Claims (2)
Изобретение относитс к области технологии изготовлени элементов вычислительной техники, в частности элементов параллельных оптозлектронных вычислительных с:;стем и приборов - мембранных модул торов света. Известен способ нанесени пленки дл изготовлени мембранного модул тора свеп 11, по которому на поверхность перфорированной подложки наноситс слой фоторезиста, заполн ющий отверсти . После просушивани фоторезист полируют до тех пор, пока его поверхность не сравн етс с подложкой. Образец покрывают тонким слоем желатины, на поверхность которой равномерно осаждают мелкие част1щы, а затем нанос т металлическую пленку напылением в вакууме. Образец протирают влажной тканью, удал ют выступающие частиш 1 и промывают. В металлической пленке - мембране образуютс мелкие поры. Затем удал ют фоторезист, дл чето образец погружают в растворитель , который диффундирует сквозь поры в металлической мембране, и раствор ют фоторезист , заполн ющий отверсти . Недостатками способа вл ютс сложность технологии и больша трудоемкость. Наиболее близким по техническом сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс способ нанесени пленки дл изготовлени мембранного модул тора света, основаигг ный на использовании в качестве исходного материала мембраны модул тора раствора коллоди , включающий на есеиие на подложку раствора коллоди и последующую сущку 2. Такой способ не позвол ет наносить пленочную ме |6рану на перфорированную поверхность . Целью изобретеии вл етс ианесение пленочион на перфорированную поверхиость . Эта цель достигаетс благодар тому, что по способу намерени пленки дл изготовлени мем аииого модул тора света, осиоваиному на испольэовашш в качестве исходного материала мембраны модул тора раствора коллоди , включающем нанесение на подложку раствора коллоди и последующую сушку, после сушки подложку с нанесенной пленкой погружают в сосуд с водой, отдел ют пленку, помещают в тот же сосуд пластину с перфорированной поверхностью , подвод т под отделившуюс пленку и вместе с пленкой извлекают из сосуда, после чего повтор ют процесс сушки. Полученна мембрана металлизируетс напы лением в вакууме дл обеспечени достаточной электрической проводимости и отражательной способности. При изготовлении мембранного модул тора на пластину из кремни с yпpaвл юшJ ми электродами наносили слой диэлектрика, в котором методами фотолитографии делалась перфораци в виде матрицы круглых отверстий . При-этом отверсти перфорации расположены над управл ющими электродами. Дл изготовлени мембраны был вз т раствор коллоди , представл ющего собой раствор Коллоксилина в смеси этилового спирта и эфира. Раствором поливали промежуточную подложку из окиси кремни . После сущки на воздухе при комнатной температуре образовьшалась тонка пленка. Подложку с образовавшейс пленкой погружали в сосуд с водой, где происходило ее отделение от подложки. Затем в тот же сосуд с водой погружали подложку с перфорированным слоем (диаметр отверстий 50-200 мкм, глубина перфорации 2-4 мкм) и подводили ее под отделившуюс пленку. На этой же пластине извлекали из воды пленку и высушивали при 20°С на воздухе в горизонтальном положении Толщина полученной пленки менее 5 мкм. Вы сыха , пленка приклеивалась к верхней плоскости подложки и нат гивалась в местах над отверсти ми, причем остатки воды испар лись из-под пленки, так как пленка коллоди проницаема дл молекул воды. Затем на пленку, равномерно нат нутую и приклеенную к перфо ( жрованному слою, наносили напылением зеркальный слой алюмини и контактные площад ки дл подведени опорного электрического потенциала. Предложенный способ обеспечивает достаточную адгезию мембраны к по.гщожке и воз-, можность металлизации мембраны напылением в вакууме. Использование способа значительно упрощает технологию изготовлени мембранных модул торов . Брак при изготовлении минимален. Экономический эффект от использовани способа изготовлени мембранных матричных модул торов света с количеством чеек 32x32 составл ет ориентировочно 50 руб. на каждый модул тор. Формула изобретени Способ нанесени пленки дл изготовлени мембранного модул тора света, основанный на использовании в качестве исходного материала мембраны модул тора раствора коллоди , включающий нанесение на подложку раствора коллоди и последующую сушку, отличающийс тем, что, с целью нанесени пленочной мембраны на перфорированную поверхность , после сущки подложку с нанесенной пленкой погружают в сосуд с водой, отдел ют пленку, помещают в тот же сосуд пластину с перфорированной поверхностью, подвод т под отделившуюс пленку и вместе с пленкой извлекают из сосуда, после чего повтор ют процесс сушки. