Claims (2)
Однако при проведении операции обезгаживани происходит изменение ваку3 ума в преобразователе, которое в известном устройстве регистрируетс визуально по прибору, расположенному в блоке контрол вакуума, после чего вручную даетс поправка на изменение температуры, которое пропорционально значению вакуума. Кроме того, при рас пылении газопоглотителей напр же 1ие н нити накала каждой из трех спиралей подаетс поочередно вручную. Величина напр жени при этом не учитывает значение вакуума преобразовател . В известном устройстве не предусмотрен блок тренировки. Все это отрицательно вли ет на качество формируемого фотокатода преобразовател и не позво л ет автоматизировать технологический процесс изготовлени преобразовател Цель изобретени - автоматизаци технологического процесса изготовлени рентгеновского электронно-оптического преобразовател и повышение его качества. Поставленна цель достигаетс тем что в устройство дл изготовлени рен геновского электронно-Оптического пре образовател , содержащее блок напьшени металла на стекл нную подложку катода, печь обезгаживани и обработк поверхности напыленной пленки с блоко задани и регулировани температуры печи обезгаживани , блок измерени чувствительности катода, блок контрол вакуума, печь возгонки активирующего металла с блоком регулировани тока печи возгонки, блок контрол скорости роста тока катода, блок распылени газопоглотителей, соединенный с распылител ми преобразовател , введен блок тренировки, содержащий высоковольтный источник напр жени , подключенный к входу стабилизатора тока тренировки, выход которого подключен к делителю напр жени , соединенному с анодами преобразовател , а вход высоковольтного источника напр жени подключен через переключатель к выходу блока измерени чувствительности катода , соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контрол роста тока катода, а выход по следнего соединен с входом блока регу лировани тока печи возгонки, кроме того, блок распылени газопоглотителей содержит узел поочередной коммутации , имеющий три выхода, соединенных с распыпител ми преобразовател , и узел автоматического программировани , соединенный с первым входом уз94 ла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контрол вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задани и регулировани температуры печи обезгаживани . Причем узел автоматического программировани содержит задающий генератор , соединенный выходом с мультивибратором и.делителем частоты, каждый из которых соответственно соединен с первым и вторым входами переключающего каскада. На фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства дл изготовлени рентгеновского электронно-оптического преобразовател ; на фиг.2 блок-схема узла автоматического программировани . Устройство содержит блок I напылени металла на стекл нную подложку преобразовател 2, печь 3 обезгаживани и обработки поверхности напылени пленки с блоком 4 задани и регулироваки температуры печи оЛезгаживани , блок 5 измерени чувствительности катода , блок 6 контрол вакуума в изделни , печь 7 возгонки активирующего металла с блоком 8 регулировани тока печи возгонки, блок 9 контрол скорости роста тока катода, блок 10 распылени газопоглотителей, содержащий узел 11 поочередной коммутации, подключенный к трем спирал м 12 газопоглотителей в преобразователе, и узел 13 автоматического программировани , блок 14 тренировки, содержащий Высоковольтный источник 15 напр жени с делителем 16, подключенным к анодам 17преобразовател , и стабилизатор 18заданного значени тока тренировки , вход которого через высоковольтный источник подключен к переключателю 19. Узел 13 автоматического программировани содержит задающий генератор 20, делитель 21 частоты, ждущий мультивибратор 22 и переключающий каскад 23. Дл нагрева и обезгаживани преобразовател 2 предназначена печь 3. Задание температуры и ее регулирование осуществл етс блоком 4. При нагреве преобразовател происходит выделение газов, поэтому вакуум в нем резко ухудшаетс . Если ухудшение вакуума достигает определенной границы, то возникает необходимость приостанот вить рост температуры или понизить ее. 5Я Поэтому в устройство заведена обратна св зь с блока 6 контрол вакуума на вход блока 4 задани и регулировани температуры. Сигнал, пропорциональный значению вакуума, автоматичес ки устанавливает определенное значени температуры в зависимости от состо ни вакуума в преобразователе. Дл проведени возгонки активирующего металла в преобразователе предназначена печь 7 возгонки, ток на которую подаетс с блока 8. Величина тока возгонки задаетс в определенной зависимости от скорости нарастани тока катода. Дл этого на вход блока 8 регулировани тока печи возгонки подаетс сигнал с блока 9 контрол скорости роста тока катода. Измерение величины фототока катода ведетс блоком 5, который подключаетс с помощью переключател 19 к выходу блока 9 или к входу блока 14 тренировки катодоБ, Дл проведени распылени газопоглотителей в преобразователе предназна чен блок 10, состо щий