(54) СПОСОБКОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗДЕЛИЙ(54) PRODUCT QUALITY METHODOLOGY
Изобретение относитс к неразрушающему контролю и может быть исполь зовано дл ультразвукового контрол качества многослойных, например, пол проводниковых структур. Известен способ контрол качества поверхностных слоев путем возбуждени в образце упругих поверхностных волн и измерени их параметров,например , затухани и скорости распространени Cl . Недостаток данного способа контрол качества в его низкой точност обусловленной необходимостью сравне ни результатов контрол с измерени ми на эталонном образце. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигавмому результату вл етс способ контрол качества изделий, заключаю щийс в том, что в контролируемом .о разце возбуждают импульсы упругих поверхностных волн и измер ют их па раметры после прохождени контролируемого издели . Однако точность контрол по известному способу сравнительно невыс ка, так как операци отжига образца вносит большую неопределенность, в процессе изменени параметров многослойной структуры. Целью изобретени вл етс повышение точности контрол . Эта цель достигаетс за счет того, что в зоне распространени упругой поверхностной волны возбуждают дополнительные упругие поверхностные волны, принимают сигналы электроакустического эха, образующегос в результате взаимодействи этих волн, и по их параметрам суд т о качестве издели , а также за счет того, что сигналы электроакустического эха принимают на частотах высших гармоник поверхностных упругих волн. Сущность изобретени заключаетс в использовании дл контрол качества многослойных структур, электроакустического эха, возникающего при взаимодействии нескольких импульсов упругих поверхностных волн. Электроакустическое эхо представл ет собой импульсы новой упругой поверхности волны. Контроль качества многослойных структур по разработанному способу производ т следующим образом. На по- верхности контролируемого издели возбуждают импульс упругих поверхThe invention relates to non-destructive testing and can be used for ultrasonic quality control of multilayer, for example, floor conductor structures. There is a known method for controlling the quality of surface layers by exciting elastic surface waves in a sample and measuring their parameters, for example, attenuation and propagation velocity Cl. The disadvantage of this quality control method is its low accuracy due to the need to compare the control results with measurements on the reference sample. The closest to the invention according to the technical essence and achievable result is the method of quality control of products, which consists in the fact that in a controlled sample the pulses of elastic surface waves are excited and their parameters are measured after the passage of the tested product. However, the accuracy of control by a known method is relatively low, since the operation of annealing the sample introduces a large uncertainty in the process of changing the parameters of the multilayer structure. The aim of the invention is to improve the accuracy of the control. This goal is achieved due to the fact that in the zone of propagation of an elastic surface wave, additional elastic surface waves are excited, they receive signals from the electro-acoustic echo resulting from the interaction of these waves, and by their parameters judge the quality of the product, and also due to the fact that electroacoustic echo is received at frequencies of higher harmonics of surface elastic waves. The essence of the invention is to use for quality control of multilayer structures, electroacoustic echo, arising from the interaction of several pulses of elastic surface waves. The electroacoustic echo is a pulse of a new elastic wave surface. The quality control of multilayer structures according to the developed method is carried out as follows. On the surface of the controlled product, a pulse is excited by an elastic over