SU864193A1 - Устройство дл контрол полупроводниковых фотослоев - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к контролю электрических свойств полупроводйиковых материалов и предназначено дл  контрол  преимущественно сернисто-кадмиевых фотослоев емкостным бесконтактным методом.

Известно устройство дл  контрол  полупроводниковых слоев, содержащее источник света, набор светофильтров, емкостной датчик, на котором располагаетс  исследуемый фотослой, а также ключ и автогенератор, подключенный к осциллографу Щ

Однако известное устройство,не позвол ет непосредственно измер ть наклон люкс-омической характеристики (f фотослоев. Кроме того, это устройство не позвол ет осуществить локальный контроль матричных фотослоев , изготовл емых, например, по групповой технологии, когда :на одном и том же фотослое выдел етс  матрица фоточувствительных элементов.

Известно также устройство дл  контрол  полупроводниковых фотослоев, содержащее источник света, набор светофильтров, соединенных с приводс и , емкостной датчик, соединенный через ключ с автогенератором, выход которого соединен с масштабным устройством , последовательно соединенные разветвл ющий коммутатор, запоминающее устройство, собирающий коммутатор , формирователь опорных сигналов, соединенный с компаратором, а также синхронизатор, выходы которого соединены с управл ющими входами привода набора светофильтров,ключа,масштабного устройства, коммутаторов,

10 формировател  опорных сигналов и индикатора брака 2 J.

Устройство позвол ет контролировать темновое и световое удельное сопротивление (соответственно, .pf и

15 pg, а также наклон люкс-омической характеристики 7 ). Однако это устройство не позвол ет контролировать инерционность, под которой понимаетс  врем  нарастани  (ТНДР) фототока

20 до некоторого опорного уровн  при скачкообразной засветке фотосло .

Целью изобретений  вл етс  обеспечение возможности контрол  инерционности .

25

Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство дл  контрол  полупроводниковых фотослоев, содержащее источник света, набор светофильтров, соединенных с приводом, емкостной

30 датчик соединенный через ключ с автогенератором , выход которого соединен с масштабным устройством, последовательно соединенные разветвл ющий коммутатор, запоминающее устройство, собираниций коммутатор, формирователь опорных сигналов, соединенный с компаратором , а также синхронизатор, выходы которого соединены с управл ющими входами привода набора светофильтров , ключа, масштабного устройства , коммутатора, формировател  сигналов и индикатора брака, дополнительно введены, электроуправл емый фотозатвор, п ть схем И, две схемы ИЛИ и  чейка пам ти, причем электроуправл емый фотозатвор расположен между источником света и набором светофильтров, перва  схема И включена между масштабным устройством и разветвл ющим коммутатором, последовательно соединенные втора  схема И и перва  схема ИЛИ включены между собирающим коммутатором и компаратором , выход масштабного устройства через третью схему И соединен с вторым входом первой схемы ИЛИ, между выходом компаратора и входом индикатора брака последовательно вклчены четверта  схема И,  чейка пам т и втора  схема ИЛИ, кроме того выход йомпаратора через п тую схему И соединен с вторым входом схемы второ ИЛИ, дополнительные выходы синхронизатора соединены с управл ющими входами схем И.

На чертеже представлена блок-скем предложенного устройства.

Устройство дл  контрол  полупроводниковых фотослоев Содержит последовательЕ о установленные источник света 1, электроуправл емый фотозатвор 2 и набор светофильтров 3, механинески .соединенный с приводом 4. Управл ющие входы электроупраал емог фотозатвора 2 и привода 4 набора светофильтров соединены с синхронизатором 5. Контролируемый фотослой располагаетс  на емкостном датчике б включенном через ключ 7 в автогенератор ,8, выход которого соединен с масштабным устройством 9,.к выходу которого подключена цепочка из последовательно соединенных первой схемы 10, разветвл ющего коммутатора 11, запоминающего устройства,12|собираю (дегр коммутатора 13,второй схемы И 1 и первой схемы ИЛИ 15, причем выход масштабного устройства 9 соединен также через третью схему И 16 с вторым входом первой схемы ИЛИ 15. Второй выход собирающего коммутатора 13 подключен к последовательно соединенным формирователю опорных сигналов 17, компаратору 18,-четвертой схеме И 19,  чейке пам ти 20, второй схеме ИЛИ 21 и индикатору брака 22, причем выход первой схемы ИЛИ 15 соединен с вторым входом компаратора 18, выход которого через