из узлов пооче редной коммутации i1 и автоматическог программировани 13. Узел поочередной коммутации автоматически получает на каждую из трех спиралей 12 газопог лотителей посто нный ток силой до 10 А длительностью 10-15 с. При распылении газопоглотителей происходит и менение вакуума в преобразователе, по этому скорость распылени газопоглотителей , зависима от силы тока, проход щего через спирали, должна измен тьс . С этой целью на вход узла И поочередной коммутации подключаетс сигнал с блока 6 контрол вакуума, пропорциональный значению вакуума в преобразователе. Длительность импульса тока и частота подключени каждого газопоглотител к узлу 11 поочередной коммутации задаетс узлом 13 автоматического программировани . Узел автоматического програмьшровани (фиг. 2) работает следующим образом . Задающий генератор 20 генерирует кратковременные импульсы с частотой Р в 10-15 с, которые поступают на делитель 21 частоты и ждущий мультивибратор 22. Делитель 21 частоты работает таким образом, что на каждом из трех его выходов при приходе на его вход импульса поочередно устанавливаетс высокий потенциал. Ждущий мультивибратор работает таким образом, что на его выходе высокий потенциал по отно96 , шению к входному импульсу смещен на 0,5 с, с целью создани паузы при поочередном прохождении тока через спирали газопоглотител . Переключающий каскад 23 дает команду на поочередное подключение тока распылени на одну из трех спиралей газопоглотителей. Это достигаетс при совпадении положительных потенциалов с выходов делител 2I частоты и мультивибратора 22. Дл проведени тренировки издели в устройстве предусмотрен блок 14 тренировки, состо щий из высоковольт ного источника 15, делител 16 высоковольтного напр жени , подключенного к анодам 17 преобразовател и стабилизатора 18 заданного значени тока тренировки . Тренировка издели ведетс после вакуумной обработки. С целью автоматического изменени тока тренировки к входу блока стабилизации заданного значени через переключатель 19 подключен блок 5 измерени чувствительности фотокатода. При увеличении сигнала, снимаемого с блока 5, напр жение тренировки уменьшаетс до допустимого , определ емого технологией изготовлени преобразовател . Использование делител 16 напр жени , подключенного к двум анодам преобразовател , позвол ет использовать один источник питани . Использование в предлагаемом устройстве блока тренировки, автоматического распылени и двух обратных св зей по вакууму позвол ет автоматизировать технологический процесс изготовлени фотокатода, уменьшить количество обслуживающего персонала и повысить качество обрабатываемого издели за счет автоматизированного процесса обезгаживани , активировкн и тренировки преобразовател . Формула изобретени 1. Устройство Дл изготовлени рентгеновского электронно-оптического преобразовател , содержащее блок напылени металла на стекл нную подложку катода , печь обезгаживани и обработки поверхности напыленной пленки с блоком задани и регулировани температуы печи обезгаживани , блок измерени увствительности катода, блок контро бакуума, соединенный с преобразоваелем , печь возгонки активирующего еталла с блоком регулировани тока.However, during the outgassing operation, a change of vacuum occurs in the converter, which in a known device is recorded visually by the device located in the vacuum control unit, after which a correction is made to the temperature manually, which is proportional to the vacuum value. In addition, during the spraying of gas absorbers, the pressure of 1 n filament of each of the three spirals is alternately fed manually. The magnitude of the voltage does not take into account the value of the vacuum of the converter. In the known device does not provide a training unit. All this negatively affects the quality of the photocathode of the converter being formed and does not allow to automate the technological process of manufacturing the converter. The purpose of the invention is to automate the technological process of manufacturing an x-ray electron-optical converter and improve its quality. The goal is achieved by the fact that a device for manufacturing a gene-based electron-optical converter, comprising a metal imprinting unit on a cathode glass substrate, a degassing furnace and surface treatment of a sprayed film with a setting block and temperature control of the outgassing furnace, a cathode sensitivity measuring unit, a control unit vacuum, an activation metal sublimation furnace with a sublimation furnace current control unit, a cathode current growth rate control unit, a gas absorber spraying unit, connecting A training unit containing a high voltage source connected to the input of a training current regulator, the output of which is connected to a voltage divider connected to the anodes of the converter, and a high voltage source input are connected through a switch to the output of the sensitivity measuring unit the cathode connected by the same output through a switch to the input of the