SU894345A1 - Способ термокомпенсации тензомостов - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ТБРМОКРМПЕНСАЦИИ ТЕНЗОМОСТОВ

1

Изобретение относитс  к измери- тельной технике, а именно к способам термоког.тенсации тензомостов.

Известен способ термокомпенсации тензомостов, заключающийс  в том, что присоединение тенэорезисторов осуществл ют проводниками из различных материалов, образующих с материалом тензорезисторов термопары , а в мостовую схему ввод т импульсный источник питани , периодически отключающий питание, измер ют выходной сигнал с мостовой схемы при включенном и отключенном источнике питани , определ ют их разность , которую и используют в качестве выходного сигнала с термокомпенсированнЪго тензоМоста fi.

Недостатками данного способа  вл етс  сложность аппаратурной реализации , св занна  с необходимостью использовани  проводников из специально подобранных материалов и синхронизатора, а также низка  точность , св занна  с вли нием переходных процессов при включении и выключении источника питани  на результат измерений.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому положительному эффекту к изобретению  вл етс  способ термокомпенсации тензомостов, заключающийс  в том, что измер ют сопротивлени  тензорезисторов в рабочем диапазоне температур, по ука:занным величинам определ ют значени  I сопротивлений термостабильных компенсационных резисторов и подключают их последовательно и параллельно тен10 зорезисторам. Сопротивлени  компенсационных резисторов определ ют .пу .тем вычислени  температурных коэффициентов сопротивлени  с последующим определением сопротивлений из

15 системы управлений, нулевого баланса

мостовой--, схемы 12.Недостатком данного способа  вл етс  сравнительно низка  точность, 20 св занна  с неучетом изменени  сопротивлени  тензорезисторов при их са«моразогреве протекающим током.

Цель изобретени  - повышение точности термокомпенсации тензомоста. 25 Указанна  цель достигаетс  тем, что при заданном напр жении питани  тензомоста предварительно измер ют падени  напр жени  на тензорезис .торах и измер ют сопротивлени  каждого тензорезистора при данном падеНИИ напр жени  на этом тенэорезисторе .

Способ термокомпенсации тенэомоста осуществл етс  следующим образом .

Интегральные кремниевые преобразователи давлени  с квадратной мембраной толщиной 10 мкм и размерами 1x1 мм с диффузионными тензорезисторами р-типа с сопротивлени ми 150-200 Ом собирают в мостовую тензорезисторную схему. Дл  измерени  сопротивлений тензорезисторов используетс  универсальный потенциометрический измерительный прибор УНИП-бО М. Измерени  осуществл ютс  в рабочем диапазоне Teriператур , например, при двух значени х температуры окружающей среды (20 и ), при подключении мостовой тензорезисторной схемы к источнику посто нного напр жени  (2, 3 и 5В). Дл  измерени  номинальных значений компенсационных тензорезисторов по.стандартной методике используют внутренний источник питани  прибора УНИП-бО М. Исследовани м подвергаетс  двадцать образцов преобразователей давлени . Задают напр жение питани  мостовой тензорезисторной схемы и измер ют падени  напр жени  на тензорезисторах, а затем с помощью прибора УНИП-бО М измер ют сопротивлени  тензорезисторов при измеренных на каждом из тензорезисторов падени х напр жени , соответственно. Полученные значени  сопротивлений подставл ют в уравнени  нулевого баланса мостовой схемы , из которых вычисл ют значени  сопротивлений компенсационных резис торов. После этого.компенсационные резисторы с указанными значени ми подключают последовательно и параллельно в тензорезисторную мостовую схему, после чего определ ют максимальную величину тегтературного

дрейфа нул  в процентах от выходного сигнала на границе линейного диапазона преобразовани  и максимальную величину абсолютного значени  напр жени  начального разбаланса.

Применение изобретени  позвол ет повысить точность измерений за счет снижени  температурного дрейфа нул  и напр жени  начального разбаланса при включении в мостовую тензопетрическую схему компенсационных резисторов , значени  которых определены на основании измерени  сопротивлений тензорёзисторов при рабочих падени х напр жени  на них.

Claims (2)

1.. Авторское свидетельство СССР по за вке № 2627382/25-28, кл. G 01 В 7/18, 1978.

0

2. Сгибов А.П., Трухачев B.C.

Температурна  компенсаци  ухода нул  мостового тензопреобразовател . Приборы и системы управлени , 197.5, № 11, с, 24-26 (прототип).