SU876578A1 - Покрытие - Google Patents

Description

(54) ПОКРЫТИЕ

Изобретение относитс  к технологии нанесени  тонкослойных покрытий .и может найти применение в спектраль ных приборах, в оптических квантовых генераторах, микроэлектронике и других област х науки и техники. В насто щее врем  испытываетс  остра  потребность в интерференционных оптических покрыти х, обладающих стабильными во времени оптическими характеристиками, высокой механической стойкостью и влагостойкостью Известно тонкослойное оптическое покрытие, срсто щее из сло  фтористо го магни , примен емого дл  уменьшени  отрс1жени  от поверхности стекла или в многослойных диэлектрических покрыти х из чередующихс  слоев в качестве слоев с низким показателем преломлени  1). Наиболее близким к предлагаемому изобретению по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  просветл ющее оптическое покрытие 2 следующего состава,вес.%: MgF 4555; СеРз5-10; 5гГ 40-50. Недостатком указанных покрытий  вл етс  нестабильность во времени его оптических характеристик (старение покрыти ), а также довольно невысока  механическа  прочность. Цель изобретени  - увеличение стабильности оптических характеристик покрыти  и его механической прочности. Поставленна  цель достигаетс  тем, что покрытие, включающее MgFj, дополнительно содержит BaF2 при следующем соотношении компонентов, вес.%: MgF2 85-90; BaFj. 10-15. Изготавливают три различных сло  из фтористого магни  с добавкаили фтористого бари , нанесенные отдельно на три различные подложки и имеющие оптическую толщину Я. /4 (где Д. 600 им) . Конкретные примеры предлагаемых покрытий и их свойств приведены в таблице. 10

Продолжение таблицы

Из таблицы видно что добавка фтористого бари  существенно уменьшает старение покрыти , т.е. UR - из менение коэффициента отражени  во времени уменьшаетс . Оптимальна  добавка фтористого бари  находитс  в пределах 10-15%. Уменьшение добавки приводит к существенному возрастанию количества анионных вакансий фтора и большему старению.

Увеличение содержани  фтористого бари  ( ). дежелательно, так как это црД1водит к увеличению показател  прелойЛ;е1Т1гй сло , по сравнению с показателем преломлени  фтористог магни , что  вл етс  невыгодно с точки зрени  получени  оптимальных оптических свойств.

Кроме того из таблицы видно, что добавка фтористого бари  повышает и механическую прочность покрыти .

Предлагаемое покрытие на основе фтористого магни  и фтористого бари  может работать без изменени  своих оптических характеристик в более жестких климатических услови х по сравнению с известным. Так оно выдерживает без из ленений при 98%-но относительной влажности 10 сут, в то врем  как известное тонкослойное покрытие при этих услови х разрушаетс . Технологи  нанесени  предлагаемого покрыти  не усложнилась по сравнению с известным.

Claims (2)

1.ХОЛЛЭНД Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. М., Госэнергоизда 1963, с. 335.

2. Авторское свидетельство СССР W 529131, кл. С 03 С 17/22, 1975.