control unit for the growth of the cathode current, and the output of the latter is connected to the input of the current control unit ne In addition, the spraying unit of gas-absorbers contains a sequential switching node, which has three outputs connected to the transducers of the converter, and an automatic programming unit connected to the first input of the alternating switching node, the second input of the latter is connected to the first output of the vacuum control unit, the second the output of which is connected to the input of the unit for setting and controlling the temperature of the degassing furnace. Moreover, the automatic programming unit contains a master oscillator connected to the output with a multivibrator and a frequency divider, each of which is respectively connected to the first and second inputs of the switching stage. FIG. Figure 1 shows the block diagram of the device proposed for the manufacture of an X-ray electron-optical converter; Fig. 2 is a block diagram of an automatic programming node. The device comprises a metal sputtering unit I on the glass substrate of the converter 2, a decontamination furnace and a surface treatment of the film sputtering with a task unit 4 and an adjustment of the furnace temperature of the LEG, a cathode sensitivity measuring unit 5, a vacuum control unit 6 in the parts, an activating metal sublimation furnace 7 a unit 8 for adjusting the current of the sublimation furnace, unit 9 controlling the rate of growth of the cathode current, unit 10 for spraying gas getters, comprising a sequential switching unit 11 connected to three spirals 12 gas absorbers leu in the converter, and an automatic programming unit 13, a training unit 14 containing a high voltage source 15 voltage with a divider 16 connected to the transducer anodes 17, and a stabilizer 18 for a given workout current value, the input of which is connected via a high voltage source to the switch 19. The automatic programming node 13 It contains a master oscillator 20, a frequency divider 21, a standby multivibrator 22, and a switching cascade 23. A stove 3 is designed to heat and degass the converter 2. Atures and its regulation is carried out by the block 4. When the converter is heated, the evolution of gases occurs, therefore the vacuum in it sharply deteriorates. If the deterioration of the vacuum reaches a certain limit, then it becomes necessary to halt the rise in temperature or lower it. 5I Therefore, the device is fed back from the vacuum control unit 6 to the input of the unit 4 for setting and adjusting the temperature. A signal proportional to the vacuum value automatically sets a certain temperature value depending on the state of vacuum in the converter. To carry out the sublimation of the activating metal in the converter, a sublimation furnace 7 is designed, the current to which is supplied from block 8. The magnitude of the sublimation current is set in a definite dependence on the rate of increase of the cathode current. For this purpose, a signal from block 9 controlling the rate of growth of the cathode current is supplied to the input of the current control unit 8 of the sublimation furnace. The cathode photocurrent is measured by block 5, which is connected by means of switch 19 to the output of block 9 or to the input of block 14 of the cathode training. To disperse the gas absorbers in the converter, block 10 consisting of alternating switching nodes i1 and automatic programming 13 is used. The alternate switching node automatically receives 12 gas detectors for each of the three coils, a gas current of up to 10 A with a duration of 10-15 s. When spraying getters, there is also a change in the vacuum in the converter, and therefore the sputtering rate of getters, depending on the current through the spirals, should change. For this purpose, a signal from the vacuum control unit 6 proportional to the vacuum value in the converter is connected to the input of the And sequential switching node. The duration of the current pulse and the frequency of connection of each gas absorber to the alternating switching node 11 is set by the automatic programming unit 13. Node automatic programming (Fig. 2) works as follows. The master oscillator 20 generates short pulses with a frequency P of 10-15 s, which arrive at the frequency divider 21 and the waiting multivibrator 22. The frequency divider 21 operates in such a way that a high potential alternately at each of its three outputs when it arrives at its pulse input . The waiting multivibrator operates in such a way that, at its output, a high potential relative to its input pulse is shifted by 0.5 s, in order to create a pause during the alternating passage of current through the getter helix. The switching stage 23 commands to alternately connect the spray current to one of the three spirals of the gas absorbers. This is achieved by coinciding the positive potentials from the outputs of the