью регулировочного перемещени  на кронштейне 29. Плунжерный фиксатор 29 собран с нат гом на опорах качени  30, удерживаетс  в исходном положении рычагом 31 и подпружинен в направлении дополнительного упора 20 упругим элементом 32. Исходна  регулировка станка заключаетс  в установке контактной поверхности верхнего упора 4 и оси плунжерного фиксатора 28 перпендикул рно оси.вращени  инструмента 6. Станок, работает следующим образом. Столик 11 совместно с упором 20 находитс  в крайнем нижнем положении под действием рычага 19. Планшайбу 17 с закрепленными на ней детал ми 7 устанавливают на вращающийс  столик 11 станины 15. Рычагом 19 освобождают пружины 18 и 27 подвижного вала 13 и упора 20, которые равномерно с заданным усилием прижимают планшайбу к базовой плоскости верхнего упора 4, ориентирующему планшайбу 17 с детал ми 7 в заданной плоскости шлифовани . Затем рычагом 31 освобождают плунжерный фиксатор 28, который под воздействием упругого элемента 32 входит, например , в конусное углубление, выполненное на периферии нижнего упора 20, и надежно фиксирует заданное положение вращающегос  столика 11 с планшайбой 17 и детал ми 7, сориентированное относительно контактной поверхности верхнего упьра 4. После включают привод инструмента 6, столика 11 и механизма подачи 5 и производ т съем заданной величины пропуска. При включении привода стола происходит вращение столика 11 с планшайбой 17 и детал ми 7 по опоре качени  21, нижний упор 20 остаетс  неподвижный. При включении привода механизма подачи 5 происходит одновременное перемещение шпиндел  2 и инструмента 6 на деталь 7. Столик 1 свободно движетс  по опоре качени  21 в строго определенном направлении, определ емои исходной регулировкой контактной поверхности верхнего упора 4 и оси плунжерного фиксатора 28. При достижении заданной толщины детали механизм подачи 5 автоматически отводит абразивный режущий инструмент 6 в верхнее исходное положение. Рычагом 31 отвод т плунжерный фиксатор 28 от нижнего упора 20, а рычагом 19 опускают столик 11 совместно с упором 20 в исходное положение. Вертикальное совместное перемещение столика 11 и упора 20 обеспечиваетс  за счет основани  23, несущего опору качени  22, котора  с посто нным нат гом поджата а.мортизатором 25 к нижнему упору 20 и удерживаетс  на винтах 24. В рабочем положении столик 11 поджат двум  упорами, верхНИМ 4 и дополнительным упором 20, который по периферии сопр жен с плунжерным фиксатором 28. Станок позвол ет повысить надежность фиксации столика в рабочем положении, в результате чего точность обработки повышаетс . Формула изобретени  1.Станок дл  прецизионного шлифовани  плоских поверхностей деталей по авт. св. № 282089, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности обработки деталей за счет повыщени  надежности фиксации подвижного столика в рабочем положении , станок снабжен дополнительным упором , на котором установлен подвижный столик , размещенным на станине станка плунжерным фиксатором, установленным с возможностью взаимодействи  с дополнительным упором, при этом упом нутый упор снабжен двум  опорами качени , одна из которых размещена между ним и столиком, а посредством второй - нижний упор соединен со столиком с возможностью совместного осевого перемещени .
  2. 2.Станок по п. 1, отличающийс  тем, что плунжерный фиксатор размещен с воз
SU802913116A 1980-04-14 1980-04-14 Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей SU897477A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802913116A SU897477A2 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802913116A SU897477A2 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU282089 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU897477A2 true SU897477A2 (ru) 1982-01-15

Family

ID=20891001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802913116A SU897477A2 (ru) 1980-04-14 1980-04-14 Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU897477A2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6986702B2 (en) Centerless grinding apparatus and centerless grinding method
JP2610931B2 (ja) 光ファイバコネクタの端面加工装置
US5070592A (en) Spindle unit of a machine tool in which tools changing is available
US4563837A (en) Ultra-precision grinding machine
SU897477A2 (ru) Станок дл прецизионного шлифовани плоских поверхностей деталей
US3023552A (en) Grinding apparatus
CN212122905U (zh) 一种旋转套快速装夹定位工装
US4069530A (en) Apparatus for chamfering, pointing or the like of workpieces having a head or shoulder
GB2151955A (en) Grinding machines
GB1211644A (en) Improvements in the shape-cutting of sheet metal
SU1047649A1 (ru) Устройство автоматической смены инструментов сверлильно-фрезерного станка
US2838888A (en) Compensating radial work support for an internal centerless grinder
SU134100A1 (ru) Накатной инструмент дл отделочно упрочн ющей обработки плоских металлических поверхностей
SU1553283A1 (ru) Кондуктор дл сверлени отверстий под углом
US5003728A (en) Machine for abrasive treatment
SU1393544A1 (ru) Поводковый центр
RU2092298C1 (ru) Устройство для микроподачи заготовок при шлифовании
SU1137675A1 (ru) Металлорежущий станок
RU1804948C (ru) Резцова головка
SU1682140A1 (ru) Приспособление с ориентацией детали при финишной обработке
JPS6335381B2 (ru)
SU1274915A1 (ru) Устройство дл упрочн юще-чистовой обработки
SU1440617A1 (ru) Резцова головка
SU282089A1 (ru) Станок для прецизионного шлифования плоских поверхностей деталей
SU299333A1 (ru) УСТРОЙСТВО дл ПРЕЦИЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