SU894356A1 - Устройство дл контрол толщины оптических деталей - Google Patents

Устройство дл контрол толщины оптических деталей Download PDF

Info

Publication number
SU894356A1
SU894356A1 SU802900942A SU2900942A SU894356A1 SU 894356 A1 SU894356 A1 SU 894356A1 SU 802900942 A SU802900942 A SU 802900942A SU 2900942 A SU2900942 A SU 2900942A SU 894356 A1 SU894356 A1 SU 894356A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
thickness
radiation
optical
flux
receiving
Prior art date
Application number
SU802900942A
Other languages
English (en)
Inventor
Вячеслав Михайлович Суминов
Анатолий Анатолиевич Гребнев
Елена Ивановна Гребенюк
Александр Дмитриевич Витман
Николай Павлович Захаров
Олег Митрофанович Сазонов
Владлен Михайлович Жуков
Original Assignee
Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского filed Critical Московский авиационный технологический институт им.К.Э.Циолковского
Priority to SU802900942A priority Critical patent/SU894356A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU894356A1 publication Critical patent/SU894356A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(5) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к контроль измерительной технике и может найти применение как в радиоэлектронной промышленности дл  контрол  толщины фотошаблонов, так и в оптической дл  контрол  толщины оптических деталей . Преимущественно оно может быть использовано дл  контрол  толщины бесконтактным способом таких оптичес ких деталей, как линзы, плоско-парал лельные пластины, светофильтры. Известно yctpoйcтвo дл . контрол  толщины оптических деталей, в котором отклонение толщины детали от номинала оцениваетс  бесконтактным фотоэлектрическим способом. Изменение толщины детали в данном случае пропорционально сигналу рассогласовани  вырабатываемого приемниками излучени , воспринимающими световой поток отраженный от верхней и нижней повер ности контролируемой детали устройство имеет достаточно сложную конструкцию. Точность измерени  такого устройства будет зависеть от вариаций оптических свойств отражающих поверхностей контролируемой детали и их макрогеометрии. Наиболее близким к изобретению  вл етс  устройство дл  контрол  толщины оптических деталей, содержащее подающие и приемные световоды, одни концы которых объединены в единый жгут, а другие - разъединены, и на конце подающего световода установлен источник излучени , а на конце приемного световода - приемник излучени  21. Недостатком известного устройства  вл етс  то, что при контроле толщины стекл нных деталей по вл етс  дополнительный ложный сигнал на выходе приемника излучени  вследствие попадани  в торец приемного световода потока излучени , отраженного от нижней поверхности оптической детали. Это обусловлено там, что больша  часть светового потока, выход щего из подающего световода, распростран етс  в пределах малого апертурного угла, Тов. почти перпендикул рно к поверхности детали. Поскольку величина ложного сигнала будет зависеть от качества поверхности нижней грани и ее ориентации относительно верхней то ошибка измерени , св занна  с лож ным сигналом, будет иметь случайный характер и существенно снижат точность контрол  толщины с помощью данного устройства. Цель изобретени  - повышение точности контрол  Поставленна  цель достигаетс  за, счет того, что торцы приемного и под щего световодов, объединенных в .единый жгут, расположены под углом к плоскости, перпендикул рной ос м симметрии световодов жгута На фиг. t изображена принципиальна  схема устройства дл  контрол  толщины оптических деталей; на фиг,2 сечение А-А на фиг.1; на фиг. 3 один из вариантов устройства; на фиг, - сечение 6-Б на фйг.Зо Устройство содержит (фиг,1 и 3) источник 1 излучени , приемник 2 излучени  J .подающий 3 и приемный k световоды, противоположные концы которых соединены в единый жгут 5. Оси световодов перпендикул рны к верхней поверхности контролируемой детали 6р Весь поток излучени , подаваемь й при емным световодом ||, достигает чувствитель юй поверхности приемника 2 5 злучени . На фиг. 1 и 2 жгут 5 выполнен таким образом, что подающий световод 3 имеет круглое сечение, а приемный -кольцевое, концентричное первому В этом варианте угол наклона торцов подающего и приемного световодов к плоскости, перпендикул рной ос м сим метрии световодов жгута, обеспечиваетс  путем профилировани  его торца в виде вогнутой конической поверхнос На фи. 3 и жгут 5 выполнен таким образом, что подающий и принимаю щий световоды имеют сечени  в виде полукруга. Устройство работает следук цим образом . Поток излучени  источника излучени  передаетс  волокнами подающего световода 3 к поверхности контролиру емой детали 6. Часть потока излучени s . 4 отражаетс  от верхней поверхности контролируемой детали 6 и попадает на торец приемного световода k и далее передаетс  к приемнику 2 излучени ,который вырабатывает электрический сигнал , пропорциональный величине этого потока. Величина потока св зана линейной зависимостью с рассто нием от торца жгута 5 до верхней поверхности контролируемой детали 6 дл  определени  интервала рассто ний. Если контролируема  деталь 6 отличаетс  по толщине от эталонной, что выражаетс  в изменении рассто ни  от торца жгута 5 до верхней поверхности детали 6, то электрический сигнал, вырабатываемый приемником 2 излучени , будет пропорционален изменению толщины. Больша  часть падающего потока излучени  проходит через толщу детали 6 и часть его отражаетс  от нижней грани. Поток излучени , подаваемый каждым отдельным световодом, будет отклон тьс  от оси световода в соответствии с закойом преломлени , В результате на нижнюю поверхность контролируемой детали 6 будут падать косые лучи, которые, отразившись от нее, не будут попадать в приемный световод . Использовани.е изобретени  применительно к контролю оптических деталей в сравнении с известными устройствами обеспечивает меньшую погрешность измерений. Формула изобретени  Устройство дл  контрол  толщины оптических деталей, содержащее подающие и приемные световоды, одни концы которых объединены в единый жгут, а другие - разъединены, и на конце подающего световода установлен источник излучени , а на конце приемного световода - приемник излучени , отличающеес  тем, что,с целью повьйиени  точности контрол ,торцы приемного и подающего световодов,объединенных в единый жгут, расположены под углом к плоскости, перпендикул рной ос м симметрии световодов жгута Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Патент США If 3565531, кл„ 356-156, 23,02,71.
  2. 2. Бэий-Сален. Волоконно-оптический датчик смещени  дл  исследовани  поверхности твердого образца, облученного интенсивным импульсным электронным пучком, - Приборы дл  научных исследований, 1975, т, , № 7, jc, 80-8 (прототип) .
    вЭ356 //
SU802900942A 1980-03-27 1980-03-27 Устройство дл контрол толщины оптических деталей SU894356A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802900942A SU894356A1 (ru) 1980-03-27 1980-03-27 Устройство дл контрол толщины оптических деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802900942A SU894356A1 (ru) 1980-03-27 1980-03-27 Устройство дл контрол толщины оптических деталей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU894356A1 true SU894356A1 (ru) 1981-12-30

