(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР
Изобретение относитс к оптичёсКИМ измерительным устройствам и может быть использовано например, дл измерени показател прелоьшени прозра шых сред. Известен интерферометр содержащий последовательно расположенные пластины и систему регистрации 1 . Недостатком данного интерферометра вл етс необходимость испопьзовани плоско-параллельных гшастин, изготовленных с высокой степенью параллельности сторон, а также зависимость результатов измерени от тем пературы.Наиболее близким техническим ipeme кием к изобретению вл ет.с интерферометр , содержащий последовательно расположенные источник излучени и светоделитель, два зеркала, оптическ св занные со светоделителем, .и систему регистрации рТ, Недостатком данного интерферометр вл етс низка точность измерени при воздействии вибраций и изменении температуры. Целью изобретени вл етс повыше ще точности измерени . Цель достигаетс тем, что интерферометр снабжен з(аркалом с отверстие ем, установленньш таким образом, что оптическа ось интерферометра образует треугольник, в одной из вершин которого установлено зеркало с отверстием , а в каждой из двух других верпшн - одно из упом нутых зеркал,светочувствт-ельным элементом, расположенным в отверстии зеркала, двум приводами,, каждый из которых скреплен с одним из зеркал, и блоком стабилизации интерференционной.картины, включающим генератор синусоидальных колебаний и синхронный детектор, выход генератора соединен с одним из приводов и с одним из входов детектора, другой вход которого соединен со светочувствительным злементом, а выход детектора - с другим приводом. /На чертеже представлена принципиальна схема интерферометра. Интерферометр содержит источник 1 излучени , светоделитель 2, два зеркала 3 и 4, систему 5 регистрации , зеркало 6 с отверстием, в котором установлен светочувствительный элемент 7, два привода 8 и 9, блок 10 стабилизации интерференцйонно.й картины, включающий генератор 11 синусоидальных колебаний и синхронный детектор 12. Устройство работает следующим образом. Излучение от источника 1 попадает на светоделитель 2. Одна часть излучени проходит через светоделитель 2, а друга часть отражаетс и попадает на зеркало 6. Зеркало 6 .направл ет излучение на зеркало 3, которое отражает е.го на зеркало 4 которое, в свою очередь, направл ет излучение на светоделитель 2, который одну часть излучени пропускает на зеркало б, а другук) отражает на систему 5 регистрации, fla системе 5 регистрации формируетс интерференционна картина за счет сложени излучени , отраженного от светодели тел 2, и прошедшего сквозь светоде тель 2 излучени источника 1. В пло кости зеркала б также формируетс аналогична интерференционна карти за счет сложени излучени , прошедш го через светоделитель 2 и отраженн го излучени источника 1. В результ те получаютс две .идентичные интерференционные картины, одна из которых исследуетс системой регистраци а втора используетс дл стабилиза интерференционной картины; При вибра ци х и климатических воздействи х -измен ютс оптические пути интерферирующих лучей, в результате чего одинаково измен ютс обе интерферен ционные картины. Стабилизаци осуществл етс следующим образом. Генератор11 возбуждает привод 8 зеркала 3, которьш перемещаетс пло ко-параллельно в направлении оси, перпендикул рной зеркалу 3 с частотой , превышающей частоту вибрации в несколько раз.Частота возбуждени выбираетс в зависимости от максимальной частоты вибраций, а амплиту да - такой, чтобы интерференционные картины смещались в малых пределах так, чтобы не искажать результаты анализа.Если один из максимумов инт 14 ференционной картины попадает на отверстие зеркала 6,. то в светочувствительном элементе 7, наход щемс в отверстии зеркала 6, возбуждаютс электрические сигналы с частотой генератора 11. При симметричном колебании зтого максиьгума относительно отверсти эти сигналы имеют ту же фазу, что и фаза колебани генератора 11. При смещении в ту или другую сторону максимума относительно отверсти в зеркале 6, фаза мен етс в зависимости от направлени смещени . Синхронный детектор 12 в зависимости от разности фаз вырабатывает посто нное напр жение, которое управл ет приводом 9 зеркала 4 таким оразом , чтобы за счет плоскопараллельного перемещени зеркала 4 в направлении оси, перпендикул рной зтому зеркалу, вернуть интерференционную картину в прежнее положение. Таким образом осуществл етс стабилизаци интерференционной картиньт в плоскости зеркала. 6; так как зта картина оптически сопр жена с картиной на системе 5 регистрации, то и последн тоже стабил.изируетс . . . . В результате описанного построени интерферометра по вилась возможность компенсировать изменени его параметров за счет вибрации климатических воздействий, т.е. стабилизировать регистрируемую интерференционную .картину. Формул.а изобретени Интерферометр, содержащий последовательно расположенные источник излучени и светоделитель, два зеркала , оптически св занные со светоделителем- , и систему регистрации, отличающийс тем, что с целью повышени точности измерени , он снабжен зеркалом с отверстием , установленным таким образом, что оптическа ось интерферометра образует треугольник, в одной из вершин которого установлено зеркало с отверстием, а в каждой из двух вершин - одно из упом нутых зеркал, светочувствительным элементом, расположенным в отверстии зеркала, двум приводами, каждый из которых скреплене одним из зеркал,и блоком стабиг лизации интерференционной картины, , включающим генератор синусоидальных ко