SU885868A1 - Устройство дл измерени параметров листовых диэлектриков - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО дл  ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ЛИСТОВЫХ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к измеритель ной технике сверхвыс0кочастотного(СВЧ диапазона и может использоватьс  дл  контрол  тонких резистивных пленок на диэлектрических подложках. Известно устройство дл  измерени  параметров листовых диэлектриков, содержащее сверхвысокочастотный генератор , подключенный к нему облучатель исследуемого листового диэлектрика и отражатель р. Однако известное устройство имеет недостаточную точность и большое врем  измерений. Цель изобретени  - повышение точности при сокращении времени измерений . Поставленна  цель достигаетс  тем что в устройство дл  измерени  параметров листовых диэлектриков, содержащее сверхвысокочастотный генератор подключенный к нему облучатель исследуемого листового диэлектрика и отражатель , введен модул тор, св занный С отражателем, при птом оси облучател  ориентирована под углом Брюстера к плоскости исследуемого листового диэлектрика . На чертеже представлена структурна  схема предлагаемого устройства. Устройство содержит облучатель 1 и установленный, перпендикул рно направлению падающей волны в зоне Френел  облучател  1 отражатель 2, между которыми под углом Брюстера к оси облучател  1 расположен подложкодержатель 3 с исследуемым листовым диэлектриком 4, св занный с блоком 5 сканировани . Модул тор 6 представл ет собой, например, соленоид 7, по которому пропускаетс  переменный ток, .-с 5мдгчит:ным сердечником 8, на конце которого закреплен отражатель 2.Частота вибрации, отражател  2 равна удвоенной частоте переменного тока. Сверхвысокочастотный генератор 9 соединен с облучателем 1. 38 Устройство работает следующим образом . Высокочастотный сигнал с СВЧ-генератора 9 поступает на вход облучател  1, проходит через исследуемый листовой диэлектрик k, закрепленный в подложкодержателе 3, моделируетс  по фазе отражателем 2 и вновь поступает на облучатель 1, а затем на рефлектометрическую СВЧ-схему (не показано;. Так как сигнал попадает на исследуемый диэлектрик под углом Брюстера, то поверхностные волны не возбуждаютс , уровень зондирующего сигнала определ етс  только поверхностным сопротивлением резистивной пленки и не зависит от рассто ни  меж ду отражателем 2 и облхчателем 1. Это позвол ет модулировать зондирующий си нал по фазе при помощи отражател 
2. 2. Возможна также амплитудна  модул ци  зондирующего сигнала, например, при помощи дополнительно установленного перед отражателем модул тора 6, выполненного в виде вращающего диска с отверсти ми. Модул ци  необходима дл  разделени  зондирующего и побочных сигналов, возникающих, например, из-з отражени  07, входа облучател  1 и других неоднородностей. Побочные сйгналы имеют посто нную фазу и амплитуду. Благодар  разделению сигналов повышаетс  точность измерени . Контроль поверхностного сопротивлени  на различных участках исследуемого диэлектрика Ц обеспечиваетс  перемещением его параллельно плоскости в двух ортогональных направлени х с помощью блока 5 сканировани . Информаци  о координатах исследуемого участка поверхности образца и коэффициента отражени , соответственно блока сканировани  и рефлектометра одновременно поступает на регистрирующее устройство дл  записи в паспорт образца или на ЭВМ, определ ющую ВОЗМОЖНОСТЬ дальнейшего использовани  образца. Широкополосность предлагаемого устройства, обусловленна  отсутствием возбуждени  поверхностных волн и размерных резонансов в слое диэлектрика подложки, позвол ет использовать СВЧгенератор без сложной системы автоподстройки частоты, что упрощает устройство и снижает его стоимость. По той же причине не требуетс  предварительного согласовани  высокочастотного тракта дл  компенсации волны, отраженной от подложки, при изменении толщины последней и величины поверхностного сопротивлени  контролируемой резистивной пленки. В результате повышаетс  точность и производительность контрол , что позвол ет использовать устройство в технологическом цикле изготовлени  микросхем, производ  контроль сопротивлени  тонких резистивных пленок, нанесенных на диэлектрические подложки. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  параметров листовых диэлектриков, содержащее сверхвысокочастотный генератор, подключенный к нему облучатель исследуемого листового диэлектрика и отражатель , отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности при сокращении времени измерений, введен модул тор, св занный с отражателем, при этом ось облучател  ориентирована под углом Брюстера к плоскости исследуемого листового диэлектрика. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № it80998, кл. G 01 R 27/26, Г97,2 (прОтотип ). J If t 8 7