п тую схему И 23 соединен с вторым .входом второй схемы И 14. Дополнительные выходы синхронизатора; 5 соединены с управл ющими, входами схем ИУстройство работает следугацим образом., На емкостной датчик 6 устанавливают фотослой и осуществл ют пуск устройства. Вс  дальнейша  работа протекает автоматически по сигналам синхронизатора 5, при этом контролирующа  р , ЯЕ и Ti причем на схемы И из синхронизатора 5 подаютс  управл ющие сигналы обеспечивающие запоминание сигналов , U , Uj в, соответственно, первой, второй и третьей  чейках пам ти запоминающего устройства 12. Сигналы U, U, U,j по вл ютс  на выходе масштабного устройства 9, если фотослой находитс , соответственно, в темноте, при освещенности Е или при освещенности Е f. После этого осуществл етс  контроль ; НОР следукедим образом. Сигналы из синхронизатора 5 воздействуют на электроуправл емый фотозатвор 2, засвечива  фотослой, на привод 4, устанавлива  освещенность Е, на масштабное устройство 9, устанавлива  требуемый коэффициент усилени , на схему И 10, открыва  ее, на разветвл кщий коммутатор 11, соедин   выход масштабного устройства 9 через схему 10 и замкнутый соответствующий ключ разветвл ющего коммутатора 11 с первой  чекой пам ти запоминающего устройства 12. Спуст  врем  вьщержки Т после засветки фотосло  освещенностью Е по. сигналу из синхронизатора 5 замыкаетс  ключ 7, и емкостной датчик б включаетс  в колебательную систему автогенератора 8, на выходе которого по вл етс  сигнал U, усиливаемый масштабным устройством 9 и запоминаемый в первой  чейке пам ти запоминающего устройства 12. После этого по сигналу из синхронизатора 5 электроуправл емый фотозатвор 2 затен ет фотослой. Оценка качества фотосло  по величине инерционности осуществл етс  посредством контрол  выполнени  неравенства t t- нормируемое значение времени нарас .тани  фототока. Если это неравенство соблюдаетс , то фотослой бракуетс  по Т. Эта операци  выполн етс  следующим образом. По истечении времени Т с момента затемнени  фотосло  , сигналы из синхронизатора 5 воздействуют на электроуправл емый фотоз-атвор, засвечива  фотослой освещенностью на масштабное устройство 9, устанавлива  требуемый коэффициент усилени , на схему И 16, св зыва  выход масштабного устройств 9 через схемы И 16 и ИЛИ 15 с вторым входом компаратора 18, на схему И 19 обеспечива  прохождение сигнала.с

выхода компаратора 18 через схему И 19 на вход  чейки пам ти 20, на собирающий кокв утатор 13, обеспечива  подачу сигнала U из первой  чейки пам ти запоминающего устройства 12 на вход формировател  опорных сигналов 13, на формирователь опорных сигналов 13, обеспечива  формирование опорного уровн , например, 0,63 U , к .подачу его на первый вход компаратора 18. Спуст  врем  t с момента засветки фотосло  из синхрониза тора 5 на управл ющий вход схемы И 16 поступает сигнал запрета, а на управл ющий вход индикатора брака 22 приходит сигнал разрешени . Если t, то фотослой не бракуетс .так как в течение интервала времени t сигна л с выхода масштабного устройства 9, прошедший через схемы И 16 и ИЛИ 15 на второй вход компаратора 18 превышает уровень 0,63 U, сигнал с выхода компаратора 18 проходит через схему И 19 и в  чейке пгш ти 20 запоминаетс  1. В этом случае с выхода  чейки пам ти 20 через схему ИЛИ 21 поступает запрет на вход ийдикатора брака 22, в нем запоминаетс  О и фотослой не будет забракован по P,dp . или, что то же самое, в течение интервала вршлени сигнал с выхода масштабного устройства 9 не прейышает уровень 0,63U/, с выхода компаратора 18 через схему И 19 на  чейку пам ти 20 не поступает сигнал. Ячейка пам ти 20 сохран ет исходное (нулевое) положение, с ее выхода на вход индикатора брака 22 подаетс  разрешение и после прихода из синхронизатора 5 разрешени  на вход индикатора брака. 22 в нем запомнитс  1 и фотослой бракуетс  по

.

В результате выполнени   сех описанных операций светитс  индикатор брака 22, если хот  бы один из контролируеквлх параметров (рт 1 j 7 IHetP) фотосло  не укладываетс  в заданные пределы.

Claims (2)

1.Установка дл  бесконтактного контрол  сернисто-кадмиевых фотослоев . Паспорт АДВ. 051,00. ООПС,1974.

2.Авторское свидетельство СССР по за вке 2617888/18-25,

кл. 6 01 ft 31/26, 16.05.78 (прототип ).