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.L. F. Cosentino, W. F. Stiwart А membrane page composer, RCA Review, 1973, V. 34, N 1, p. 45. The invention relates to the field of manufacturing technology of elements of computing technology, in particular elements of parallel optoelectronic computing with: the system and devices - membrane light modulators. There is a known method of applying a film for the manufacture of a membrane modulator with a flame 11, in which a layer of photoresist is applied to the surface of the perforated substrate, which fills the holes. After drying, the photoresist is polished until its surface is comparable with the substrate. The sample is coated with a thin layer of gelatin, on the surface of which even small parts are deposited, and then the metal film is applied by spraying in a vacuum. The sample is wiped with a damp cloth, the protruding parts 1 are removed and washed. In the metal film - membrane, small pores are formed. Then the photoresist is removed, for cheto the sample is immersed in a solvent that diffuses through the pores in the metal membrane, and the photoresist filling the holes is dissolved. The disadvantages of the method are the complexity of the technology and the greater complexity. The closest in technical essence and the achieved result to the invention is a method of applying a film for the manufacture of a membrane light modulator, based on using a collody solution solution as a starting material for a membrane modulator, including on the substrate of a collody solution on the substrate and subsequent Subject 2. This method It does not allow film film to be applied on the perforated surface. The aim of the invention is to film a plenochion on a perforated surface. This goal is achieved due to the fact that according to the method of intention of the film for the manufacture of a membrane light modulator, the axis of the film is used as a starting material for the membrane modulator membrane of the collodi solution, including the application of collodium solution onto the substrate and subsequent drying, after drying the substrate with the applied film is immersed in a vessel with water, the film is separated, a plate with a perforated surface is placed in the same vessel, brought under the separated film and removed together with the film from the vessel, after which the process with ears. The resulting membrane is metalized by vacuum deposition to provide sufficient electrical conductivity and reflectivity. In the manufacture of a membrane modulator, a dielectric layer was deposited on a wafer of silicon with yv-wires and electrodes, in which photolithography was used to make perforations in the form of a matrix of round holes. At the same time, the perforation holes are located above the control electrodes. For the manufacture of the membrane, a collodi solution was taken which was a solution of colloxylin in a mixture of ethyl alcohol and ether. The solution was poured over an intermediate silica substrate. After drying in thin air, a thin film formed at room temperature. The substrate with the formed film was immersed in a vessel with water, where it was separated from the substrate. Then, a substrate with a perforated layer (hole diameter 50–200 µm, perforation depth 2–4 µm) was immersed in the same vessel with water and placed under the separated film. On the same plate, the film was removed from water and dried at 20 ° С in air in a horizontal position. The thickness of the obtained film was less than 5 microns. While you were drying, the film stuck to the upper plane of the substrate and stretched in places above the holes, and the remaining water evaporated from under the film, because the colloid film is permeable to water molecules. Then, the film, uniformly stretched and glued to the perforated layer, was sprayed with a mirror layer of aluminum and contact areas for applying a reference electric potential. The use of the method greatly simplifies the manufacturing technology of membrane modulators. The scrap in manufacturing is minimal. The economic effect of using the method of manufacturing membrane matrices Light modulators with 32x32 cells are approximately 50 rubles per modulator. Formula of the invention A method of applying a film for producing a membrane light modulator based on using a collody solution modulator membrane as a starting material, including applying a collody solution to the substrate and subsequent drying, characterized in that, in order to apply the film membrane to the perforated surface, after the substrate, the substrate with the applied film is immersed in a vessel with water, the film is separated, placed in the same vessel a plate with a perforated surface, brought under the separated film and removed together with the film from the vessel, after which the drying process is repeated. Sources of information taken into account in the examination 1.L. F. Cosentino, W. F. Stiwart A membrane page composer, RCA Review, 1973, V. 34, N 1, p. 45.
2.ФТМ Микросхемы, фотошаблоны прецизионные . Типовые технологические процессы НбкО 054002, ред. 1-68, с. 23.2. FTM Chips, precision photomasks. Typical technological processes NbkO 054002, ed. 1-68, p. 23.