SU860368A1 - Координатный привод - Google Patents

Description

(54) КООРДИНАТНЫЙ ПРИВОД

1

Изобретение относитс  к приборостроению и может быть применено в устройствах координатного позиционировани , например при изготовлении микросхем.

Известно устройство дл  ориентации подложек при изготовлении микросхем , содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, в которой выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту дл  размещени  подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соедин ющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой 1.

Недостатки известного устройства заключаютс  в малом диапазоне возможных перемещений и сложности конструкции .

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности  вл етс  координатный привод, содержащий столик и основание с установленными по его периметру чонтактны «1 пластинами , фрикционно сопр женными со столиком , и средство перемещени  столика , соединенное с источнике напр жени  2 .

Однако данное устройство также не

5 обеспечивает необходимой мощности привода и быстродействи .

Цель изобретени  - повышение эксплуатационных возможностей.

Поставленна  цель достигаетс  тем,

О что в координатном приводе, содержащем столик и основание с установленньв4и по его периметру контактными пластинами, фрикционно сопр женными со столиком, и средство перемещени 

15 столика, контактные пластины соединены с источником напр жени  и изолированы одна от другой, а средство . перемещени  столика выполнено в виде электромагнита, установленного

20 таким образом, что линии магнитного пол  перпендикул рны плоскости столика.

На фиг. 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - то же, вид

25 сверху.

Устройство содержит основание 1, в которсж установлены четыре контак ные пластины 2 подключенные к источнику посто нного напр жени  (не

30 показано), расположенные по периметр: ру столика в виде пр моугольника, изолированные между собой и фрикционно сопр женные со столиком 3, а также посто нный электромагнит 4 с катушкой 5, установленной так, что силовые линии магнитного пол  перпендикул рны плоскости столика. Устройство работает следующим об разсм К источнику посто нного, напр жени  подключаютс  две параллельные контактные пластины 2, а также катушка 5 посто нного магнита . 4. Через столик 3 про текает ток, при взаимодействии которого с магнитным полем, создаваемым электромагните 4, возн кает сила, перпендикул рна  направл $1ию протекани  тока и силовым лини м магнитного пол . Таким образом, создаваема  сила лежит в плоскости столика 3 и параллельна контактным планкам 2, подключенным к источнику посто нного напр жени . Она перемещает столик 3. Изменение напр жени  силы, а тем самым и перемещение сто лика 3, осуществл етс  изменением направлени  протекани  тока в столи ке 3 или в катушке 5 электромагнита

Claims (2)

1. 3 Устройство позвол ет увеличить диапазон перемещений до 60 - 80 мм и упростить конструкцию. Формула изобретени  Координатный привод, содержащий столик и основание с установленными по его периметру контактными пластинами , фрикционно сопр женными со столиком, и средство перемещени  столика, соединенное с источником напр жени , отличающийс  тем, что, с целью повышени  эксплуатационных возможностей, контактные пластины соединены с источником напр жени  и изолированы одна от другой , а средство перемещени  столика выполнено в виде электромагнита, установленного таким образом, что линии магнитного пол  перпендикул рны плоскости столика. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 541305, кл. Н 05 К 3/00, 1976.
2. 2.. Авторское свидетельство СССР по за вке №2694967/21,кл.Н 01 L 21/70, 18.12.78.