SU1486766A1 - Способ настройки интегральных тензометрических мостов датчиков . мембранного типа с радиальными и окружными тензорезисторами - Google Patents

Description

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам настройки интегральных тензометрических мостов датчиков мембранного типа. Цель изобретения - повышение точности путем уменьшения температурной погрешности при действии нестационарных температур достигается подгонкой сопротивлений окружных термокомпенсационных резисторов моста до величины, найденной по результатам измерения температурного дрейфа сигнала и изменения сопротивлений термокомпенсационных резисторов при скачкообразном изменении температуры на мембране (при термоударе), 2 ил.

Изобретение относится к измери- ’ тельной технике, в частности к способам настройки интегральных тензометрических мостов мембранных датчиков с радиальным и окружным расположением тензорезисторов.

. Цель изобретения - повышение точности путем уменьшения температурной погрешности при действии нестационарных температур за счет подгонки величин сопротивлений окружных термокомпенсационных резисторов.

На фиг. 1 представлен интегральный тензометрический мост, расположенный на мембране¹, на фиг. 2 - схема включения моста при измерении температурного дрейфа сигнала и изменении сопротивлений термокомпенсационных резисторов.

Способ осуществляют следующим образом.

При изготовлении тензометрического моста, расположенного на мембране 1

(фиг. 1) и состоящего из радиальных 2, 3 и окружных 4, 5 тензорезисторов, в его плечи вводят термокомпенсационные тензорезисторы 6-9 (6 и 8 - радиальные, а 7 и 9 - окружные) Выводы тензорезисторов 2-9 образованы контактными площадками и проводниками 10-19. Мембрану 1 с тензометрическим мостом располагают горизонтально, с помощью клеммной колодки 20 подключают мост к источнику 21 питания и регистрирующему прибору 22 (см. фиг. 2). К регистрирующему прибору 22 подключаются также два термокомпенсационных резистора моста; один радиальный, а другой (например, 6 и 7). Затем скачкообразно изменяют температуру на мембране жидким азотом (термоудар) и измеряют температурный дрейф сигнала и изменение во времени сопротивлений тензорезисторов. 6 и 7. По результатам измерений рассчитывают требуемую

Ж*

3

1486766

4

величину сопротивления окружных термокомпенсационных тензорезисторов 7 и 9, которая отличается от их началь-т ного сопротивления на величину

а Κι

Κ^'₂

·),

где Н

т.4.

100

7, К, и К

йК,

максимальная погрешность сигнала, полученная при измерении температурного дрейфа сигнала термоудара ;

суммарное изменение сопротивлений плеч моста при номинальном значении измеряемой датчиком величины;

сопротивление термокомпенсационных тензорезис-20 торов 6 и 7

а к'

изменение сопротивлении термокомпенсационных тензорезисторов 6 и 7 при. термоударе в момент, соответствующий максимальному значению погрешности выходного сигнала; ₃₀

среднее значение температурного коэффициента сопротивления тензорезисторов 7 и 9, температурные коэффициенты сопротивлений тензореэисторов 6 и 7 соответственно.

После определения Κθ подгоняют сопротивления тензорезисторов 7 и”9 до требуемого значения, изменяя их сопротивления на величину Кд. Затем измеряют начальный выходной сигнал при двух различных стационарных тем

25

<*< ^и

35

»0

пературах и выравнивают его, подгоняя сопротивления тензорезисторов 6 и 8 на величину, рассчитанную аналогично определению Кд.

Применение способа позволяет снизить температурную погрешность в условиях действия нестационарных температур до ее значений при стационарном тепловом режиме.

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Способ настройки интегральных тензометрических мостов датчиков мембранного типа с радиальными и окружными тензорезисторами, заключающийся в том, что в плечи моста вводят термокомпенсационные тензорезисторы, измеряют начальный выходной сигнал для двух различных стационарных температур, рассчитывают требуемую· величину сопротивления окружных термокомпенсационных тензорезисторов и подгоняют сопротивления термокомпенсационных тензорезисторов до требуемой величины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения температурной погрешности при действии нестационарных температур, перед измерением начального выходного сигнала при двух различных стационарных температурах скачкообразно изменяют температуру на мембране, измеряют температурный дрейф сигнала и изменением сопротивлений термокомпенсационных тензорезисторов во времени, по результатам измерений рассчитывают требуемую величину сопротивления окружающих термокомпенсационных терморезисторов и подгоняют значения их сопротивлений до требуемой величины.

   14867 66

   11

   Фаг. 1

   Фаг.1