SU892524A1 - Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц - Google Patents

Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц Download PDF

Info

Publication number
SU892524A1
SU892524A1 SU802914445A SU2914445A SU892524A1 SU 892524 A1 SU892524 A1 SU 892524A1 SU 802914445 A SU802914445 A SU 802914445A SU 2914445 A SU2914445 A SU 2914445A SU 892524 A1 SU892524 A1 SU 892524A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
control
charged particle
particle beam
beam deflection
deflection
Prior art date
Application number
SU802914445A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Андреевич Лебакин
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8495
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8495 filed Critical Предприятие П/Я В-8495
Priority to SU802914445A priority Critical patent/SU892524A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU892524A1 publication Critical patent/SU892524A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Acyclic And Carbocyclic Compounds In Medicinal Compositions (AREA)
  • Medicines Containing Antibodies Or Antigens For Use As Internal Diagnostic Agents (AREA)

Description

(54) УСТРОЙСТВО УПРАВЛЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЕМ ПУЧКА ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ

Claims (2)

1.Патент США № 4117340, кл. 25О492, опублик. 1978.
2.Патент Японки N 53-24792,
кл. 99/5/С5, опублик. 1978 (прототип).
й
SU802914445A 1980-04-21 1980-04-21 Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц SU892524A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802914445A SU892524A1 (ru) 1980-04-21 1980-04-21 Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU802914445A SU892524A1 (ru) 1980-04-21 1980-04-21 Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU892524A1 true SU892524A1 (ru) 1981-12-23

Family

ID=20891590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU802914445A SU892524A1 (ru) 1980-04-21 1980-04-21 Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU892524A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT8323793A0 (it) Deflettori per separatore di particelle.
GB8406520D0 (en) Scanning charged particle beam
AU507421B2 (en) Electrostatic plate construction for particle orientation
GB2099210B (en) Particle beam accelerator
DE3374626D1 (en) Charged particle beam exposure device incorporating beam splitting
GB2104281B (en) Deflective focusing system for charged particle beam
GB8304436D0 (en) Charged particle beam exposure system
AU537580B2 (en) Charged particle beam tube
JPS56114268A (en) Single potential electrostatic lens for charged particle beam tube
DE3163631D1 (en) Collimator assembly for an electron accelerator
JPS5726799A (en) Magnetic charged particle beam deflector
DE3684228D1 (de) Geladenes teilchenstrahl-lithographiesystem.
SU892524A1 (ru) Устройство управлени отклонением пучка зар женных частиц
AU508977B2 (en) 1-oxa-4,8-diazaspiro(4,5) decanes
AU512172B2 (en) 2, 9-dioxatricylclo (4, 3, 1, 03, 7 ) decanes
JPS52139356A (en) Device for deflecting charged particle beam
SU715876A1 (ru) Электромагнитный клапан
JPS56116000A (en) Charged particle beam machining equipmint
AU8124082A (en) Charged particle beam focussing device
SU862101A1 (ru) Светосильный объектив
SU904729A1 (ru) Контактно-перераспределительна тарелка
SU963884A1 (ru) Устройство дл подачи заготовок "Маркус
SU975123A1 (ru) Устройство дл разделени сферических и несферических частиц
JPS51136277A (en) Lens for electron particle beam
SU901975A1 (ru) Экспонометрическое устройство