Family

ID=20885769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802900942A SU894356A1 (ru) 1980-03-27 1980-03-27 Устройство дл контрол толщины оптических деталей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU894356A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0206433B1 (en) Methods for measuring the light absorbance of a fluid medium
AU6069586A (en) Fibre optic sensor and method of use
KR960038386A (ko) 화학물질 분석 측정용 광학 검출장치
DE3867326D1 (de) Fiberoptischer sensor.
JPH076910B2 (ja) 集束光オプトロード
PL256312A1 (en) Method of and apparatus for measurement of eye movements
JPS62190728A (ja) エツチング終点モニタ法および装置
JPS6113130A (ja) 光フアイバ集合体の検査装置
SU894356A1 (ru) Устройство дл контрол толщины оптических деталей
US3932763A (en) Detector for tubular transparent article
JPS6366441A (ja) 屈折率計
SE8301800D0 (sv) Apparat for bestemning av en vetskas densitet, densitetstal, koncentration, etc
JPS646716A (en) Displacement measuring apparatus
SU1562695A1 (ru) Устройство дл контрол качества цилиндрической поверхности
SU1631496A1 (ru) Оптический датчик перемещени
SU1620836A1 (ru) Устройство дл бесконтактного контрол параметров нитевидного материала
JPS56111403A (en) Sensor for parallel luminous flux photodetection
SU1140017A1 (ru) Оптическое устройство дл контрол качества покрытий
SU1352202A1 (ru) Устройство дл контрол шероховатости поверхности
SU1597537A1 (ru) Способ измерени шероховатости поверхности издели и устройство дл его осуществлени
JPS56133640A (en) Monitoring device for degree of vacuum of vacuum electric equipment
SU1490473A1 (ru) Способ контрол шероховатости поверхности детали и устройство дл его осуществлени
RU2594634C1 (ru) Многоканальное устройство для измерения энергии мощных нано- и пикосекундных лазерных импульсов проходного типа
SU1323852A1 (ru) Измеритель негабаритности тоннелей
JPS6457105A (en) Optical mechanism for detecting displacement of displacement member in apparatus for inflammable gas