SU800742A2

SU800742A2 - Тензометрический преобразователь

Info

Publication number: SU800742A2
Application number: SU792739566A
Authority: SU
Inventors: Александр Серафимович Бердинский; Виктор Серафимович Вершинин; Виктор Алексеевич Гридчин; Евгений Алексеевич Мокров; Арнольд Васильевич Саблин
Original assignee: Предприятие П/Я А-1891
Priority date: 1979-03-21
Filing date: 1979-03-21
Publication date: 1981-01-30

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть испольч зовано при конструировании датчиков неэлектрических величин, например датчиков давлени . По основному авт. ев, № 605131 известно тензометрическое устройство , содержащее тензорезисторы, например из кремни , воспринимающие деформацию и преобразующие ее в изменение сопротивлени плеч мостовой схемы, резисторы балансировки, выполненные из того же материала и включенные параллельно меньшим част м тензорезисторов, сопротивление которых равно , «Rmax -(-) где R.., йуг,о,и номинальное, максимальное и минимальное значени тензорезисторов, получаемые в результате технологического разбаланса ШНедостатки устройства - необходи мость применени дополнительных эле ментов термокомпенсации, изменени чувствительности при проведении изм рений в услови х мен ющихс темпе| а тур. Б этом случае примен ютс наве ные терморезисторы, что снижает точность тензопреобразовател . Цель изобретени - повышение точности тензопреобразовател . Указанна цель достигаетс тем, что в устройство введен терморезистор , выполненный из полупроводникового материала, расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы, ориентированный в продольном направлении под углом 45 к кристаллографическим ос м. Кроме того, терморезистор выполнен из кремни и подключен через дополнительный резистор к выходной диагонали мостовой . На фиг. 1 изображена конструкци устройства; на фиг. 2 - электрическа схема тензопреобразовател . Тензопреобразователь включает подложку 1, на которой размещены тензорезисторы 2-7, .элементы балансировки 8 и 9, образующие мостовую схему, терморезистор 10, .расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы ивнешний резистор 11. Тензопреобразователь работает следующим образом. Воздействие механического параметра , например давлени , вызывает де

Claims

Формула Изобретения

1. Тензометрический преобразователь по авт. св. № 605131, отличающийся тем, что, с целью повышения точности в него введен терморезистор, выполненный иэ полупроводникового материала, расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы и ориентированный в продольном направлении под углом

45° к кристаллографическим осям.
2. Преобразователь по п.1, о т личающийся тем, что терморезистор выполнен из кремния и подключен через дополнительный резистор к выходной диагонали мостовой схемы.