SU871122A1 - Объектив телецентрический дл ультафиолетовой области спектра - Google Patents

Description

(54) ОБЪЕКТИВ ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ Изобретение относитс  к области оптического приборостроени ,а именно к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано, главным образом, в генераторах изображени  или микрофотонабор1 ых установках Известны объективы, состо щие из , шести компонентов, из которых три склеенных и три одиночных ij. Эти объективы имеют недостаточно высокое качество изображени . Из известных объективов наиболее близки по технической сущности к изобретению  вл етс  объектив дл  ультрафиолетовой области спектра, содержащий диафрагму и восемь компонентов, семь из которых однолинзовые, приэтом, третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению , и четвертый - отрицательные, а остальные компоненты положительные причем первый, второй п тый и седьмо выполнены в виде дво ковыпуклых линз и имеющий разрешение в центре пол  пор дка 50 ЛИН/ММ, а на краю пол  пор дка 20 ЛИН/мм 2. Однако дл  производства интеграль ных схем указанное разрешение оказываетс  недостаточным. Дл  этой цели необходимы объективу, работающие в

ДЛЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА ультрафиолетовой области спектра с полем пор дка 3 мм и разрешением по полю свыше 1500 лин/мм, при этом в пространстве изображений должен быть обеспечен телецентрический ход лучей, а дисторси  не должна прейышать О,1 мкм. Целью изобретени   вл етс  увеличение разрешакицей способности объектива и повышение ортоскопичности. Указанна  целр достигаетс  тем, что в объективе телецентрическом дл  ультрафиолетовой области спектра, содержащем диафрагму и восемь компонентов , семь из которых однолинзовые , при этом третий, выполненный в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, и четвертый - отрицательные , а остальные компоненты положительные , .причем первый, второй и седьмой выполнены в виде дво ковыпуклых линз, а п тый - мениск, вогнутостью обращенный к изображению, диафрагма установлена за четвертым компонентом, который выполнен в виде дво ковогнутой линзы, при этом шестой компонент выполнен в виде дво ковыпуклой линзы, восьмой в виде мениска, вогнутостью обращенного к изображению, а седьмой компонент дополнен отрицательным мениском , образующим с дво ковыпуклой линзой -двухсклеенную линзу.

На чертеже изображена оптическа  схема.объектива.

Объектив состоит из восьми компонентов 1-8. Компоненты 1 и 2 - положительные дво ковыпуклые линзы. Компонент 3 - отрицательный мениск, ком 1понент 4 - дво ковогнута  отрицательна  линза, компонент 5 - положительный мениск, вогнутостью обращенный | изображению, компонент б - дво ковыпукла  линза, компонент 7 -склеен из дво ковыпуклой положительной линзы 8 и отрицательного мениска 9, компонент 10 выполнен в виде положительHoio толстого мениска. Апертурна  диафрагма 11 расположена между компонентами 4 и 5.

Дл  объектива с увеличением 0,1 числовой апертурой в пространстве .изображений 0,5, полем изображени  |диаметрбм 3 мм,волнова  аберраци  ino всему полю меньше 0,1 дисторси  не превышает ОД что позвол ет считать объектив практически безаберрационным . Разрешающа  способность такого объектива определ етс  теоретическим пределом и составл ет 3500 ЛИН/МИН, что позвол ет получать элементы с минимальными размерами .

Использование такого объектива позвол ет обеспечить переход к производству интегральных схем с субмикг ронными элементами.

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 276456, кл. G 02 В 21/02, 1969.

2.Авторское свидетельство СССР

№ 527682, кл. G 02 В 11/00,1975(Прототип ) .