SU871573A1

SU871573A1 - Gryogenic vacuum pump

Info

Publication number: SU871573A1
Application number: SU792859091A
Authority: SU
Inventors: О.С. Друй; Е.И. Скибенко; В.Б. Юферов
Original assignee: Предприятие П/Я В-8851
Priority date: 1979-12-27
Filing date: 1979-12-27
Publication date: 1985-07-30

Abstract

1. КРИОГЕННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого эк/ ГС УС рана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда, отличающийс тем, что, с целью повышени экономичности при работе насоса, вблизи источников зар женньк частиц, в нижней части сосуда перпендикул рно его оси размещен сверхпровод щий соленоид. 2. Насос ПОП.1, отличающийс тем, что соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда. 8 S (Л С УС1. CRYOGENIC VACUUM PUMP, comprising a housing with an evacuating element in the form of a vessel filled with refrigerant inside the cooled EC / HS valve, characterized in that, in order to improve the efficiency of the pump, near sources of charged particles, in the lower part of the vessel Perpendicular to its axis, a superconducting solenoid is placed. 2. Pump POP.1, characterized in that the solenoid has through channels arranged parallel to the axis of the vessel. 8 S (L S CSS

Description

5ti5L5 iJl:5ti5L5 iJl:

0000

ел ate

22

0000

-Ц 5-C 5

/ Изобретение относитс к области вакуумной техники. Известен криогенньй вакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем внутри охлаждаемого экрана откачивающим элементом в виде заполненного хладагентом сосуда При работе известного насоса вблизи источника зар женных частиц, часть зар женных частиц, отража сь от экрана, попадает на конденсирующую поверхность насоса, десорбирует 10 -10 мол./см с откачиваемого газа, что приводит к резкому повьшению давлени в установке, кро ме того, работа насоса становитс неэкономичной, поскольку требуютс дополнительные затраты хладагента на повторную конденсацию молекул газа. Цель изобретени - повьшение эко номичности при работе насоса вблизи источников зар женных частиц. Цель достигаетс тем, что в нижней части сосуда перпендикулйрно егThe invention relates to the field of vacuum technology. A cryogenic vacuum pump is known that includes a housing with a pumping element in the form of a vessel filled with a refrigerant inside a cooled screen. When a known pump operates near a source of charged particles, a part of the charged particles, reflected from the screen, falls on the condensing surface of the pump, desorbs 10 - 10 mol / cm of pumped gas, which leads to a sharp increase in pressure in the installation, in addition, the pump operation becomes uneconomical, since additional refrigerant costs are required for second condensation of gas molecules. The purpose of the invention is to increase the economy when the pump is operated near sources of charged particles. The goal is achieved by the fact that in the lower part of the vessel it is perpendicular to it.

оси размещен сверхпровод щий соленоид и, кроме того, соленоид имеет сквозные каналы, расположенные параллельно оси сосуда.the axis is placed a superconducting solenoid and, in addition, the solenoid has through channels located parallel to the axis of the vessel.

На чертеже схематично изображен предлагаемьш насос.The drawing schematically shows the proposed pump.

Криогенный вакуумньй насос содержит корпус 1 с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана 2 откачивающим элементом в виде заполненТаким образом, применение описываемого насоса позвол ет получать безмасл нный вакуум с помощью криогенных средств откачки вблизи источника зар женных частиц, которые в обычных насосах привод т к значительной десорбции- сконденсированных молекул откачиваемого газа, что в р де случаев приводит к полному прекращению работы насоса. 32 кого хладагентом сосуда 3. В нижней части сосуда перпендикул рно его оси размещен сверхпровод щий соленоид 4. Соленоид имеет сквозные каналы 5, расположенные параллельно оси сосуда . Соленоид через изол торы 6 снабжен токовводами 7, которые имеют сверхпровод щую перемычку 8, шунти- , рующую витки соленоида. Насос работает следующим образом. Жидкий гелий заливаетс в сосуд . 3 после того, как экран 2 охлажден жидким азотом до 80 К. Уровень жидкого гели ниже уровн перемычки 8, так что она не переходит в сверхпровод щее состо ние. После того, как гелий залит, соленоид 4 запитываетс током по токовводам 7 от внешнего источника . После достижени необходимой величины магнитного пол у откачивающей поверхности насоса, в сосуд 3 доливаетс гелий так, чтобы перемычка 8 перешла в сверхпровод щее состо ние и зашунтировала соленоид 4,A cryogenic vacuum pump contains a housing 1 with a pumped out element filled inside it inside a cooled screen 2. Thus, the application of the described pump allows to obtain an oil-free vacuum using cryogenic pumping means near a source of charged particles, which in ordinary pumps lead to significant desorption - condensed molecules of the pumped gas, which in a number of cases leads to the complete cessation of pump operation. 32 whom the refrigerant of the vessel is 3. In the lower part of the vessel, a superconducting solenoid 4 is placed perpendicular to its axis. The solenoid has through channels 5 located parallel to the axis of the vessel. The solenoid through insulators 6 is equipped with current leads 7, which have a superconducting jumper 8, shunt the solenoid coils. The pump works as follows. Liquid helium is poured into the vessel. 3 after the screen 2 is cooled with liquid nitrogen to 80 K. The level of the liquid gel is below the level of jumper 8, so that it does not go into the superconducting state. After the helium is filled, the solenoid 4 is supplied with current through the current leads 7 from an external source. After the required magnetic field has been reached at the pumping surface of the pump, helium is added to the vessel 3 so that the jumper 8 goes into the superconducting state and shunts the solenoid 4,

Claims

1. CRYOGENIC VACUUM PUMP, containing a housing with a pumping element placed inside it inside the cooled screen in the form of a vessel filled with refrigerant, characterized in that, in order to increase efficiency during pump operation, near the sources of charged particles, the vessel is perpendicular to its axis in the lower part of the vessel superconducting solenoid.

2. The pump according to claim 1, characterized in that the solenoid has through channels located parallel to the axis of the vessel.

SUm. 871573