SU880174A1 - Способ отжига полупроводниковых пластин - Google Patents
Способ отжига полупроводниковых пластин Download PDFInfo
- Publication number
- SU880174A1 SU880174A1 SU802944385A SU2944385A SU880174A1 SU 880174 A1 SU880174 A1 SU 880174A1 SU 802944385 A SU802944385 A SU 802944385A SU 2944385 A SU2944385 A SU 2944385A SU 880174 A1 SU880174 A1 SU 880174A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plates
- semiconductor plates
- irradiation
- increase
- firing
- Prior art date
Links
Landscapes
- Recrystallisation Techniques (AREA)
- Thyristors (AREA)
Abstract
СПОСОБ ОТЖИГА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включакхций облучение пластин импульсами некогерентного электромагнитного излучени миллисекундного диапазона, отличающийс тем, что, с целью повышени технологичности и увеличени процента выхода, облучениетфoвoд t одновременно с двух противоположных сторон пластины.
Description
00
эо
vl
jib
Claims (1)
- СПОСОБ ОТЖИГА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН, включающий облучение пластин импульсами некогерентного электромагнитного излучения миллисекундного диапазона, отличающийся тем, что, с целью повышения технологичности и увеличения процента выхода, облучение'проводят одновременно с двух противоположных сторон пластины.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802944385A SU880174A1 (ru) | 1980-06-18 | 1980-06-18 | Способ отжига полупроводниковых пластин |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802944385A SU880174A1 (ru) | 1980-06-18 | 1980-06-18 | Способ отжига полупроводниковых пластин |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU880174A1 true SU880174A1 (ru) | 1984-07-30 |
Family
ID=20903618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802944385A SU880174A1 (ru) | 1980-06-18 | 1980-06-18 | Способ отжига полупроводниковых пластин |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU880174A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4743564A (en) * | 1984-12-28 | 1988-05-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing a complementary MOS type semiconductor device |
US4772489A (en) * | 1985-09-20 | 1988-09-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of annealing a compound semiconductor substrate |
-
1980
- 1980-06-18 SU SU802944385A patent/SU880174A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Под ред. С.Намбы. Технологи ионного легировани . М.,Сов. радио, 1974, с. 66-71. 2.Патент US № 3950187, кл. 148-1.5, опублик.1976. 3.R. Cohen et all. Termally assisted flash annealig of silicon and germanium AppI. Phys Lett.33 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4743564A (en) * | 1984-12-28 | 1988-05-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing a complementary MOS type semiconductor device |
US4772489A (en) * | 1985-09-20 | 1988-09-20 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of annealing a compound semiconductor substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
GB2027752B (en) | Surface hardening by high energy beam | |
DK35679A (da) | Varmeabsorberende plade | |
FR2319962A1 (fr) | Procede et dispositif de conversion d'energie solaire | |
PT65948B (fr) | Teuse sur l'absorption des lipides procede de preparation pharmacologique ayant action inhibi | |
FR2313405A1 (fr) | Procede de fabrication de copolymeres de l'ethylene | |
SU880174A1 (ru) | Способ отжига полупроводниковых пластин | |
BE888008A (fr) | Dissipateur hydraulique d'energie | |
FR2331416A1 (fr) | Micro-asperites produites par un faisceau d'energie corpusculaire | |
BE867434A (fr) | Procede et dispositif pour fabriquer des electrodes negatives, notamment en cadnium ou en zinc, pour generateurs electrochimiques et electrodes negatives ainsi obtenues | |
LU81075A1 (fr) | Procede pyroelectrochimique de retraitement de combustibles nucleaires irradies | |
FR2297397A1 (fr) | Machine et procede de fabrication de filets de camouflage | |
FR2409468B1 (fr) | Absorbeur d'energie solaire et procede de fabrication de celui-ci | |
ATE10438T1 (de) | Vorrichtung zum reinigen von fluessigkeiten, insbesondere wasser. | |
JPS51113468A (en) | Solid surface processing system | |
BE769527A (fr) | Procede de traitement d'un combustible nucleaire irradie | |
FR2353485A1 (fr) | Procede perfectionne de fabrication de combustibles par irradiation | |
FR2344637A1 (fr) | Traitement du zinc par echange d'ions | |
SU603393A1 (ru) | Способ лечени зв кожи, вызванных радиоактивным излучением | |
OA05608A (fr) | Dispositif pour receuillir de l'énergie solaire . | |
DK190181A (da) | Pladevarmeveksler | |
DK337481A (da) | Pladevarmeveksler | |
OA05307A (fr) | Procédé et dispositif de collecte de l'énergie solaire. | |
JPS546861A (en) | Dehydrating method for sludge | |
BG30774A3 (en) | Method for obtaining of substituated withone base group in second and sixih position benzo- /1,2- d:4- d/ bistiazole | |
JPS5582724A (en) | Heating method by laser beam |