divider 2I frequency and the multivibrator 22. To conduct the workout of the product, a training unit 14 is provided in the device, consisting of a high-voltage source 15, a high-voltage divider 16 connected to the anodes 17 of the converter and the setpoint stabilizer 18 current workout. Product training is conducted after vacuum processing. In order to automatically change the training current, to the input of the setpoint stabilization unit, through switch 19, the photocathode sensitivity measurement unit 5 is connected. With an increase in the signal taken from block 5, the training voltage decreases to an allowable value determined by the manufacturing technology of the converter. The use of a voltage divider 16 connected to the two anodes of the converter allows the use of one power source. The use of a training unit, automatic spraying and two vacuum feedbacks in the proposed device makes it possible to automate the process of manufacturing the photocathode, reduce the number of service personnel, and improve the quality of the processed product due to the automated process of degassing, activating and training the converter. Claim 1. Device For manufacturing an X-ray electron-optical converter, comprising a metal sputtering unit on a cathode glass substrate, a degassing furnace and surface treatment of a sprayed film with a setpoint control and temperature control unit of a cathode, a bakum control unit connected to converter, a sublimation furnace activating metal with a current control unit.
77
блок контрол скорости роста тока катода , блок распылени газопоглотителей , соединенный с распылител ми преобразовател , отличающеg (С тем, что, с целью автоматизарщи технологического процесса изготов ени преобразовател и повышени его качества, в него введен блок тренировки , который содержит высоковольтный источник напр жени , подключенный к входу стабилизатора тока тренировки выход -которого подключен к делителю напр жени , соединенному с анодами преобразовател , а вход высоковольтного источника напр жени подключен через переключатель к выходу блока измерени чувствительности катода, соединенного этим же выходом через переключатель с входом блока контрол скорости роста тока катода, а выход последнего соединен с входом блока регулировани тока печи возгонки, причем блок распылени газопоглотителей, выполнен из узла поочередной коммутации , имеющего три выхода, соединенныхa cathode current growth rate control unit, a gas absorber sputtering unit connected to converter nozzles which is different (In order to automate the manufacturing process of the converter and improve its quality, a training unit is introduced into it, which contains a high voltage source of voltage connected to the input of the workout current regulator, the output of which is connected to the voltage divider connected to the anodes of the converter, and the input of the high voltage source is connected through A switch to the output of the sensitivity measuring unit of the cathode connected by the same output through a switch to the input of the control unit of the cathode current growth rate, and the output of the latter connected to the input of the current regulating furnace of the sublimation furnace, the atomizing spraying unit made of the alternating switching unit having three outputs connected
698698
с распылител ми преобразовател , и узла автоматического программировани соединенного с первым входом узла поочередной коммутации, второй вход последнего соединен с первым выходом блока контрол вакуума, второй выход которого соединен с входом блока задани и регулировани температуры печи обезТаживани .with the converter nozzles, and the automatic programming unit connected to the first input of the sequential switching node, the second input of the latter is connected to the first output of the vacuum control unit, the second output of which is connected to the input of the setpoint and temperature control unit of the disassembly furnace.
2. Устройство по п. 1, о т л ича1рщеес тем, что узел автоматического программировани содержит задающий генератор, соединенный выходом с мультивибратором и делителем частоты, каждый из которых соответственно соединен с первым и вторь входами переключакнцего каскада.2. The device according to claim 1, wherein the automatic programming unit contains a master oscillator connected to the output with a multivibrator and a frequency divider, each of which is respectively connected to the first and second inputs of the switching stage.
Источники информации, прин тые во внимание при экспертизеSources of information taken into account in the examination
1,Патент Японии № 487668, кл. 99 D 13, опублик. 1973.1, Japan Patent No. 487668, cl. 99 D 13, published. 1973.
2,Авторское свидетельство СССР № 475683, кл. Н 01 J 9/42, 1962 (прототип).2, USSR Author's Certificate No. 475683, cl. H 01 J 9/42, 1962 (prototype).
2020
KyJffyKyJffy
лШе-. lSH-
23 реднб Konntj (ттцш23 Rednb Konntj (tttssh