SU870915A1 - Сканирующий интерферометр - Google Patents

Description

(54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕЮМЕТР

Изобретение относитс  к области оптического приборостроени , в частности к интерференционным приборам, предназначенным дл  сканировани  спектра, и может быть использовано , в частности, в качестве сканирующего интерферометра Фабри-Перо и в Фурье-спектрометрах . Известен сканирующий интерферометр, содер жащий неподвижное зеркало и подвижное зеркало , св занное с приводом, в котором обеспе чиваетс  параллельность зеркал при перемещении с помощью упругнх мембран нлн плоских пружин 1. Недостажом этого интерферометра  вл етс  высока  чувствительность к вибраци м. Наиболее близким к изобретению  вл етс  сканирующий интерферометр, содержащий неподвижное и подвижное зеркала, цилиндрический упругий элемент с двум  фланцами на концах, один из которых жестко закреплен, а на другом установлено подвижное зеркале н привод перемещени  подвижного зеркала. Подвижное зеркало св зано с приводом его перемещени . Цилиндрический упругий, элемент с продольными гофрами соединен на концах с двум  фланцами 2. Недостатком этого сканирующего шггерферо метра  вл етс  отсутствие механической однородности упругого элемента (изменение линейных размеров, механических свойств материала в местах соединени  крайних гофр цилиндра и креплени  к его торцам фланцев), что приводит к неодинаковы деформации всех гофр в средней части цилиндра и отклонению подвижного зеркала от параллельности при сканировании. Дл  обеспечени  строгой параллельности зеркал интерферометра при перемещении подвижного зеркала необходимо, чтобы упругий цилиндр обладал высоксж механической однородностью по всей цилиндрической поверхности, особенно в местах крепле нн  фланцев. Така  однородность в случае гофрированного цилэшдра, имеющего сварные щвы вдоль образующей цилиндра н в местах соединени  фланцев, отсутствует. Кроме того, крепление к гофрированному цилиндру фланцев с равномерным распределением гофр требует сложной технологической осшсткн.

Все эти недостатк снижают точность сканировани .

Целью изобретени   вл етс  повышение точности сканировани .

. Поставленна  цель достигаетс  тем, что на цилиндрической поверхности упругого элемента вьшолнены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные равномерно по окружности, а фланец составл ет с цилиндром одно целое..

На фиг. 1 изображена принципиальна  схемасканирующего интерферометра; на фиг. 2-разрез А-А фиг. 1.

Сканирующий интерферометр содержит неподвижное зеркало 1, расположенное параллельно подвижному зеркалу 2, которое установлено на подвижном фланце цили1щрического упругого элемента 3.

Подвижный фланец упругого элемента 3 соединен с приводом 4 его перемещени . Неподвижным фланцем цилиндрнческий упругий v элемент жестко укреплен на основании 5. На цилиндрической поверхности элемента 3 вьшолнены сквозные окна, направленные вдоль образующей и расположенные равномерно по окружности. Материалом дл  элемеита 3 может служить любой упругий материал, фланцы выполнены заодно с упругим злементом из одного куска материала.

Сканирующий интерферометр работает следующим образом.

Поступательное перемещение подвижного зеркала 2, необходимое дл  сканировани  спектра, осуществл етс  при повороте подвижного фланца цилиндрического упругого элемента вокруг его оси и скручивании цилиндра относительно неподвижного фланца. При этом деформируютс  перемычки между окнами и за счет изменени  диаметра упругого элемента 3 происходит перемещение подвижного зеркала 2 в осевом направлении. Возвратное перемещение

происходит либо под действием упругих сил перемычек при отключенном приводе 4, либо изменением направлени  действи  привода.

Цилиндрический упругий элемент со сквозными окнами может быть изготовлен на обычных металлорежущих станках с высокой точностью. Однородность механических свойств, точность расположени  фланцев обеспечиваетс  тем, что он изготавливаетс  из одного куска материала. Такое вьшолнение злемента 3 позвол ет сохранить устойчивость к вибрационным помехам н обеспечивает строгую параллельность зеркал при перемещении подвижного зеркала. Величина угла закручивани  одного фланца относительно другого зависит от толщины стенки и от числа сквозных окон.

Таким образом, предлагаемый сканирующий интерферометр по сравнению с известными позвол ет повысить точность измерений при сканировании спектра оптического излучени .

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР № 360561, кл. G 01 J 3/06, 1971.

2.Авторское свидетельство СССР NS 535453, кл. G 01 В 9/02, 1975 (прототип).

иг.

Фиг 2